​陈成，1991年生，博士，中国科学院上海光学精密机械研究所副研究员。获华中科技大学仪器科学与技术工学博士学位，博士论文获中国仪器仪表学会优秀博士论文提名，曾就职于上海交通大学，获上海市“超级博士后”、中国博士后科学基金面上、站中特别资助等项目的支持。长期深耕于三维表面形貌高精度测量及仪器方面的研究，深入研究了光学干涉与散射测量、共焦测量、色散共焦测量等光学测量技术的基础理论、核心算法与仪器设计。近年来，面向AI存储芯片制造检测的迫切需求，聚焦于先进薄膜厚度测量与光学关键尺寸（OCD）测量技术的研究与开发，围绕复杂多层膜结构的严格耦合波矢量电磁建模、基于大模型的光谱反演与结构参数重建、AI驱动的自适应测量Agent等关键技术开展系统性研究，实现了从物理建模、数据驱动到智能决策的全链路技术突破，为AI存储芯片制程中的高通量在线计量检测提供核心技术支撑。主持国家自然科学基金、国家自然科学基金重点项目课题等项目。发表领域内代表性国际期刊论文21篇，获国内发明专利公开10余项。

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080300-光学工程

2015-09--2020-10   华中科技大学   博士研究生，工学博士
2011-09--2015-06   华中科技大学   本科，工学学士

   

2023-09~现在, 上海光学精密机械研究所, 副研究员
2022-11~2023-09,上海光学精密机械研究所, 助理研究员
2021-03~2022-11,上海交通大学, 助理研究员，博士后研究员
2020-11~2021-03,上海交通大学, 博士后研究员

   

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