基本信息

苏佳妮 女 硕导 中国科学院微电子研究所

电子邮箱：sujiani@ima.ac.cn


研究领域

光刻技术、深紫外光电检测技术、精密光栅检测技术

招生信息

招生专业：测控技术与仪器、光电信息科学与工程、电子信息科学与工程、集成电路科学与工程

招生方向：DUV/EUV光学系统参数检测、光刻精密对准/套刻技术、光机设计及仪器开发



专利与奖励

申请发明专利八十余项，发表论文十余篇。

科研活动

主持承担国家科技重大专项、中科院先导等10余项。