曾爱军  男  博导  中国科学院上海光学精密机械研究所
电子邮件: aijunzeng@siom.ac.cn
通信地址: 上海市嘉定区清河路390号
邮政编码: 201800

研究领域

偏振光技术及其应用、光学系统设计与仿真、精密光电检测技术及仪器、光学生物特征识别与生物传感。

招生信息

   
招生专业
080300-光学工程
招生方向
偏振光技术及其应用,光学系统设计与仿真
精密光电检测技术及仪器
光学生物特征识别技术与生物传感

教育背景

2002-09--2005-06   中国科学院研究生院   博士研究生
1999-09--2002-06   武汉大学   硕士研究生
1995-09--1999-06   武汉测绘科技大学   本科
学历
上海光机所 --20050701 研究生毕业
学位
-- 工学博士学位

工作经历

2003.01--2007.06 中国科学院上海光学精密机械研究所 助理研究员
2007.07--2012.08 中国科学院上海光学精密机械研究所 副研究员
2012.08至今 中国科学院上海光学精密机械研究所 研究员
工作简历
2012-08~现在, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 研究员
2007-07~2012-08,中国科学院上海光学精密机械研究所, 副研究员
2003-01~2007-06,中国科学院上海光学精密机械研究所, 助理研究员

教授课程

高端光刻机技术

专利与奖励

   
专利成果
( 1 ) 一种非平面透明元件的偏振特性检测装置及检测方法, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN113203686A

( 2 ) 一种非常规超表面稀疏孔径透镜, 发明专利, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN113050203A

( 3 ) 手性对称结构超表面圆偏振光检测元件及其制备方法, 发明专利, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN112881302A

( 4 ) 二维全斯托克斯偏振成像元件及其制备方法, 发明专利, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN112882146A

( 5 ) 一种深紫外退偏器检测装置及检测方法, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN111947892B

( 6 ) 一种超分辨成像的光刻系统及方法, 发明专利, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN110989300A

( 7 ) 超表面稀疏孔径透镜, 发明专利, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN110632684A

( 8 ) 高反射率凹轴锥镜的面形检测系统及检测方法, 专利授权, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110440710A

( 9 ) 无掩模直写光刻系统, 发明专利, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN110441991A

( 10 ) 一种紫外偏振分光棱镜及其制备方法, 发明专利, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110286435A

( 11 ) 一种光角度感应的光电探测器, 发明专利, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109959450A

( 12 ) 集成化超分辨激光直写装置及直写方法, 发明专利, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109491214A

( 13 ) 增加扫频光学相干层析成像系统成像深度范围的方法, 发明专利, 2019, 第 6 作者, 专利号: CN109157187A

( 14 ) 一种超表面圆偏振光检测元件及其制备方法, 专利授权, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108801461A

( 15 ) 全斯托克斯偏振成像元件及其制备方法, 发明专利, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108878466A

( 16 ) 介质腔增强型高反射波片及其制备方法, 发明专利, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108761617A

( 17 ) 多波段高反射柔性波片及其制备方法, 专利授权, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108761616A

( 18 ) 增加焦深范围的光学相干层析成像系统, 发明专利, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN107233069A

( 19 ) 扫频光学相干层析成像系统的光谱标定方法, 发明专利, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN106949966A

( 20 ) 多生物特征融合社会保险身份认证系统和身份认证方法, 发明专利, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN106603569A

( 21 ) 椭偏仪测量超薄膜层的精度提升方法和装置, 发明专利, 2017, 第 6 作者, 专利号: CN106403830A

( 22 ) 利用介质薄膜控制Otto结构中空气隙厚度的方法, 发明专利, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN106091954A

( 23 ) 超薄薄膜厚度和光学常数的测量装置和测量方法, 发明专利, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN107504907A

( 24 ) 一种车载信息抬头显示系统, 发明专利, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN105892054A

( 25 ) 一种车载信息投射系统, 发明专利, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN105882527A

( 26 ) 波片相位延迟量和快轴方位角的测量装置和方法, 发明专利, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN105403382A

( 27 ) 大尺寸钕玻璃片包边界面剩余反射率检测装置及检测方法, 发明专利, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104990899A

( 28 ) 深紫外光刻机照明系统光瞳面光强分布的控制装置, 发明专利, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104777719A

( 29 ) 超快伽马射线能谱仪, 发明专利, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN104730565A

( 30 ) 基于闪烁光纤阵列的超快伽马射线能谱测量仪, 发明专利, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104730564A

( 31 ) 成像椭偏仪的系统参数校准方法, 发明专利, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104535500A

( 32 ) 锥形镜锥角测量装置及测量方法, 发明专利, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104501743A

( 33 ) 用于光刻机的能量探测装置, 发明专利, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN104316172A

( 34 ) 基于双波长光源的轴锥镜锥角检测装置及检测方法, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103994734A

( 35 ) 折反射式光刻照明中继镜组, 发明专利, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN103984209A

( 36 ) 轴锥镜锥角检测装置及其检测方法, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103884295A

( 37 ) 光刻机曝光系统照明均匀性的校正方法, 发明专利, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN103885297A

( 38 ) 紧凑型光刻投影物镜, 发明专利, 2014, 第 4 作者, 专利号: CN103631002A

( 39 ) 同步转角仪, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103727970A

( 40 ) 支撑光学组件的同步转角机构, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103728244A

( 41 ) 深紫外投影光刻机的照明装置及使用方法, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103472688A

( 42 ) 光刻环形照明模式产生装置, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103472687A

( 43 ) 激光脉冲拉伸装置, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103427316A

( 44 ) 旋转晶体平板的移相剪切干涉仪, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103424195A

( 45 ) 双平板偏振移相剪切干涉仪, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103424196A

( 46 ) 投影光刻机照明装置和使用方法, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103399463A

( 47 ) 光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法, 发明专利, 2013, 第 6 作者, 专利号: CN103365118A

( 48 ) 步进扫描投影光刻机的照明系统, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103412465A

( 49 ) 四分之一波片相位延迟量的测量装置和测量方法, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103335821A

( 50 ) 正弦相位调制器峰值延迟量的标定装置与方法, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103335822A

( 51 ) 线性双折射测量装置和测量方法, 发明专利, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN103308175B

( 52 ) 三维光场调控装置, 发明专利, 2013, 第 6 作者, 专利号: CN103336367A

( 53 ) 光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法, 发明专利, 2013, 第 6 作者, 专利号: CN103309175A

( 54 ) 轴锥镜锥角的检测装置和检测方法, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103292743A

( 55 ) 轴锥镜面形和锥角的检测方法, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103278105A

( 56 ) 空间移相横向剪切干涉仪, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103256991A

( 57 ) 两个光束在同一入射面的位置与角度同时测量装置, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103234629A

( 58 ) 极紫外光刻光源收集镜污染测量装置, 发明专利, 2013, 第 4 作者, 专利号: CN103234913A

( 59 ) 非球面面形的检测方法, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103134442A

( 60 ) 光刻机光瞳整形光学系统及产生离轴照明模式的方法, 发明专利, 2013, 第 7 作者, 专利号: CN103207530A

( 61 ) 光刻照明模式产生装置, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103135369A

( 62 ) 用于激光等离子体极紫外光刻光源的光谱纯化滤波装置, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103149618A

( 63 ) 产生投影光刻照明模式的装置, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103135363A

( 64 ) 光刻照明系统, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103092006A

( 65 ) 光束位置和角度的调节装置, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103092001A

( 66 ) 球端面锥形透镜的面形测量方法, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103063158A

( 67 ) 高反射率凹面锥形反射镜的面形检测方法, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103075975A

( 68 ) 双折射实时测量装置和测量方法, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103033478A

( 69 ) 正弦相位调制器峰值延迟量的标定装置和标定方法, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN102937515A

( 70 ) 193nm熔石英光栅起偏器及其在光刻设备中的应用, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN102981204A

( 71 ) 用于紫外光刻机的光刻照明系统, 发明专利, 2013, 第 4 作者, 专利号: CN102929106A

( 72 ) 光刻照明用光瞳整形装置, 发明专利, 2013, 第 4 作者, 专利号: CN102929107A

( 73 ) 改变光束偏振方向二维分布的装置, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN102928990A

( 74 ) 轴锥镜面形的测量装置和测量方法, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN102901463A

( 75 ) 轴锥镜透射波面的测量方法, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102798353A

( 76 ) 相位延迟量分布和快轴方位角分布实时测量装置和方法, 发明专利, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102706539A

( 77 ) 线性双折射测量装置和测量方法, 发明专利, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102706809A

( 78 ) 衍射光学元件光学性能的测量装置及测量方法, 发明专利, 2012, 第 7 作者, 专利号: CN102735428A

( 79 ) 衍射型环形照明发生器及其制备方法, 发明专利, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN102645853A

( 80 ) 波片相位延迟量与快轴方位角的实时测量装置和方法, 发明专利, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102636333A

( 81 ) 八分之一波片相位延迟量和快轴方位角的测量装置, 实用新型, 2011, 第 6 作者, 专利号: CN202033175U

( 82 ) 光学系统定心定位装置及其使用方法, 发明专利, 2012, 第 5 作者, 专利号: CN102538689A

( 83 ) 八分之一波片相位延迟量测量装置和测量方法, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102519712A

( 84 ) 位置敏感传感器的标定装置和标定方法, 发明专利, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN102519510A

( 85 ) 线起偏器, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102411161A

( 86 ) 四分之一波片相位延迟量分布实时测量装置和测量方法, 发明专利, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102507158A

( 87 ) 空间移相菲索球面干涉仪, 实用新型, 2014, 第 6 作者, 专利号: CN102401630B

( 88 ) 空间移相菲索球面干涉仪, 发明专利, 2012, 第 6 作者, 专利号: CN102401630A

( 89 ) 均匀照明的微柱面镜阵列及其设计方法, 发明专利, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN102375238A

( 90 ) 光束整形元件光学性能的检测装置和检测方法, 发明专利, 2011, 第 3 作者, 专利号: CN102243137A

( 91 ) 用于光刻照明的多分区光学位相板的设计方法, 发明专利, 2011, 第 5 作者, 专利号: CN102109676A

( 92 ) 八分之一波片相位延迟量和快轴方位角的测量装置和方法, 发明专利, 2011, 第 6 作者, 专利号: CN102175430A

( 93 ) 偏振横向剪切干涉仪, 实用新型, 2010, 第 4 作者, 专利号: CN201622124U

( 94 ) 同步移相偏振空间解码装置, 实用新型, 2010, 第 1 作者, 专利号: CN201540409U

( 95 ) 同步移相菲索干涉仪, 实用新型, 2009, 第 1 作者, 专利号: CN201251428Y

( 96 ) 同步移相菲索干涉仪, 发明专利, 2008, 第 1 作者, 专利号: CN101324421A

( 97 ) 四分之一波片快轴方位实时测量装置和方法, 发明专利, 2010, 第 1 作者, 专利号: CN101319958B

( 98 ) 用于同步移相干涉仪的空间移相器, 实用新型, 2008, 第 1 作者, 专利号: CN101319873A

( 99 ) 四分之一波片快轴方位实时测量装置, 实用新型, 2009, 第 1 作者, 专利号: CN201212852Y

( 100 ) 用于同步移相干涉仪的空间移相器, 发明专利, 2008, 第 1 作者, 专利号: CN101319873A

( 101 ) 金标免疫试纸条的反射式光度计, 发明专利, 2007, 第 5 作者, 专利号: CN1904592A

( 102 ) 金标免疫试纸条的反射式光度计, 发明专利, 2007, 第 5 作者, 专利号: CN1904592A

( 103 ) 一维多重检测上转换磷光生物传感器, 发明专利, 2007, 第 9 作者, 专利号: CN2906601Y

( 104 ) 一维多重检测上转换磷光生物传感器, 发明专利, 2006, 第 9 作者, 专利号: CN1877307A

( 105 ) 上转换磷光免疫层析试纸条检测系统, 发明专利, 2006, 第 11 作者, 专利号: CN1766579A

( 106 ) 上转换磷光免疫层析试纸条检测系统, 发明专利, 2007, 第 11 作者, 专利号: CN2890899Y

( 107 ) 与光电倍增管大光敏面匹配的大数值孔径的散射光聚光镜, 发明专利, 2006, 第 4 作者, 专利号: CN1740841A

出版信息

   
发表论文
(1) 193 nm激光下不同含量Y杂质CaF_(2)晶体辐照损伤研究, Irradiation Damage of CaF_(2)with Different Yttrium Concentrations under 193 nm Laser, 无机材料学报, 2023, 第 9 作者
(2) Irradiation Damage of CaF2 with Different Yttrium Concentrations under 193 nm Laser, JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS, 2023, 第 9 作者
(3) 激光光强波动无关的248 nm退偏器检测方法, Detection Method for 248 nm Depolarizer Independent of Laser Intensity Fluctuation, 中国激光, 2022, 第 5 作者
(4) Jones pupil decomposition and its lithographic imaging impacts, APPLIED OPTICS, 2021, 第 8 作者
(5) Direct Stress Birefringence Distribution Measurement in Lens Using Refractive Index Matching Liquid, IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2021, 通讯作者
(6) High efficiency all-dielectric pixelated metasurface for near-infrared full-Stokes polarization detection, High efficiency all-dielectric pixelated metasurface for near-infrared full-Stokes polarization detection, PHOTONICS RESEARCH, 2021, 第 4 作者
(7) 基于全介质共振域光栅的偏振器件设计与制备, 中国激光, 2020, 通讯作者
(8) Gradient-based source mask and polarization optimization with the hybrid Hopkins-Abbe model, JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS, 2020, 通讯作者
(9) Mechanical stress birefringence of optical plates, APPLIED OPTICS, 2020, 第 9 作者
(10) Mechanical Stress Birefringence of Optical Plate, Applied Optics, 2020, 通讯作者
(11) Sellmeier模型表征混合液晶双折射率色散的实验研究, Experimental Study on Birefringence Dispersion for Liquid Crystal Mixture by Sellmeier Model, 中国激光, 2020, 第 6 作者
(12) 用于皮秒激光切割的贝塞尔镜头研究, Study on Bessel Lens for Picosecond Laser Cutting, 光子学报, 2020, 第 6 作者
(13) 深紫外光栅反常偏振器件的设计与分析, Design and Analysis of Inverse Polarization Grating Devices for Deep Ultraviolet Light, 中国激光, 2020, 第 7 作者
(14) Large effective aperture metalens based on optical sparse aperture system, Large effective aperture metalens based on optical sparse aperture system, CHINESE OPTICS LETTERS, 2020, 通讯作者
(15) Evaluation method for evaluating the surface quality of concave axicons with high reflectivity, LASER PHYSICS, 2020, 第 3 作者
(16) Measurement of base angle of an axicon lens based on auto-collimation optical path, OPTICS COMMUNICATIONS, 2019, 第 5 作者
(17) Te-free SbBi thin film as a laser heat-mode photoresist, Te-free SbBi thin film as a laser heat-mode photoresist, CHINESE OPTICS LETTERS, 2019, 第 5 作者
(18) Imaging method of single layer graphene on metal substrate based on imaging ellipsometer with large field of view, CHINESE OPTICS LETTERS, 2019, 通讯作者
(19) Polarization simulation and analysis of residual birefringence in optical materials for a hyper-NA lithography illumination system, APPLIED OPTICS, 2019, 第 5 作者
(20) A simple system of swept source optical coherence tomography for a large imaging depth range, OPTICS COMMUNICATIONS, 2019, 第 5 作者
(21) 基于柱面透镜Otto结构SPR效应的金属薄膜厚度测量方法, Thickness Measurement Method of Metallic Thin Film Based on SPR Effect Generated by Cylindrical Lens with Otto Configuration, 中国激光, 2019, 第 5 作者
(22) Imaging method of single layer graphene on metal substrate based on imaging ellipsometer with large field of view, Imaging method of single layer graphene on metal substrate based on imaging ellipsometer with large field of view, 中国光学快报:英文版, 2019, 通讯作者
(23) 手持式激光诱导击穿光谱仪对铝合金中镁钛元素的定量分析, Quantitative Analysis of Magnesium and Titanium Elements in Aluminum Alloy by Handheld Laser-Induced Breakdown Spectroscopy, 激光与光电子学进展, 2019, 第 5 作者
(24) Simultaneous measurement of retardance and fast axis azimuth based on liquid crystal wave plate group, OPTIK, 2018, 通讯作者
(25) 一种基于固定光程差干涉信号的光学相干层析成像光谱标定方法, A Spectral Calibration Method in Optical Coherence Tomography Based on Interference Signal with Fixed Optical Path Difference, 中国激光, 2018, 第 5 作者
(26) Simultaneous measurement of retardance and fast axis azimuth based on liquid crystal wave plate group, OPTIK, 2018, 通讯作者
(27) 光刻机照明系统的多自由度均匀性校正方法, Multi-Degree-of-Freedom Uniformity Correction Method of Illumination System in Lithography Machine, 光学学报, 2018, 第 4 作者
(28) 光刻机照明光场均匀性高精度校正方法研究, High Precision Correction Method of Illumination Field Uniformity for Photolithography Illumination System, 光学学报, 2018, 第 4 作者
(29) Simple phase shifting lateral shearing interferometer based on a thick birefringent plate, J. OPT. TECHNOL., 2017, 第 4 作者
(30) Polarization phase-shifting lateral shearing interferometer with two polarization beam splitter plates, OPTICAL REVIEW, 2017, 通讯作者
(31) Calibration of photoelastic modulator using direct current component, OPTIK, 2017, 通讯作者
(32) Measuring optical constants of ultrathin layers using surface-plasmon-resonance-based imaging ellipsometry, APPLIED OPTICS, 2017, 第 5 作者
(33) Measuring optical constants of ultrathin layers using surface-plasmon-resonance-based imaging ellipsometry, APPLOPTICS, 2017, 第 2 作者
(34) Programmable uniformity correction by using plug-in finger arrays in advanced lithography system, OPTICS COMMUNICATIONS, 2017, 第 5 作者
(35) Polarization phase-shifting lateral shearing interferometer with two polarization beam splitter plates, OPT. REV., 2017, 第 4 作者
(36) 一种提高扫频光学相干层析成像系统灵敏度的方法, A Method to Improve Sensitivity of Swept Source Optical Coherence Tomography System, 中国激光, 2017, 第 8 作者
(37) Programmable uniformity correction by using plug-in finger arrays in advanced lithography system, OPT. COMMUN., 2017, 第 4 作者
(38) Simple phase shifting lateral shearing interferometer based on a thick birefringent plate, JOURNAL OF OPTICAL TECHNOLOGY, 2017, 通讯作者
(39) Calibration of photoelastic modulator using direct current component, OPTIK, 2017, 第 5 作者
(40) Method of pupil shaping for off-axis illumination in optical lithography, JOURNAL OF OPTICAL TECHNOLOGY, 2016, 通讯作者
(41) 轴锥镜锥角检测方法研究, 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集, 2016, 第 1 作者
(42) 基于表面等离子体共振效应的金属薄膜参数测量技术, 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集, 2016, 第 2 作者
(43) Method of pupil shaping for off-axis illumination in optical lithography, J. OPT. TECHNOL., 2016, 第 5 作者
(44) 扫频光学相干层析成像系统的光谱标定方法, 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集, 2016, 第 1 作者
(45) Imaging ellipsometer with large field of view, OPTICAL METROLOGY AND INSPECTION FOR INDUSTRIAL APPLICATIONS IV, 2016, 第 4 作者
(46) Flat Gauss illumination for the step-and-scan lithographic system, OPTICS COMMUNICATIONS, 2016, 通讯作者
(47) A method of pupil shaping for off-axis illumination in optical lithography, Journal of Optical Technology, 2016, 通讯作者
(48) 基于平面反射镜的凸轴锥镜面形检测方法研究, 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集, 2016, 第 2 作者
(49) Flat Gauss illumination for the step-and-scan lithographic system, OPT. COMMUN., 2016, 第 6 作者
(50) Real-time measurement of retardation and fast axis azimuth for wave plates, J. OPT. TECHNOL., 2015, 第 2 作者
(51) A method for measuring the base angle of axicon lens based on chromatic dispersion, OPT. COMMUN., 2015, 第 2 作者
(52) Fabrication error analysis for diffractive optical elements used in a lithography illumination system, OPTICAL ENGINEERING, 2015, 第 4 作者
(53) Single-band upconversion nanoprobes for multiplexed simultaneous in situ molecular mapping of cancer biomarkers, NATURE COMMUNICATIONS, 2015, 第 8 作者
(54) 扫描干涉场曝光中关键技术的现状与发展趋势, Status and Development of Scanning Beam Interference Lithography System, 激光与光电子学进展, 2015, 第 4 作者
(55) A method for measuring the base angle of axicon lens based on chromatic dispersion, OPTICS COMMUNICATIONS, 2015, 通讯作者
(56) Generation of trapezoidal illumination for the step-and-scan lithographic system, APPL. OPTICS, 2015, 第 3 作者
(57) Generation of trapezoidal illumination for the step-and-scan lithographic system, APPLIED OPTICS, 2015, 通讯作者
(58) Large-area three-dimensional profilometer based on digital micromirror device, JOURNAL OF OPTICAL TECHNOLOGY, 2015, 第 2 作者
(59) Large-area three-dimensional profilometer based on digital micromirror device, J. OPT. TECHNOL., 2015, 第 2 作者
(60) A Tangentially Visible Fast Imaging System on EAST, PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY, 2015, 第 4 作者
(61) 基于椭偏成像光路和表面等离子体共振效应的金属薄膜参数测量方法研究, 中国激光, 2015, 第 2 作者
(62) Real-time measurement of retardation and fast axis azimuth for wave plates, JOURNAL OF OPTICAL TECHNOLOGY, 2015, 第 2 作者
(63) 基于光学色散的锥角检测方法, 第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集, 2014, 第 2 作者
(64) Two-dimensional polarization distribution controller based on variable retarder array, OPTIK, 2014, 通讯作者
(65) Simultaneous measurement of small birefringence magnitude and direction in real time, OPT. LASERS ENG., 2014, 第 2 作者
(66) 基于偏振空间移相干涉术的轴锥镜透射波面测量方法, 第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集, 2014, 第 2 作者
(67) 基于厚双折射平板的移相剪切干涉仪, 第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集, 2014, 第 3 作者
(68) Lateral shearing interferometer with variable shearing for measurement of a small beam, OPTICS LETTERS, 2014, 通讯作者
(69) 可用于小口径光束波前检测的横向剪切干涉仪, 中国激光, 2014, 第 2 作者
(70) 波片相位延迟量和快轴方位角的实时测量, 第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集, 2014, 第 3 作者
(71) Simultaneous measurement of small birefringence magnitude and direction in real time, OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING, 2014, 通讯作者
(72) Lateral shearing interferometer with variable shearing for measurement of a small beam, OPT. LETT., 2014, 第 2 作者
(73) Mixed multi-region design of diffractive optical element for projection exposure system, OPTIK, 2013, 第 5 作者
(74) 用于投影光刻机光瞳整形的衍射光学元件设计, 中国激光, 2013, 第 5 作者
(75) 光刻机光瞳整形衍射光学元件远场多参数检测方法, 中国激光, 2013, 第 5 作者
(76) Mixed multi-region design of diffractive optical element for projection exposure system, OPTIK - INTERNATIONAL JOURNAL FOR LIGHT AND ELECTRON OPTICS, 2013, 第 5 作者
(77) 用于光刻机照明均匀化的微柱面镜阵列设计, 中国激光, 2013, 第 5 作者
(78) Real-time Measurement of Full Field Retardation Near Quarter Wavelength (vol 16, pg 457, 2012), JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF KOREA, 2013, 第 2 作者
(79) Real-time measurement of retardation of eighth-wave plate independent of fast-axis direction, Real-time measurement of retardation of eighth-wave plate independent of fast-axis direction, 中国光学快报:英文版, 2012, 第 2 作者
(80) Simultaneous measurement of retardation and fast axis angle of eighth-wave plate in real time, OPTICS COMMUNICATIONS, 2012, 通讯作者
(81) Real-time measurement of retardation of eighth-wave plate independent of fast-axis direction, Real-time measurement of retardation of eighth-wave plate independent of fast-axis direction, CHINESE OPTICS LETTERS, 2012, 通讯作者
(82) 光刻机照明系统中光束稳定技术研究, Study on Beam Stabilization Technique in Lithography Illumination System, 中国激光, 2012, 第 3 作者
(83) Polarization Fizeau interferometer based on birefringent thin film, CHINESE OPTICS LETTERS, 2012, 通讯作者
(84) Polarization Fizeau interferometer based on birefringent thin film, Polarization Fizeau interferometer based on birefringent thin film, 中国光学快报:英文版, 2012, 第 2 作者
(85) Real-time Measurement of Full Field Retardation near Quarter Wavelength, JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF KOREA, 2012, 通讯作者
(86) 基于相位调制和样品摆动的l/4波片相位延迟量测量方法, Method for Measuring Retardation by Swinging Quarter-Wave Plate with Phase Modulator, 中国激光, 2011, 第 3 作者
(87) 基于相位调制和样品摆动的1/4波片相位延迟量测量方法, Method for Measuring Retardation by Swinging Quarter-Wave Plate with Phase Modulator, 中国激光, 2011, 第 3 作者
(88) Simultaneous measurement of retardance and fast axis angle of a quarter-wave plate using one photoelastic modulator, APPLIED OPTICS, 2011, 第 1 作者
(89) 高分辨率投影光刻机光瞳整形技术, Pupil Shaping Techniques in High Resolution Projection Exposure Tools, 激光与光电子学进展, 2011, 第 5 作者
(90) 与快轴方向无关的λ/8波片相位延迟量实时测量方法, Real-Time Measurement Method for Retardation of Eighth Waveplate Independent of Fast Axis, 中国激光, 2011, 第 2 作者
(91) Measurement of surface form deviation of the plane optical element using grid line method, OPTIK, 2010, 第 4 作者
(92) 基于二维光栅和检偏器阵列的实时空间偏振解码技术, Real-time spatial polarization decoding technology based on two-dimensional grating and analyzer array, 仪器仪表学报, 2010, 第 2 作者
(93) Multiplexed bead-based mesofluidic system for gene diagnosis and genotyping, ANALYTICAL CHEMISTRY, 2010, 第 4 作者
(94) 单分散生物气溶胶光散射特性的计算与分析, Computation and Analysis of Light Scattering by Monodisperse Biological Aerosols, 中国激光, 2010, 第 5 作者
(95) 金标免疫试纸条反射式光度计的研制, Development of reflectance photometer for gold-labeled test strip, 仪器仪表学报, 2009, 第 2 作者
(96) Method for measuring retardation of a quarter-wave plate based on normalized secondary harmonic component, OPTIK, 2009, 第 2 作者
(97) Spatial phase-shifting lateral shearing interferometer, 2008 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL INSTRUMENTS AND TECHNOLOGY, 2009, 第 2 作者
(98) A Simple Optical Reader for Upconverting Phosphor Particles Captured on Lateral Flow Strip, IEEE SENSORS JOURNAL, 2009, 第 6 作者
(99) The angle-of-arrival variance of optical waves propagating through turbulent atmosphere in the presence of random jitter, OPTIK, 2009, 第 3 作者
(100) 分束量可调的等光程平行分束技术, Parallel Beam Splitting Technology with Variable Displacement Difference and Equal Optical Path, 光子学报, 2009, 第 2 作者
(101) 大气湍流对斜程传输准单色高斯-谢尔光束空间相干性的影响, Effect of atmospheric turbulence on the spatial coherence of quasi-monochromatic Gaussian Schell-model beams propagating in the slant path, 物理学报, 2008, 第 3 作者
(102) 大气湍流对斜程传输准单色高斯-谢尔光束空间相干性的影响, Effect of atmospheric turbulence on the spatial coherence of quasi-monochromatic Gaussian Schell-model beams propagating in the slant path, 物理学报, 2008, 第 3 作者
(103) Research on identifying the order of fringe pattern traces using angular scan and zone search method, Research on identifying the order of fringe pattern traces using angular scan and zone search method, 中国光学快报:英文版, 2008, 第 2 作者
(104) 基于同步移相技术的1/4波片快轴方位角的实时测量, Real-time measurement of the fast axis angle of a quarter-wave plate based on simultaneous phase shifting technique, CHIN. OPT. LETT., 2008, 第 2 作者
(105) Research on identifying the order of fringe pattern traces using angular scan and zone search method, CHINESE OPTICS LETTERS, 2008, 第 2 作者
(106) Real-time measurement of the fast axis angle of a quarter-wave plate based on simultaneous phase shifting technique, CHINESE OPTICS LETTERS, 2008, 第 2 作者
(107) 投影变换方法在光学测量投影仪系统圆度表示中的应用, The application of geometric projection method to the illustration of roundness in optical measuring projector, 光学仪器, 2008, 第 4 作者
(108) 基于同步移相技术的1/4波片相位延迟量的快速测量, Method for rapid measuring retardation of a quarter-wave plate based on simultaneous phase shifting technique, CHIN. OPT. LETT., 2008, 第 2 作者
(109) 一种区域搜索获取平面光学元件光圈数的方法, Obtaining the value of light ring of the plane optical element by the zone search method, 中国激光, 2008, 第 4 作者
(110) 一种区域搜索获取平面光学元件光圈数的方法, Obtaining the value of light ring of the plane optical element by the zone search method, 中国激光, 2008, 第 4 作者
(111) Effect of atmospheric turbulence on the spatial coherence of quasi-monochromatic-gaussian schell-model beams propagating in the slant path, ACTA PHYSICA SINICA, 2008, 第 3 作者
(112) Method for rapid measuring retardation of a quarter-wave plate based on simultaneous phase shifting technique, CHINESE OPTICS LETTERS, 2008, 第 2 作者
(113) 投影变换方法在光学测量投影仪系统圆度表示中的应用, The appl ication of geometric projection method to the illustrationof roundness in optical measuring projector, 光学仪器, 2008, 第 4 作者
(114) 状扫描和区域搜索辨识条纹顺序的方法研究, Research on identifying the order of fringe pattern traces using angular scan and zone search method, CHIN. OPT. LETT., 2008, 第 2 作者
(115) Simultaneous phase-shifting ellipsometry based on grating beamsplitter, OPT. ENG., 2008, 第 2 作者
(116) Calibration method for a photoelastic modulator with a peak retardation of less than a half-wavelength, APPLIED OPTICS, 2007, 通讯作者
(117) 基于一维CCD的免疫层析试纸条检测系统, CCD-based detection system for immunity-chromatography test strip, 仪器仪表学报, 2007, 第 7 作者
(118) 靶镜光学质量检测技术的研究, Optical quality measurement of target lens, 光子学报, 2007, 第 5 作者
(119) Encircled energy measurement for focusing lens based on scanning Hartmann test, OPTIK, 2007, 第 4 作者
(120) 基于一维CCD的免疫层析试纸条检测系统, CCD-based detection system for immunity-chromatography test strip, 仪器仪表学报, 2007, 第 7 作者
(121) Changes in the coherence of quasi-monochromatic electromagnetic Gaussian Schell-model beams propagating through turbulent atmosphere, OPT. COMMUN., 2007, 第 3 作者
(122) 频谱泄漏对正弦相位调制干涉测量精度的影响何, 中国激光, 2007, 第 3 作者
(123) Anisotropic-source-induced changes of the degree of polarization of stochastic electromagnetic beams on propagation, JOURNAL OF OPTICS A-PURE AND APPLIED OPTICS, 2007, 第 3 作者
(124) Effects of coherence on anisotropic electromagnetic Gaussian-Schell model beams on propagation, OPT. LETT., 2007, 第 3 作者
(125) 基于基频分量消光的1/4波片快轴标定方法, Fast Axis Calibration of Quarter-Wave Plate by Foundamental Component Extinction, 中国激光, 2007, 第 2 作者
(126) 实时测量表面形貌的正弦相位调制半导体干涉仪, CHIN. OPT. LETT., 2007, 第 3 作者
(127) 大气湍流对斜程传输准单色高斯-谢尔光束时间相干性的影响, Effect of Atmospheric Turbulence on Temporal Coherence of Gaussian Schell-Model Beams Propagating in Slant Path, 光学学报, 2007, 第 3 作者
(128) 靶镜光学质量检测技术的研究, Optical quality measurement of target lens, 光子学报, 2007, 第 5 作者
(129) Effects of coherence on anisotropic electromagnetic Gaussian-Schell model beams on propagation, OPTICS LETTERS, 2007, 第 3 作者
(130) 频谱泄漏对正弦相位调制干涉测量精度的影响, Influence of Spectrum Leakage on Measurement Accuracy of Sinusoidai Phase Modulating Interferometer, 中国激光, 2007, 第 3 作者
(131) Calibration method for a photoelastic modulator with a peak retardation of less than a half-wavelength, APPL. OPTICS, 2007, 第 1 作者
(132) Anisotropic-source-induced changes of the degree of polarization of stochastic electromagnetic beams on propagation, JOPTAPUREAPPLOPT, 2007, 第 3 作者
(133) 用于大范围高精度实时位移测量的半导体激光干涉仪, CHIN. OPT. LETT., 2007, 第 3 作者
(134) Changes in the coherence of quasi-monochromatic electromagnetic Gaussian Schell-model beams propagating through turbulent atmosphere, OPTICS COMMUNICATIONS, 2007, 第 3 作者
(135) 光栅成像位置传感器中的偏振调制技术, Polarization modulation technology for a position sensor with grating imaging, 中国激光, 2006, 第 2 作者
(136) Scanning Hartmann test method and its application lens aberration measurement, CHIN. OPT. LETT., 2006, 第 4 作者
(137) 精确测量1/4波片相位延迟量的新方法, 中国激光, 2006, 第 2 作者
(138) A position sensor based on grating projection with spatial filtering and polarization modulation, CHIN. OPT. LETT., 2006, 第 2 作者
(139) 基于光弹调制技术的波片相位延迟量测量方法, 光学学报, 2006, 第 2 作者
(140) 光栅成像位置传感器中的偏振调制技术, Polarization modulation technology for a position sensor with grating imaging, 中国激光, 2006, 第 2 作者
(141) 相位延迟器复合旋光器技术及其应用, 中国激光, 2006, 第 2 作者
(142) 光弹调制器在偏振方向调制中的应用, Application of photoelastic modulator in modulation of polarization direction, 中国激光, 2005, 第 1 作者
(143) 狭缝投影位置传感技术及其在精密定位中的应用, Position Sensor with Slit Projection for Precision Positioning, 中国激光, 2005, 第 1 作者
(144) 基于光栅成像投影的微位移检测方法, Micro-Displacement Measurement Based on Grating Projection, 中国激光, 2005, 第 1 作者
(145) 基于光栅成像投影的微位移检测方法, Micro-Displacement Measurement Based on Grating Projection, 中国激光, 2005, 第 1 作者
(146) 精确标定光弹调制器的新方法, Method to calibrate accurately a photoelastic modulator, 光学学报, 2005, 第 1 作者
(147) 精确标定光弹调制器的新方法, Method to calibrate accurately a photoelastic modulator, 光学学报, 2005, 第 1 作者
(148) A novel polarization modulator for a Moire system with grating imaging, CHIN. OPT. LETT., 2005, 第 1 作者
(149) 光弹调制器在偏振方向调制中的应用, Application of photoelastic modulator in modulation of polarization direction, 中国激光, 2005, 第 1 作者
(150) Position sensor based on slit imaging, Position sensor based on slit imaging, 中国光学快报:英文版, 2004, 第 1 作者
(151) 投影光刻机调焦调平传感技术的研究进展, Progress in Focus and Level Sensor for Projection Lithography System, 激光与光电子学进展, 2004, 第 1 作者
发表著作
(1) 剪切干涉术及其进展, 科学出版社, 2017-04, 第 4 作者

科研活动

   

指导学生

已指导学生

郭小娴  硕士研究生  080300-光学工程  

韩杰  硕士研究生  080300-光学工程  

李凡月  硕士研究生  080300-光学工程  

朱玲琳  硕士研究生  080300-光学工程  

刘龙海  硕士研究生  430103-光学工程  

刘蕾  硕士研究生  080300-光学工程  

胡仕玉  硕士研究生  085202-光学工程  

顾帅妍  硕士研究生  085202-光学工程  

现指导学生

谷利元  博士研究生  080300-光学工程  

王瑄  博士研究生  080300-光学工程  

薛康福  硕士研究生  085202-光学工程  

魏张帆  博士研究生  080300-光学工程