集成电路光学测量技术及精密仪器

光学工程-集成电路光学测量技术

光电信息工程-集成电路光学测量精密仪器

2014-12--2015-11   奥地利林茨大学   实验物理研究所，联合培养博士
2012-09--2017-01   天津大学   仪器科学与技术专业，博士

2021-05~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2018-05~2021-04,天津大学, 精密仪器与光电子工程学院, 博士后
2017-06~2018-04,成都工业学院, 讲师
2011-08~2012-02,北航电磁兼容技术研究所, 软件工程师

1. 一种过硅孔钝化层的厚度测量装置, 发明授权, 2024, 专利号: CN114858066B
2. 硅穿孔内衬层厚度测量方法, 发明专利, 2022, 专利号: CN114964009A
3. 一种薄膜质量分析方法, 发明专利, 2024, 专利号: CN117783053A
4. 用于纳米厚度SiO2厚度的差分反射光谱测量方法, 发明专利, 2021, 专利号: CN 111076668 B
5. 测量纳米薄膜厚度的显微式差分反射光谱测量系统及方法, 发明专利, 2021, 专利号: CN 111336932 B
6. 光学仪器箱, 发明专利, 2024, 专利号: CN117572624A
7. 高深宽比微结构深度一致性的光学测量与评估方法, 发明专利, 2024, 专利号: CN 114184583 B
8. 真实点云降噪方法、装置、电子设备及介质, 发明专利, 2024, 专利号: CN117889774A
9. 一种透明样品亚表面标准缺陷数据库的创建方法及装置, 发明专利, 2022, 专利号: CN114880511A
10. 测量硅通孔三维轮廓的方法、装置、电子设备和存储介质, 发明专利, 2023, 专利号: CN115876116A

 

（1） Adjustable low NA Quasi-Confocal reflectometry for ultra-high-aspect-ratio micro-structures, Optics & Laser Technology, 2024, 通讯
（2） Directly Evaluating the Optical Anisotropy of Few-Layered Black Phosphorus during Ambient Oxidization, Advanced Optical Materials, 2022
（3） Measuring the Multilayer Silicon based Microstructure Using Differential Reflectance Spectroscopy, Optics Express, 2021, 1作
（4） Assessing the quality of polished brittle optical crystal using quasi-Brewster angle technique, Precision Engineering, 2021, 通讯
（5） Imaging layer thickness of large-area graphene using reference-aided optical differential reflection technique, Optics Letters, 2020, 通讯
（6） Black Phosphorus Nano-Polarizer with High Extinction Ratio in Visible and Near-Infrared Regime, Nanomaterials, 2019
（7） Rapid reflectance difference microscopy based on liquid crystal variable retarder, Journal of Vacuum Science & Technology B, 2019, 通讯
（8） Evaporable Glass-State Molecule-Assisted Transfer of Clean and Intact Graphene onto Arbitrary Substrates, ACS Applied Materials & Interfaces, 2019
（9） Kinetic Barrier Against Standing Up of Pentacene Molecules Upon a Pentacene Monolayer, Physica status solidi (RRL) - Rapid Research Letters, 2018
（10） Wavelength tunable polarizer based on layered black phosphorus on Si/SiO2 substrate, Optics Letters, 2018
（11） Reflectance difference microscopy for nanometre thickness microstructure measurements, Journal of Microscopy, 2018
（12） 基于反射差分显微术的有机薄膜空间均一性的研究, 红外与毫米波学报, 2017, 1作
（13） 基于单偏振器的液晶相位延迟器光电特性, 红外与毫米波学报, 2016, 1作
（14） Normal-incidence reflectance difference spectroscopy based on a liquid crystal variable retarder, Applied Optics, 2016, 1作
（15） Optimization for liquid crystal variable retarder-based spectroscopic polarization measurements, Applied Optics, 2014, 1作

（ 1 ） 基于硅晶格常数的原子尺度量值传递新技术示范应用, 参与, 国家任务, 2024-12--2027-11
（ 2 ） 基于典型TSV三维集成产品的质量与可靠性评价方法验证, 参与, 国家任务, 2024-03--2027-02
（ 3 ） TSV三维集成内部缺陷无损定位研究, 参与, 国家任务, 2024-03--2027-02
（ 4 ） 晶圆级自动厚度验证装置及键合晶圆测量应用, 负责人, 国家任务, 2022-11--2024-10
（ 5 ） 基于显微和光谱同步测量的复杂微结构三维表征方法研究, 负责人, 国家任务, 2021-12--2024-11
（ 6 ） 深硅刻蚀结构几何参数光学无损测量方法研究, 负责人, 其他, 2021-09--2023-09
（ 7 ） 硅基MEMS高深宽比结构多模式光学测量技术, 参与, 国家任务, 2020-01--2022-12
（ 8 ） 高空间分辨率超薄膜层结构测量技术与仪器模组开发, 参与, 国家任务, 2017-07--2021-06