080300-光学工程
080903-微电子学与固体电子学

光刻技术，光电探测

2007-09--2010-04   长春理工大学   获得硕士学位
2003-09--2007-08   长春理工大学   获得学士学位

   

2018-11~现在, 中国科学院微电子研究所, 高级工程师
2018-07~2018-10,中国科学院光电研究院, 高级工程师
2012-07~2018-07,中国科学院光电研究院, 工程师
2010-04~2012-06,中国科学院光电研究院, 助理工程师
2007-09~2010-04,长春理工大学, 获得硕士学位
2003-09~2007-08,长春理工大学, 获得学士学位

   

（ 1 ） 位置敏感探测器的位置测量标定方法及装置, 2023, 第 4 作者, 专利号: 2023102324057

（ 2 ） 光学系统主光轴的调试方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114397762A

（ 3 ） 用于光学系统调焦调平的检测装置及方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114383822A

（ 4 ） 多干涉仪组合应用安装调整装置, 2022, 第 7 作者, 专利号: CN114088215A

（ 5 ） 六自由度调整装置, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN114047590A

（ 6 ） 高稳定偏振保持合束装置及方法, 2021, 第 7 作者, 专利号: CN110927880B

（ 7 ） 一种能够降低光程差的偏振分光棱镜, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN112394531A

（ 8 ） 一种衍射光栅结构及其制备方法, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN111580206A

（ 9 ） 高稳定低串扰分束装置, 2020, 第 8 作者, 专利号: CN110927983A

（ 10 ） 一种活动密封装置, 2019, 第 9 作者, 专利号: CN209483926U

（ 11 ） 一种减振装置, 2019, 第 10 作者, 专利号: CN110081117A

（ 12 ） 一种减振装置, 2019, 第 10 作者, 专利号: CN110081117A

（ 13 ） 一种活动密封装置, 2019, 第 9 作者, 专利号: CN110067493A

（ 14 ） 一种气浴装置, 2019, 第 11 作者, 专利号: CN110068122A

（ 15 ） 一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置, 2019, 第 10 作者, 专利号: CN110031027A

（ 16 ） 一种穿板密封装置, 2019, 第 11 作者, 专利号: CN110030436A

（ 17 ） 投影物镜的数值孔径的在线检测装置及方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108803248A

（ 18 ） 光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN208076920U

（ 19 ） 光刻光源传输光路系统的辅助调整装置, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN208076921U

（ 20 ） 一种基于全反射原理的液体透过率测量装置, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN208026629U

（ 21 ） 光刻光源传输光路系统的辅助调整装置及调整方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108681212A

（ 22 ） 一种高分辨率低畸变微型投影镜头, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN207965338U

（ 23 ） 光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置及测量方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108508709A

（ 24 ） 一种高分辨率低畸变微型投影镜头, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108227150A

（ 25 ） 一种基于全反射原理的液体透过率测量装置及方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108195799A

（ 26 ） 一种光谱共焦测量系统标定装置, 2018, 第 6 作者, 专利号: CN207050670U

（ 27 ） 一种基于夏克‐哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN206990194U

（ 28 ） 一种微位移测量装置, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN206905706U

（ 29 ） 一种微位移测量装置, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN206905706U

（ 30 ） 一种光谱共焦测量系统在线标定装置, 2018, 第 5 作者, 专利号: CN206862290U

（ 31 ） 一种微位移测量装置与测量方法, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN107421448A

（ 32 ） 一种光谱共焦测量系统在线标定装置与方法, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN107179052A

（ 33 ） 一种基于夏克‐哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置与方法, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN107144419A

（ 34 ） 一种光谱共焦测量系统标定装置及标定方法, 2017, 第 6 作者, 专利号: CN107131855A

（ 35 ） 一种深紫外光学系统波像差检测装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN206440452U

（ 36 ） 一种深紫外光学系统共焦对准装置, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN206363009U

（ 37 ） 基于多孔阵列板的光束空间相干长度测量仪, 2017, 第 6 作者, 专利号: CN206269927U

（ 38 ） 一种深紫外光学系统波像差检测装置和方法, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN106768886A

（ 39 ） 一种减小球面镜面形误差测量中机械移相误差的方法, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN106705886A

（ 40 ） 激光光束空间相干长度测量装置及其测量方法, 2017, 第 6 作者, 专利号: CN106644107A

（ 41 ） 一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN106646867A

（ 42 ） 一种用于光学传感器测量光路调整的集成调节结构, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN205826946U

（ 43 ） 一种用于哈特曼传感器测量的集成调节结构和方法, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN105973809A

（ 44 ） 一种微孔衍射波前质量的测量装置, 2015, 第 7 作者, 专利号: CN204788651U

（ 45 ） 一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法, 2015, 第 7 作者, 专利号: CN104913843A

（ 46 ） 一种光刻投影物镜系统波像差测量装置与方法, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104375385A

（ 47 ） 一种内窥镜用摄像适配器光学系统, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104345429A

（ 48 ） 一种用于内窥镜摄像适配器的光机结构, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104337492A

（ 49 ） 一种光学系统波像差测量装置, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN204008073U

（ 50 ） 一种光学系统波像差测量装置与测量方法, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN104101487A

（ 51 ） 用于摄像适配器的光机结构, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN203873725U

（ 52 ） 摄像适配器光学系统, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN203882001U

（ 53 ） 一种光刻投影物镜系统波像差测量装置, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN203882092U

（ 54 ） 投影物镜波像差在线检测装置, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN203133474U

（ 55 ） 基于双光束干涉的投影物镜波像差在线检测装置和方法, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103076724A

   

（1） 深紫外CMOS图像传感器测试匀光系统设计, Design of Homogenizing Optical System for Testing CMOS Image Sensor in Deep Ultraviolet Region, 半导体光电, 2020, 第 7 作者
（2） Design of digital light processing mini-projection lens, 9TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGIES: ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING TECHNOLOGIES, 2019, 
（3） Research on micro displacement measurement technology based on chromatic confocal method, Proc. SPIE, 2019, 
（4） 光谱共焦位移传感器线性色散物镜设计, Design of Linear Dispersive Objective for Chromatic Confocal Displacement Sensor, 中国激光, 2019, 第 4 作者
（5） The angular measurement of the motion direction of the stack motion platform based on the dual-frequency laser interferometer, Proc. SPIE, 2019, 
（6） Non-paraxial diffraction of tiny pinhole illuminated by partially coherent light, Proc. SPIE, 2019, 
（7） Confocal position alignment in high precision wavefront error metrology using Shack-Hartmann wavefront sensor, OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XXIX, 2016, 
（8） 环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析, Analysis of Effect of Ambient Temperature Variation on Measurement Accuracy of Shack-Hartmann Wavefront Sensor, 中国激光, 2016, 第 4 作者
（9） 纳米精度波像差检测随机点源阵列照明优化分析, Optimized Analysis of Random Point Array Illumination Source for Nanometer Accuracy Wavefront Error Testing, 光学学报, 2015, 第 4 作者
（10） Effect of ambient temperature on the measurement accuracy of Shack-Hartmann wavefront sensor, Proc. SPIE, 2015, 
（11） A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor, 7TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGIES: OPTICAL TEST AND MEASUREMENT TECHNOLOGY AND EQUIPMENT, 2014, 
（12） 激光雷达测距系统中滤光片的制备, Fabrication of filter film using in lidar ranging system, 红外与激光工程, 2010, 第 3 作者
（13） 激光雷达测距系统中滤光片的制备（英文）, Fabrication of filter film using in lidar ranging system, INFRARED AND LASER ENGINEERING, 2010, 
（14） 中小口径双非球面数控抛光技术研究, Computer controlled polishing for middle or small double-sided aspheric lens, 应用光学, 2009, 第 3 作者
（15） ZF6重火石玻璃非球面数控加工技术的研究, Investigation on the computer controlled fabrication of ZF6 dense flint glass aspheric surface, 光学仪器, 2009, 第 1 作者

   

（ 1 ） 收集镜光学性能综合检测技术, 参与, 中国科学院计划, 2023-10--2027-07
（ 2 ） 对准和套刻标记优化仿真算法与软件开发, 参与, 地方任务, 2023-07--2026-06
（ 3 ） 用于晶圆表面纳米级形貌测量的超表面紫外光电探测器研究, 负责人, 研究所自主部署, 2023-01--2025-12
（ 4 ） 光刻机照明系统中主要损耗零部件的国产化替代验证, 参与, 境内委托项目, 2023-01--2025-12
（ 5 ） 大尺寸FCBGA封装材料验证方案研究, 负责人, 国家任务, 2022-01--2024-12
（ 6 ） 14nm浸没光刻套刻对准关键技术研究, 参与, 国家任务, 2018-01--2023-12
（ 7 ） 投影曝光系统性能检测与评估, 负责人, 国家任务, 2009-07--2021-05
（ 8 ） 照明系统接口及光路设计方案研究, 负责人, 国家任务, 2009-07--2020-08