电子光学设计及应用研究

多束电子束技术研究

电子显微镜

电子束曝光系统

欢迎具有光学工程、物理电子学、机械工程等专业背景的学生加入我们的研究团队。

080805-电工理论与新技术

电子光学设计及应用研究
多束电子束技术研究

2017-09--2019-09   荷兰代尔夫特理工大学   博士联合培养
2014-09--2020-06   北京航空航天大学   工学博士学位

博士研究生

工学博士

2024.05-至今  中国科学院电工研究所，副研究员

2022.12-2024.05 中国科学院电工研究所，助理研究员；

2020.07-2022.12 中国科学院电工研究所，博士后；

   

（1） Minimizing Off-Axis Aberrations in Multi-Beam Electron Optical Systems: An Analytical Approach, Ultramicroscopy, 2026, 第 3 作者  通讯作者
（2） 磁浸没热场发射电子枪, 光学 精密工程, 2025, 第 2 作者  通讯作者
（3） 多束电子源设计与实验, 光学精密工程, 2025, 第 3 作者  通讯作者
（4） 微型阵列束闸设计与实验, 光学精密工程, 2024, 第 1 作者
（5） 多束电子光学系统的研究现状与发展, 电子显微学报, 2023, 第 1 作者
（6） 离心法曲面涂胶的胶层厚度研究, 光学精密工程, 2022, 第 4 作者
（7） Accuracy requirements of the microarrayed Einzel lens, J. Vac. Sci. Technol. B, 2022, 第 1 作者  通讯作者
（8） Beam displacement and blur caused by fast electron beam deflection, ULTRAMICROSCOPY, 2020, 第 1 作者  通讯作者
（9） Photoemission sources and beam blankers for ultrafast electron microscopy, STRUCTURAL DYNAMICS, 2019, 第 1 作者
（10） Analytical analysis and simulation on fringe field effect of deflector plates applied in ultrafast electron microscopy, MICRON, 2019, 第 1 作者  通讯作者
（11） Pulse length, energy spread, and temporal evolution of electron pulses generated with an ultrafast beam blanker, STRUCTURAL DYNAMICS, 2019, 

   

（ 1 ） 高亮度多束电子源关键部件研制, 负责人, 中国科学院计划, 2026-04--2028-04
（ 2 ） 多束电子光学系统离轴像差计算与调控技术研究, 负责人, 国家任务, 2026-01--2029-12