080903-微电子学与固体电子学

微型传感器，气体传感技术，微纳制造，MEMS

2005-07--2010-06   中国科学院上海微系统与信息技术研究所   硕博连读研究生
2001-09--2005-06   复旦大学   本科生

   

2019-01~现在, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 高级工程师
2010-07~2018-12,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 助理研究员
2005-07~2010-06,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 硕博连读研究生
2001-09~2005-06,复旦大学, 本科生

   

（1） 上海市技术发明奖, 一等奖, 省级, 2024

（ 1 ） 一种差分量热式MEMS气体传感器及气体检测方法, 2023, 第 5 作者, 专利号: CN115876835B

（ 2 ） 一种纳米材料物相转变温度的测量方法, 2022, 第 6 作者, 专利号: CN114965549A

（ 3 ） 一种气体传感材料及其制备方法和用途, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN113092543A

（ 4 ） 加热元件、微加热器及其制备方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112312600A

（ 5 ） 一种基于Pd-Ag合金纳米晶的氢气传感器及其制备方法, 2020, 第 6 作者, 专利号: CN111855756A

（ 6 ） 微传感器及其制备方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110040678A

（ 7 ） 旁热式微传感器及其制造方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN106629575A

（ 8 ） 一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN105271361A

（ 9 ） 液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN104569369A

（ 10 ） 一种基于双面表面应力的压阻式微纳传感器及其制备方法, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102809452A

（ 11 ） 在微悬臂梁表面一步制造羧酸功能化单层膜的方法, 2010, 第 3 作者, 专利号: CN101712451A

（ 12 ） 一种湿法腐蚀制作集成压阻SiO 2 悬臂梁的方法, 2009, 第 2 作者, 专利号: CN101590997A

（ 13 ） 利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法, 2009, 第 5 作者, 专利号: CN101451946A

   

（1） A Study on Micropillar Fin-Integrated Thermal Conductivity Sensor for Hydrogen Response Speed Enhancement and Flow Rate Interference Suppression, IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 2025, 第 2 作者
（2） Quantitative Measurements of Catalytic Activity of Single-atom And Nanoparticle Palladium Catalysts ForSensitive Detection Of Methane Using Cantilever-basedTemperature-programmed Reduction Technique, IEEE MEMS 2024, 2024, 第 1 作者
（3） Catalytic decomposition sensing mechanism of mesoporous gamma alumina for freon R134a detection, SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2023, 第 4 作者
（4） 谐振微悬臂梁传感器的工作原理及其在生化检测中的研究进展, Principle of resonant micro-cantilever sensor and its research progress in biochemical detection, 电子技术应用, 2023, 第 5 作者
（5） Microcantilever-Based In Situ Temperature-Programmed Desorption (TPD) Technique, JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY LETTERS, 2023, 第 4 作者
（6） Advanced In Situ TEM Microchip with Excellent Temperature Uniformity and High Spatial Resolution, SENSORS, 2023, 第 3 作者
（7） Area-Selective, In-Situ Growth of Pd-Modified ZnO Nanowires on MEMS Hydrogen Sensors, NANOMATERIALS, 2022, 第 3 作者  通讯作者
（8） Failure mechanism of palladium-silver nanocatalysts-sensitized hydrogen microsensor revealed by in-situ transmission electron microscopy, 2022 IEEE 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2022, 第 4 作者
（9） Identifying, Resolving, and Quantifying Anisotropy in ReS2 Nanomechanical Resonators, SMALL, 2022, 第 12 作者
（10） In situ TEM technique revealing the deactivation mechanism of bimetallic Pd���Ag nanoparticles in hydrogen sensors, Nano Letters, 2022, 第 4 作者
（11） 基于一种多功能系统的二维纳米器件高效制备, Fast prototyping of nanodevices based on two dimensional materials using a multifunctional fabrication system, 中国科学:信息科学, 2022, 第 10 作者
（12） Microreactor-based TG���TEM synchronous analysis, Analytical Chemistry, 2022, 第 6 作者
（13） CO2 sensing properties and mechanism of ZnMn2O4 nanotubes under air and inert conditions, JOURNAL OF MATERIALS CHEMISTRY C, 2022, 第 3 作者  通讯作者
（14） Highly Sensitive MEMS Sensor Using Bimetallic Pd-Ag Nanoparticles as Catalyst for Acetylene Detection, SENSORS, 2022, 第 7 作者  通讯作者
（15） Optimization of nano-copper as H2S gas sensing material by quantitatively evaluating thermodynamic enthalpy with resonant microcantilever, 33rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2020, 第 5 作者
（16） LONG-TERM STABILITY IMPROVEMENT OF MICRO-HOTPLATE METHANE SENSOR PRODUCT, 2020 33RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2020), 2020, 第 1 作者
（17） Pentagram-Shaped Ag@Pt Core-Shell Nanostructures as High-Performance Catalysts for Formaldehyde Detection, ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES, 2020, 第 4 作者
（18） Resonant-Cantilever-Detected Kinetic/Thermodynamic Parameters for Aptamer-Ligand Binding on a Liquid-Solid Interface, ANALYTICAL CHEMISTRY, 2020, 第 6 作者
（19） IN-PLANE MODE RESONANT CANTILEVER SENSOR TO DETECT KINETIC/THERMODYNAMIC PARAMETERS FOR APTAMER-LIGAND BINDING, 2020 33RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2020), 2020, 第 5 作者
（20） ZnO-NANOWIRES COATED WITH GAMMA-ORDERED MESOPOROUS ALUMINA (GAMMA-OMA) CATALYST FOR DETECTION OF FREON, 2018 IEEE MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 2018, 第 2 作者
（21） Axial-Stressed Piezoresistive Nanobeam for Ultrahigh Chemomechanical Sensitivity to Molecular Adsorption, ANALYTICAL CHEMISTRY, 2012, 第 1 作者
（22） Axially stretched nano-thick piezoresistive silicon clamped-beams to sense specific-reaction-induced double-side surface-stress with much higher sensitivity than cantilevers, 2011 16TH INTERNATIONAL SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS CONFERENCE, TRANSDUCERS'11.2011 16TH INTERNATIONAL SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS CONFERENCE, TRANSDUCERS'11, 2011, 第 1 作者
（23） Quad-cantilever microsensors with a low-cost single-sided micro-machining technique for trace chemical vapor detection, MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2010, 第 2 作者
（24） Self-assembling siloxane bilayer directly on SiO(2) surface of micro-cantilevers for long-term highly repeatable sensing to trace explosives, NANOTECHNOLOGY, 2010, 第 1 作者

   

（ 1 ） 异质复合半导体纳米纤维纸室温氢气传感器多层次构效关系与关键技 术研究, 负责人, 国家任务, 2022-01--2025-12