080202-机械电子工程

高功率气体激光及其应用技术
极紫外光刻光源CO2驱动激光自动控制

2015-09--2019-06   中科院长春光机所   工学博士
2011-09--2014-06   电子科技大学   工学硕士
2007-09--2011-06   电子科技大学   工学学士

   

2022-09~现在, 中科院长春光机所, 副研究员
2016-09~2022-09,中科院长春光机所, 助理研究员
2015-09~2019-06,中科院长春光机所, 工学博士
2014-07~2016-09,中科院长春光机所, 研究实习员
2011-09~2014-06,电子科技大学, 工学硕士
2007-09~2011-06,电子科技大学, 工学学士

   

（1） Research on High-Precision Position Detection Based on a Driven Laser Spot in an Extreme Ultraviolet Light Source, Photonics, 2024, 
（2） 极紫外光刻光源驱动激光器光斑高精度检测技术研究, 中国激光, 2023, 
（3） 极紫外光刻光源系统光束指向稳定性研究, 激光与光电子进展, 2021, 
（4） Passively Q-switched Nd:GdYTaO4 laser based on two-dimensional MoS2 saturable absorber, INFRARED PHYSICS & TECHNOLOGY, 2019, 第 4 作者
（5） EMC Design of High Power TEA CO2 Laser, FIFTH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON LASER INTERACTION WITH MATTER, 2019, 第 11 作者
（6） Pulse operation of linearly polarized diode-pumped cesium-vapor laser based on acousto-optical modulation, OPTICS EXPRESS, 2019, 第 3 作者
（7） Improved conversion efficiency and beam quality of miniaturized mid-infrared idler-resonant MgO:PPLN optical parametric oscillator pumped by all-fiber laser, INFRARED PHYSICS & TECHNOLOGY, 2018, 第 3 作者
（8） A Tunable Mid-Infrared Solid-State Laser with a Compact Thermal Control System, APPLIED SCIENCES-BASEL, 2018, 第 1 作者

（ 1 ） 激光技术导论, Introduction to Laser Technology, 国防工业出版社, 2015-08, 第 4 作者

   

（ 1 ） 高平均功率激光等离子体极紫外光刻光源关键技术及相关基础研究, 参与, 国家任务, 2023-08--2028-08
（ 2 ） 万瓦级高重频窄脉宽CO2激光器, 参与, 中国科学院计划, 2023-08--2028-08
（ 3 ） 2023曙光计划-极紫外光刻光源高功率CO2驱动激光光束控制, 负责人, 研究所自主部署, 2023-07--2026-06
（ 4 ） 极紫外光刻光源高功率驱动激光光斑的高精度快范围快响应检测技术研究, 负责人, 国家任务, 2022-01--2024-12
（ 5 ） 面向复杂环境的多体制高功率激光器通用散热与热控技术研究, 参与, 国家任务, 2019-08--2024-08