140100-集成电路科学与工程

化合物半导体，MEMS传感器

2005-09--2011-06   北京工业大学   微电子学与固态电子学博士学位
2001-09--2005-06   北京工业大学   电子科学与技术学士学位

   

2011-07~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2005-09~2011-06,北京工业大学, 微电子学与固态电子学博士学位
2001-09~2005-06,北京工业大学, 电子科学与技术学士学位

   

（ 1 ） 温度反应器及其制作方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109781499A

（ 2 ） 一种悬浮结构微波滤波器及其制备方法, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN108206319A

   

（1） Design and Fabrication of Substrate-Free Au/SiNx/Au Metafilm for THz Sensing Application, IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2022, 第 4 作者
（2） The Study of an Integrated Sensor for Partial Nucleate Pool Boiling at Low Heat Flux, IEEE Sensors Journal., 2022, 第 1 作者
（3） Quantitative exploration of the absorber behavior of metal-insulator-metal metamaterials within terahertz via an asymmetric peak model, EUROPEAN PHYSICAL JOURNAL PLUS, 2022, 第 2 作者
（4） 超表面结构MEMS红外超窄带光源研究, Study on Metasurface Ultra-narrowband Infrared MEMS Light Source, 光子学报, 2022, 第 2 作者
（5） 基于MEMS的原位液体TEM芯片的设计与制作, Design and Fabrication of an In-Situ Liquid Cell TEM Chip Based on MEMS, 微纳电子技术, 2018, 第 2 作者
（6） Study of a Novel FP Microcavity With High Infrared Absorption, IEEE SENSORS JOURNAL, 2015, 第 11 作者
（7） 一种具有高填充因子吸收层和低失调低噪声读出电路的红外探测系统, Infrared detectors with high fill-factor absorber and low offset low noise readout circuit, 红外与毫米波学报, 2014, 第 3 作者
（8） Absorption of Optical Microcavity in the Infrared Spectral Region, ECS TRANSACTIONS, 2014, 第 2 作者
（9） SOI二极管型非制冷红外焦平面结构的改进设计, Improved structure for SOI diode uncooled infrared focal plane arrays, 红外与毫米波学报, 2014, 第 1 作者
（10） Design and analysis of a high fill-factor SOI diode uncooled infrared focal plane array, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2013, 第 11 作者

   

（ 1 ） 面向大容量光通信的高速直调完美涡旋光发射芯片研究, 参与, 国家任务, 2024-01--2027-12
（ 2 ） 集成加热激发新片芯片的研发, 负责人, 研究所自主部署, 2019-06--2023-05
（ 3 ） 运动健康随身连续监控技术及织造型产品研发, 负责人, 国家任务, 2018-12--2023-12