集成电路光学测量技术及精密仪器

光学工程

2014-12--2015-11   奥地利林茨大学   实验物理研究所，联合培养博士
2012-09--2017-01   天津大学   仪器科学与技术专业，博士

   

2021-05~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2018-05~2021-04,天津大学, 精密仪器与光电子工程学院，博士后
2017-06~2018-04,成都工业学院, 讲师
2011-08~2012-02,北航电磁兼容技术研究所, 软件工程师

2023-06-01-2024-06-30,中国计量测试学会第八届计量仪器专业委员会, 委员
2022-01-01-2024-12-31,海宁集成电路与先进制造研究院, 顾问

   

（ 1 ） 硅穿孔内衬层厚度测量方法, 发明专利, 2024, 第 1 作者, 专利号: ZL 2022 1 0478408.4

（ 2 ） 一种过硅孔钝化层的厚度测量装置, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN202210478408.4

（ 3 ） 高深宽比微结构深度一致性的光学测量与评估方法, 发明专利, 2024, 第 3 作者, 专利号: CN 114184583 B

（ 4 ） 用于纳米厚度SiO2厚度的差分反射光谱测量方法, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN 111076668 B

（ 5 ） 测量纳米薄膜厚度的显微式差分反射光谱测量系统及方法, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN 111336932 B

   

（1） Adjustable low NA Quasi-Confocal reflectometry for ultra-high-aspect-ratio micro-structures, Optics & Laser Technology, 2024, 通讯作者
（2） Directly Evaluating the Optical Anisotropy of Few-Layered Black Phosphorus during Ambient Oxidization, Advanced Optical Materials, 2022, 第 3 作者
（3） Measuring the Multilayer Silicon based Microstructure Using Differential Reflectance Spectroscopy, Optics Express, 2021, 第 1 作者
（4） Assessing the quality of polished brittle optical crystal using quasi-Brewster angle technique, Precision Engineering, 2021, 通讯作者
（5） Imaging layer thickness of large-area graphene using reference-aided optical differential reflection technique, Optics Letters, 2020, 通讯作者
（6） Black Phosphorus Nano-Polarizer with High Extinction Ratio in Visible and Near-Infrared Regime, Nanomaterials, 2019, 第 3 作者
（7） Rapid reflectance difference microscopy based on liquid crystal variable retarder, Journal of Vacuum Science & Technology B, 2019, 通讯作者
（8） Evaporable Glass-State Molecule-Assisted Transfer of Clean and Intact Graphene onto Arbitrary Substrates, ACS Applied Materials & Interfaces, 2019, 第 4 作者
（9） Kinetic Barrier Against Standing Up of Pentacene Molecules Upon a Pentacene Monolayer, Physica status solidi (RRL) - Rapid Research Letters, 2018, 第 2 作者
（10） Wavelength tunable polarizer based on layered black phosphorus on Si/SiO₂ substrate, Optics Letters, 2018, 第 3 作者
（11） Reflectance difference microscopy for nanometre thickness microstructure measurements, Journal of Microscopy, 2018, 第 2 作者
（12） 基于反射差分显微术的有机薄膜空间均一性的研究, 红外与毫米波学报, 2017, 第 1 作者
（13） 基于单偏振器的液晶相位延迟器光电特性, 红外与毫米波学报, 2016, 第 1 作者
（14） Normal-incidence reflectance difference spectroscopy based on a liquid crystal variable retarder, Applied Optics, 2016, 第 1 作者
（15） Optimization for liquid crystal variable retarder-based spectroscopic polarization measurements, Applied Optics, 2014, 第 1 作者

   

（ 1 ） 晶圆级自动厚度验证装置及键合晶圆测量应用, 负责人, 国家任务, 2022-11--2024-10
（ 2 ） 基于显微和光谱同步测量的复杂微结构三维表征方法研究, 负责人, 国家任务, 2021-12--2024-11
（ 3 ） 深硅刻蚀结构几何参数光学无损测量方法研究, 负责人, 其他, 2021-09--2023-09
（ 4 ） 硅基MEMS高深宽比结构多模式光学测量技术, 参与, 国家任务, 2020-01--2022-12
（ 5 ） 高空间分辨率超薄膜层结构测量技术与仪器模组开发, 参与, 国家任务, 2017-07--2021-06