080300-光学工程

集成电路光学量测方法研究

2009-09--2015-06   天津大学   博士
2005-09--2009-06   天津大学   学士

   

2018-11~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2015-07~2018-10,中国科学院光电研究院, 助理研究员
2009-09~2015-06,天津大学, 博士
2005-09~2009-06,天津大学, 学士

2024-04-01-今,中国仪器仪表学会分析仪器分会光谱仪器专家委员会委员,
2024-01-01-今,《半导体光电》青年编委,
2023-03-01-今,中国光学工程学会光电测试测量技术及应用专业委员会集成电路光电检测组委员,
2022-03-01-今,《计测技术》青年编委,

   

（1） 中国机械工业科学技术发明奖, 特等奖, 省级, 2020
（2） 中国计量测试学会技术进步奖, 一等奖, 省级, 2020

（ 1 ） 测量硅通孔三维轮廓的方法、装置、电子设备和存储介质, 2023, 第 1 作者, 专利号: CN115876116A

（ 2 ） 凸点高度测量装置及测量方法, 2022, 第 3 作者, 专利号: 202211703732.8

（ 3 ） 硅穿孔内衬层厚度测量方法, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN114964009A

（ 4 ） 一种过硅孔钝化层的厚度测量装置, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN114858066A

（ 5 ） 基于光谱调制的自启动Mamyshev光纤振荡装置, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114696189A

（ 6 ） 基于脉冲激光的过焦扫描光学显微成像装置及方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114659461A

（ 7 ） 一种轴系正交性测量装置以及测量系统, 2022, 第 4 作者, 专利号: 202210532314.0

（ 8 ） 微纳器件三维结构光学检测装置及方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114252007A

（ 9 ） 采用跨层连接的叠层结构的柔性定位平台和原子力显微镜系统, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN213483420U

（ 10 ） 基于光频梳的真空测量方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN110411650B

（ 11 ） 一种低重频掺铒飞秒光纤激光器, 2021, 第 8 作者, 专利号: CN112271540A

（ 12 ） 采用跨层连接的叠层结构的柔性定位平台, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN112151108A

（ 13 ） 基于光频梳的微纳器件表面轮廓线上测量装置及方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN112146592A

（ 14 ） 基于光频梳的真空测量方法及装置, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110411650A

（ 15 ） 激光跟踪测量系统及方法, 2019, 第 10 作者, 专利号: CN109725325A

   

（1） 基于过焦扫描光学显微术的套刻误差检测方法研究, Overlay error measurement method based on through-focus scanning optical microscopy, 光学学报, 2024, 
（2） 过焦扫描光学显微测量技术综述, Review of through-focus scanning optical microscopy, 计测技术, 2023, 第 1 作者
（3） MEMS High Aspect Ratio Trench Three-Dimensional Measurement Using Through -Focus Scanning Optical Microscopy and Deep Learning Method, Applied Sciences, 2022, 
（4） 高速实时近红外弱信号检测系统, A high-speed and real-time SWIR weak signal detection system, 光学精密工程, 2022, 第 4 作者
（5） 基于深度学习的合作目标靶球检测, Object detection of cooperative target based on deep learning, 计测技术, 2022, 第 3 作者
（6） 基于机器学习的过焦扫描显微测量方法研究, Through-focus scanning optical microscopy measurement based on machine learning, 中国光学(中英文), 2022, 第 2 作者
（7） Suppression of multi-pulse formation in all-polarization- maintaining figure-9 erbium- doped fiber mode-locked laser, Chinese Physics B, 2021, 第 1 作者
（8） 缺陷对极紫外掩模多层结构反射场的扰动研究, Study of Defect Perturbation in Reflective Field of EUV Mask Multilayer, 半导体光电, 2020, 第 4 作者
（9） 结构紧凑的双波长连续波掺铒光纤激光器, Compact dual-wavelength continuous wave Er-doped fiber laser, 中国光学, 2019, 第 1 作者
（10） Compensation of Frequency Drift in Frequency-Sweep Polarization-Modulation Ranging System, APPLIED SCIENCES-BASEL, 2019, 第 5 作者
（11） 滤波对8字腔掺铒光纤激光器锁模运转的影响, Impact of spectral filtering on the mode-locking operation of figure-eight Er-doped fiber laser, 物理学报, 2019, 第 1 作者
（12） Self-starting simple structured dual-wavelength modelocked erbium-doped fiber laser using a transmission-type semiconductor saturable absorber, Chinese Optics Letters, 2018, 第 1 作者
（13） All-polarization-maintaining figure-eight Er-fiber ultrafast laser with a bidirectional output coupler in the loss-imbalanced nonlinear optical loop mirror, Chinese Optics Letters, 2018, 第 1 作者
（14） 基于增益光纤长度优化的双波长运转掺铒光纤锁模激光器, Dual-wavelength mode-locked Er-doped fiber laser based on optimizing gain fiber length, 物理学报, 2017, 第 1 作者
（15） 双向运转混合锁模掺铒光纤激光器, Bidirectional Hybrid Mode-locking Er-doped Fiber Laser, 中国激光, 2016, 第 1 作者

   

（ 1 ） 机台误差补偿与微孔测量精度评定技术研究, 负责人, 国家任务, 2024-01--2026-12
（ 2 ） 纳米精度表面缺陷检测系统开发及应用示范, 负责人, 国家任务, 2024-01--2026-12