1、精密机械、光栅刻划机、精密光学测量仪器

2、微纳加工、光栅研制

080202-机械电子工程

精密机械、光栅刻划机、精密光学测量仪器、微纳加工、光栅研制等

2015-09--2018-06   中科院大学   博士
2010-09--2012-07   哈尔滨工业大学   硕士
2006-09--2010-06   合肥工业大学   学士

博士研究生

博士学位

   

2019-09~现在, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 副研究员
2014-09~2019-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 助理研究员
2012-07~2014-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 研究实习员

2022-11-26-2027-11-26,中国仪器仪表学会精密机械分会, 副总干事
2021-01-01-今,国家自然科学基金（青年基金）项目评审专家,
2020-01-01-今,OSA Publishing（美国光学学会出版物）审稿人,

   

（1） 大面积高精度衍射光栅刻划机关键技术, 一等奖, 省级, 2017

（ 1 ） 色散共焦测量系统及其误差修正方法, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN113358030A

（ 2 ） 一种高精度的光栅拼接误差校正装置和方法, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112904522A

（ 3 ） 一种光栅毛坯的面型误差引起的刻线误差的校正方法, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112255717A

（ 4 ） 一种光栅拼接装置, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN111796384B

（ 5 ） 一种具有空间光阵列分束功能器件的装调装置, 发明专利, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN113138469A

（ 6 ） 一种基于分波前原理的空间光分束阵列, 发明专利, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN111221141A

（ 7 ） 光栅刻划机分度系统宏定位机构, 专利授权, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN111152168B

（ 8 ） 无框电机固定结构, 专利授权, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN111211632B

（ 9 ） 光栅拼接校正方法、装置以及光栅拼接校正系统, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN111060202B

（ 10 ） 一种滚柱圆度检测装置, 发明专利, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN110715596B

（ 11 ） 一种基于超声减摩的V型滑轨装置, 专利授权, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN110695714B

（ 12 ） 采用超声减摩技术的光栅刻划机分度系统宏定位执行机构, 发明专利, 2020, 第 7 作者, 专利号: CN110716254A

（ 13 ） 一种光栅刻刀方位角的调整方法, 专利授权, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110596804A

（ 14 ） 一种调整光栅刻刀方位角的方法, 专利授权, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110579827A

（ 15 ） 一种光栅膜层的制备方法, 专利授权, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110592537A

（ 16 ） 一种适用于衍射光栅的切割方法, 专利授权, 2019, 第 9 作者, 专利号: CN110441847A

（ 17 ） 一种衍射光栅保护结构及其制备方法, 专利授权, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN110488395A

（ 18 ） 一种衍射光栅的无损切割方法, 发明专利, 2019, 第 6 作者, 专利号: CN110488404A

（ 19 ） 一种衍射光栅的保护方法, 专利授权, 2019, 第 8 作者, 专利号: CN110451009A

（ 20 ） 一种光栅刻划机刻线位置测量光路的调整方法及其系统, 发明专利, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109407192A

（ 21 ） 一种应用刻划机制作平面双闪耀光栅的方法, 发明专利, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109307900A

（ 22 ） 一种体全息光栅型空间外差拉曼成像光谱仪光路结构, 专利授权, 2018, 第 5 作者, 专利号: CN108489613A

（ 23 ） 一种空间外差拉曼成像光谱仪的光路结构, 专利授权, 2018, 第 8 作者, 专利号: CN108181237A

（ 24 ） 一种中阶梯光栅型空间外差拉曼光谱仪光路结构, 专利授权, 2018, 第 7 作者, 专利号: CN108414087A

（ 25 ） 一种空间外差拉曼光谱仪光路结构, 发明专利, 2018, 第 7 作者, 专利号: CN108169205A

（ 26 ） 一种品字型位移测量光栅的制作方法, 发明专利, 2018, 专利号: CN108444389A

（ 27 ） 一种平面双闪耀光栅的制备方法, 专利授权, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108227056A

（ 28 ） 一种平面双闪耀光栅的制备方法, 发明专利, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108152874A

（ 29 ） 一种光栅刻划装置及具有该装置的光栅刻划机, 专利授权, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN106950629A

（ 30 ） 大行程光栅刻划机及其刀具总成, 专利授权, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN106814416A

（ 31 ） 光栅划刻刀定向角的测量装置及其测量方法, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN106247907A

（ 32 ） 光栅划刻机及其工作台的锁紧装置, 专利授权, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN106468794A

（ 33 ） 光栅刻划机及其刻划系统, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN106066502A

（ 34 ） 光栅刻划刀方位角的测量装置及其测量方法, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN106248046A

（ 35 ） 光栅刻划刀俯仰角的测量装置及其测量方法, 发明专利, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN106225649A

（ 36 ） 光栅刻划机及其螺母减重装置, 专利授权, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN106246844A

（ 37 ） 基于光栅刻划刀具压刃模式的软铝膜显微硬度测试方法, 发明专利, 2016, 第 6 作者, 专利号: CN105699230A

（ 38 ） 多个光栅刻刀并行干涉控制式光栅刻划方法, 发明专利, 2016, 第 7 作者, 专利号: CN105388545A

（ 39 ） 一种双气浮导轨式光栅刻划刀架驱动装置, 发明专利, 2015, 第 6 作者, 专利号: CN104459858A

（ 40 ） 一种光栅机械刻划机的激光干涉控制方法, 发明专利, 2015, 第 7 作者, 专利号: CN104678889A

（ 41 ） 一种位置调整装置, 专利授权, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102563303A

（ 42 ） 一种刻划深度调节装置、刀架系统及调节方法, 发明专利, 2023, 第 1 作者, 专利号: CN116449475A

（ 43 ） 基于光谱共焦测量系统重叠信号分解的厚度测量方法, 发明专利, 2023, 第 4 作者, 专利号: CN116538934A

（ 44 ） 基于神经网络的过零点修正方法, 发明专利, 2023, 第 4 作者, 专利号: CN116448662A

（ 45 ） 基于差动共焦特性曲线的过零点监测的测量方法, 发明专利, 2023, 第 5 作者, 专利号: CN115876082A

（ 46 ） 基于差分共焦系统的测量方法及其测量装置, 发明专利, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN115420197A

（ 47 ） 共焦测量系统及其测量方法, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN115493517A

（ 48 ） 共焦显微系统出瞳面光场分布的构造方法, 发明专利, 2023, 第 6 作者, 专利号: CN115655142A

（ 49 ） 共焦测量系统及其测量方法, 发明专利, 2023, 第 5 作者, 专利号: CN115655141A

（ 50 ） 基于权值分配的共焦测量系统及测量方法, 发明专利, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN115307574A

（ 51 ） 一维表面形貌测量系统及其测量方法, 发明专利, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN115342749A

（ 52 ） 成像光谱仪光学系统, 发明专利, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN114777922A

（ 53 ） 空间外差拉曼光谱仪, 发明专利, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN114719982A

（ 54 ） 空间外差拉曼光谱仪, 发明专利, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN114719983A

（ 55 ） 中阶梯光栅金属膜层制备工装及其使用方法, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114488374A

（ 56 ） 中阶梯光栅复制分离装置及其使用方法, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114637063A

（ 57 ） 光栅刀具刀尖角测量装置及其测量方法, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114608483A

（ 58 ） 中阶梯光栅闪耀角检测装置及其检测方法, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114578466A

（ 59 ） 光栅基底清洗装置及其清洗方法, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114589148A

（ 60 ） 中阶梯光栅金属膜层制备工装及其使用方法, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114488374A

（ 61 ） 中阶梯光栅金属膜层制备工装及其使用方法, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114488374A

（ 62 ） 交叉色散型空间外差光谱仪, 发明专利, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN114295210A

（ 63 ） 一种高精度的光栅拼接误差校正装置和方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN112904522B

（ 64 ） 一种光栅毛坯的面型误差引起的刻线误差的校正方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN112255717B

（ 65 ） 一种基于分波前原理的空间光分束阵列, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN111221141B

   

（1） Fabrication of a high-quality, small blaze angle grating for visible short-wave infrared hyperspectral cameras, Applied Optics, 2024, 通讯作者
（2） Echelle gratings tiling method based on lateral shearing interferometry, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2022, 通讯作者
（3） The effect of groove depth on the polarization behavior of an echelle grating, OPTIK, 2021, 第 3 作者
（4） High-quality and large-area echelle grating ruled on 500-mm ruling engine for the fiber array solar optical telescope (FASOT), OPTICS EXPRESS, 2021, 通讯作者
（5） Separation detection and correction of mosaic errors in mosaic gratings based on two detection lights with the same diffraction order and different incident angles, OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING, 2021, 通讯作者
（6） Effect of the measuring mirror surface shape error on ruled groove straightness and the grating diffraction wavefront, APPLIED OPTICS, 2020, 通讯作者
（7） Effect of the changes in refractive index of air on grating diffraction wavefront, OPTICS COMMUNICATIONS, 2020, 通讯作者
（8） Numerical calculation of the mosaic error between mosaic gratings, APPLIED OPTICS, 2020, 第 3 作者
（9） Effect of thickness non-uniformity of large-area grating metal film on grating diffraction wavefront, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2019, 
（10） Method for calculation and analysis of the weights of grating mosaic errors, APPLIED OPTICS, 2019, 第 6 作者
（11） Concurrent monitoring of zeroth-order and diffraction-order interference fringes for mosaicking echelle, OPTICS COMMUNICATIONS, 2019, 第 3 作者
（12） 大尺寸反射式光栅拼接技术的研究进展, Development of mosaic technology for large-size reflective gratings, 光学精密工程, 2019, 第 6 作者
（13） 大尺寸天文光栅铝膜均匀性研究, Research on Uniformity of Large Size Astronomical Grating Aluminium Film, 长春理工大学学报:自然科学版, 2019, 第 2 作者
（14） Ruling engine using adjustable diamond and interferometric control for high-quality gratings and large echelles, OPTICS EXPRESS, 2019, 通讯作者
（15） Analysis and removal of five-dimensional mosaicking errors in mosaic grating, OPTICS EXPRESS, 2019, 第 5 作者
（16） Development of a spatial heterodyne Raman spectrometer with echelle-mirror structure, OPTICS EXPRESS, 2018, 第 7 作者
（17） Using a unique mirror to minimize the effect of ruling engine cosine error on grating performance, APPLIED OPTICS, 2018, 第 1 作者
（18） Broadband transmission Raman measurements using a field-widened spatial heterodyne Raman spectrometer with mosaic grating structure, OPTICS EXPRESS, 2018, 第 6 作者
（19） Interference method for mosaicking echelles using double-angle incident light and a mirror-echelle structure, OPTICAL ENGINEERING, 2018, 第 3 作者
（20） 光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法, 中国激光, 2017, 第 1 作者
（21） Development of a parameterized mechanical model of a chisel-edge grating ruling tool, PRECISION ENGINEERING, 2017, 第 2 作者
（22） An improved accuracy-measuring method in manufacturing the lead screw of grating ruling engine, PRECISION ENGINEERING, 2017, 第 5 作者
（23） Correcting groove error in gratings ruled on a 500-mm ruling engine using interferometric control, APPLIED OPTICS, 2017, 通讯作者
（24） 光栅复制拼接光路中入射光角度对拼接误差的影响, Influence of incident light angles on mosaic grating errors in optical path for grating replication and mosaic, 光学精密工程, 2017, 第 3 作者
（25） Development of a parameterized mechanical model of a chisel-edge grating ruling tool, PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY, 2017, 第 3 作者
（26） An improved accuracy-measuring method in manufacturing the lead screw of grating ruling engine, PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY, 2017, 第 5 作者
（27） Groove shape characteristics of echelle gratings with high diffraction efficiency, OPTICS COMMUNICATIONS, 2017, 第 2 作者
（28） 基于波前法的光栅拼接误差检测及计算方法, 光学学报, 2016, 第 3 作者
（29） Ruling of echelles and gratings with a diamond tool by the torque equilibrium method, APPLIED OPTICS, 2016, 第 4 作者
（30） 大型衍射光栅刻划机拉杆结构的分析与改进, Analysis and improvement of rod structures for large diffraction grating ruling engines, 光学精密工程, 2015, 第 1 作者
（31） 大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计, Design of the controller of the micro-positioning system for large diffraction grating ruling engine, 仪器仪表学报, 2015, 第 1 作者
（32） 圆光栅偏心对仿真转台角位置精度的影响, Effect of Eccentric of Circular Gratings on Angular Position Accuracy of Simulator, 长春理工大学学报：自然科学版, 2014, 第 1 作者
（33） 光栅刻划机导向导轨支撑结构刚度优化设计, Optimal design of guide way for a grating ruling system, 长春工业大学学报：自然科学版, 2014, 第 2 作者
（34） 大光栅刻划机工作台的摆角矫正机构研制, Development of the workbench yaw angle correction mechanism of large grating ruling machine, 仪器仪表学报, 2014, 第 3 作者
（35） 大型衍射光栅刻划机刀架导轨设计, Design of cutter holder guide rail for large diffraction grating ruling engine, 长春工业大学学报：自然科学版, 2014, 第 1 作者
（36） 仿真转台用电液伺服系统低速性研究及实现, Research and Realization of Electro-hydraulic Servo Low-speed Performance of System for Simulator, 液压与气动, 2013, 第 2 作者
（37） 仿真转台机械台体固有频率与系统频带的关系, Relationship between the system frequency margin and the natural frequency of the mechanical platform, 长春工业大学学报：自然科学版, 2013, 第 1 作者
（38） 高精度双V型导轨的研磨与检测技术, Grind and detection of high-precision double V-type rail, 长春工业大学学报：自然科学版, 2013, 第 4 作者

   

（ 1 ） 94.13gr/mm中阶梯光栅开发试制, 负责人, 境内委托项目, 2021-05--2023-12
（ 2 ） 长波红外光栅, 负责人, 其他国际合作项目, 2018-11--2021-12
（ 3 ） 52.67gr/mm中阶梯光栅, 负责人, 境内委托项目, 2020-12--2023-12
（ 4 ） 中长波平面闪耀光栅研制, 负责人, 其他国际合作项目, 2020-12--2023-12
（ 5 ） 112.96gr/mm中阶梯光栅开发, 负责人, 境内委托项目, 2021-07--2023-07
（ 6 ） 基于“拼接-复制”法的分区闪耀宽波段光栅研制, 负责人, 国家任务, 2021-01--2023-12
（ 7 ） 低刻线密度红外光栅研制, 负责人, 其他国际合作项目, 2020-05--2023-07
（ 8 ） 大闪耀角、高衍射效率中阶梯光栅研发试制, 负责人, 境内委托项目, 2019-12--2021-12
（ 9 ） 大口径复杂曲面几何形貌及空间位置无损测量技术, 负责人, 国家任务, 2023-06--2026-05
（ 10 ） 大尺寸紫外中阶梯光栅的国产化研制, 负责人, 国家任务, 2023-12--2026-11
（ 11 ） 复杂面形测量仪样机研制, 负责人, 国家任务, 2024-01--2026-12

现指导学生

遆云赞  硕士研究生  080202-机械电子工程  

陈鹏元  硕士研究生  085400-电子信息