基本信息
陈波  男  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: chenbo@ime.ac.cn
通信地址: 北京市北土城西路3号
邮政编码:

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085209-集成电路工程
招生方向
集成电路先导工艺技术
新原理装备技术

教育背景

2000-09--2004-05   New Jersey Institute of Technology   博士

工作经历

   
工作简历
2009-02~2011-11,美国Angstrom Thin Film 公司, 经理
2005-01~2009-01,美国Semitool公司, 研发工程师、技术经理
2001-01~2004-12,美国NJ Silicon Wafer Tech. 公司, 研发工程师

专利与奖励

   
专利成果
[1] 李楠, 陈波, 李培源, 夏洋, 卢维尔. 一种短脉冲激光沉积薄膜的制备方法. CN: CN112853278A, 2021-05-28.

[2] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种硅片抛光装置. CN: CN107154366B, 2020-01-21.

[3] 赵丽莉, 李培源, 李楠, 陈波. 一种基于湿法清洗机的加热控制系统. CN: CN109427615A, 2019-03-05.

[4] 李楠, 李培源, 赵丽莉, 陈波. 一种电机控制保护系统. CN: CN109428320A, 2019-03-05.

[5] 陈波, 李楠, 夏洋, 饶晓雯. 一种半导体基片的处理方法及装置. 中国: CN108242414A, 2018.07.03.

[6] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种用于减薄半导体基片的装置及方法. 中国: CN108242413A, 2018.07.03.

[7] 陈波, 李楠, 夏洋. 一种承片台. 中国: CN105225999B, 2018-11-09.

[8] 陈波, 李楠, 夏洋. 一种去除基片刻蚀后残余物的方法及装置. 中国: CN108242388A, 2018-07-03.

[9] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种硅片抛光方法及装置. 中国: CN107154351A, 2017.09.12.

[10] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种基片清洗方法及装置. 中国: CN107154340A, 2017-09-12.

[11] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种利用臭氧清洗基片的方法及装置. 中国: CN107154339A, 2017-09-12.

[12] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种用于半导体基片兆声波清洗装置. 中国: CN106391557A, 2017-02-15.

[13] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种刻蚀半导体基片的方法及装置. 中国: CN106409672A, 2017-02-15.

[14] 陈波, 李楠, 夏洋. 循环供液桶. 中国: CN105620879A, 2016.06.01.

[15] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 李超波, 陈波, 刘键, 江莹冰, 石莎莉, 李勇滔. 一种掺氮二氧化钛薄膜的制备方法. 中国: CN103205730A, 2013-07-17.

[16] 饶志鹏, 夏洋, 万军, 李超波, 陈波, 刘键, 江莹冰, 石莎莉, 李勇滔. 一种单晶立方形氮化碳薄膜的制备方法. 中国: CN103205805A, 2013-07-17.

[17] 饶志鹏, 万军, 夏洋, 陈波, 李超波, 石莎莉, 李勇滔, 李楠. 一种单晶立方形氮化碳薄膜的制备方法. 中国: CN103205806A, 2013-07-17.

[18] 饶志鹏, 万军, 夏洋, 陈波, 李超波, 石莎莉, 李勇滔, 李楠. 用ALD设备生长氮化镓薄膜的方法. 中国: CN103205729A, 2013-07-17.

[19] 张艳清, 夏洋, 李超波, 万军, 吕树玲, 陈波, 石莎莉, 李楠. 一种原子层沉积设备. 中国: CN103194733A, 2013-07-10.

[20] 张艳清, 夏洋, 李超波, 万军, 吕树玲, 陈波, 石莎莉, 李楠. 一种气体分配器及原子层沉积设备. 中国: CN103194736A, 2013-07-10.

[21] 张艳清, 夏洋, 李超波, 万军, 吕树玲, 陈波, 石莎莉, 李楠. 一种用于原子层沉积设备的气体分配器. 中国: CN103194737A, 2013-07-10.

[22] 万军, 赵柯杰, 黄成强, 饶志鹏, 陈波, 李超波, 夏洋, 吕树玲, 石莎莉. 掺氮二氧化钛薄膜的制备方法. 中国: CN103160802A, 2013-06-19.

[23] 万军, 赵柯杰, 黄成强, 饶志鹏, 陈波, 李超波, 夏洋, 吕树玲, 石莎莉. 提高聚四氟乙烯薄膜亲水性的原子层沉积方法. 中国: CN103160807A, 2013-06-19.

[24] 夏洋, 李超波, 陈波, 万军, 吕树玲, 马舒. 原子层薄膜沉积系统. 中国: CN301977404S, 2012-07-04.

[25] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 刘键, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种掺氮碳纳米管的制备方法. 中国: CN102352490A, 2012-02-15.

[26] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 刘键, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种石墨的制备方法. 中国: CN102344134A, 2012-02-08.

[27] 刘键, 饶志鹏, 万军, 夏洋, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种碳纳米管的制备方法. 中国: CN102321876A, 2012-01-18.

[28] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 刘键, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种单晶立方型氮化碳薄膜的制备方法. 中国: CN102321919A, 2012-01-18.

[29] 饶志鹏, 万军, 夏洋, 李超波, 刘键, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种金刚石的制备方法. 中国: CN102304697A, 2012-01-04.

[30] 饶志鹏, 万军, 夏洋, 李超波, 刘键, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种碳化硅薄膜的制备方法. 中国: CN102304701A, 2012-01-04.

[31] 刘键, 饶志鹏, 万军, 夏洋, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种掺氮氧化锌薄膜的制备方法. 中国: CN102304700A, 2012-01-04.

[32] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 刘键, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种金刚石的制备方法. 中国: CN102304696A, 2012-01-04.

[33] 饶志鹏, 万军, 夏洋, 李超波, 刘键, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种氮化铝薄膜的制备方法. 中国: CN102296278A, 2011-12-28.

[34] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 李超波, 陈波, 黄成强, 刘键, 石莎莉, 李勇滔. 一种异质结黑硅太阳能电池的制备方法. 中国: CN102290496A, 2011-12-21.

出版信息

   
发表论文
[1] Li, Yaoyao, Liu, Yuanpeng, Xue, Lanxin, Chen, Wei, Lei, Tianyu, Hu, Anjun, Huang, Jianwen, Wang, Xuepeng, Wang, Xianfu, Chen, Bo, Hu, Yin, Yang, Chengtao, Xiong, Jie. Eliminating anion depletion region and promoting Li(+ )solvation via anionphilic metal organic framework for dendrite-free lithium deposition. NANO ENERGY[J]. 2022, 92: [2] Wang, Hongbo, Chen, Wei, Chen, Bo, Jiao, Yu, Wang, Yang, Wang, Xuepeng, Du, Xinchuan, Hu, Yin, Lv, Xiaoxue, Zeng, Yushuang, Wang, Xianfu, Qian, Linmao, Xiong, Jie. Interfacial Capillary-Force-Driven Self-Assembly of Monolayer Colloidal Crystals for Supersensitive Plasmonic Sensors. SMALL[J]. 2020, 16(8): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000511244600001.
[3] Hu, Yin, Chen, Wei, Lei, Tianyu, Jiao, Yu, Wang, Hongbo, Wang, Xuepeng, Rao, Gaofeng, Wang, Xianfu, Chen, Bo, Xiong, Jie. Graphene quantum dots as the nucleation sites and interfacial regulator to suppress lithium dendrites for high-loading lithium-sulfur battery. NANO ENERGY[J]. 2020, 68: http://dx.doi.org/10.1016/j.nanoen.2019.104373.
[4] Hu, Yin, Chen, Wei, Lei, Tianyu, Zhou, Bin, Jiao, Yu, Yan, Yichao, Du, Xinchuan, Huang, Jianwen, Wu, Chunyang, Wang, Xuepeng, Wang, Yang, Chen, Bo, Xu, Jun, Wang, Chao, Xiong, Jie. Carbon Quantum Dots-Modified Interfacial Interactions and Ion Conductivity for Enhanced High Current Density Performance in Lithium-Sulfur Batteries. ADVANCED ENERGY MATERIALS[J]. 2019, 9(7): [5] Gong, Chuanhui, Chu, Junwei, Yin, Chujun, Yan, Chaoyi, Hu, Xiaozong, Qian, Shifeng, Hu, Yin, Hu, Kai, Huang, Jianwen, Wang, Hongbo, Wang, Yang, Wangyang, Peihua, Lei, Tianyu, Dai, Liping, Wu, Chunyang, Chen, Bo, Li, Chaobo, Liao, Min, Zhai, Tianyou, Xiong, Jie. Self-Confined Growth of Ultrathin 2D Nonlayered Wide-Bandgap Semiconductor CuBr Flakes. ADVANCED MATERIALS[J]. 2019, 31(36): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000477401700001.
[6] Chen, Wei, Lei, Tianyu, Qian, Tao, Lv, Weiqiang, He, Weidong, Wu, Chunyang, Liu, Xuejun, Liu, Jie, Chen, Bo, Yan, Chenglin, Xiong, Jie. A New Hydrophilic Binder Enabling Strongly Anchoring Polysulfides for High-Performance Sulfur Electrodes in Lithium-Sulfur Battery. ADVANCED ENERGY MATERIALS[J]. 2018, 8(12): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000433706700004.
[7] Yu, Miao, Huang, Xiaona, Wang, Shuying, Chen, Ben, Zhang, Yang, Chen, Bo, Liu, Mingzhen, Zhang, Wanli, Xiong, Jie. Enhancing performance of inverted planar perovskite solar cells by argon plasma post-treatment on PEDOT:PSS. RSC ADVANCES[J]. 2017, 7(28): 17398-17402, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000398802000057.
[8] Shuying Wang, Miao Yu, Yang Zhang, Bo Chen, Mingzhen Liu, Wanli Zhang, Jie Xiong, Ben Chen, Xiaona Huang. Enhancing performance of inverted planar perovskite solar cells by argon plasma post posttreatment. RCS Advances[J]. 2017, http://159.226.55.106/handle/172511/18070.
[9] Jiao, Yu, Chen, Wei, Lei, Tianyu, Dai, Liping, Chen, Bo, Wu, Chunyang, Xiong, Jie. A Novel Polar Copolymer Design as a Multi-Functional Binder for Strong Affinity of Polysulfides in Lithium-Sulfur Batteries. NANOSCALE RESEARCH LETTERS[J]. 2017, 12(1): http://dx.doi.org/10.1186/s11671-017-1948-5.
[10] 顾琪, 周临震, 陈波. 面向LED芯片制造和高端封装旋转式去胶机的设计与研究. 机械工程师. 2016, 152-153, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=667796704.
[11] Xu, Kai, Huang, Yun, Chen, Bo, Xia, Yang, Lei, Wen, Wang, Zhenxing, Wang, Qisheng, Wang, Feng, Yin, Lei, He, Jun. Toward High-Performance Top-Gate Ultrathin HfS2 Field-Effect Transistors by Interface Engineering. SMALL[J]. 2016, 12(23): 3106-3111, http://159.226.55.106/handle/172511/16187.
[12] Rao Zhipeng, Wan Jun, Li Chaobo, Chen Bo, Liu Jian, Huang Chengqiang, Xia Yang. In-Situ Nitrogen Doping of the TiO2 Photocatalyst Deposited by PEALD for Visible Light Activity. PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY[J]. 2014, 16(3): 239-243, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=49205866.
[13] 饶志鹏, 万军, 李超波, 陈波, 刘键, 黄成强, 夏洋. In-Situ Nitrogen Doping of the TiO2 Photocatalyst Deposited by PEALD for Visible Light Activity. 等离子体科学与技术:英文版. 2014, 239-243, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=49205866.
[14] 陈波. 基于图型化蓝宝石衬底的HB-LED研究进展. 中国激光. 2012, [15] 陈波. 图型化蓝宝石衬底工艺研究进展. 半导体技术. 2012, [16] 黄成强, 夏洋, 陈波, 李超波, 万军, 汪明刚, 饶志鹏, 李楠, 张祥. 图形化蓝宝石衬底工艺研究进展. 半导体技术[J]. 2012, 37(7): 497-503,581, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=42508681.

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 45nm铜互连清洗设备工艺腔室与工艺开发, 主持, 国家级, 2013-01--2015-12