基本信息

苏佳妮 女 硕导 中国科学院微电子研究所
电子邮件: sujiani@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码:
电子邮件: sujiani@ime.ac.cn
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招生信息
招生专业
080300-光学工程080903-微电子学与固体电子学
招生方向
光刻技术,光电探测
教育背景
2007-09--2010-04 长春理工大学 获得硕士学位2003-09--2007-08 长春理工大学 获得学士学位
工作经历
工作简历
2018-11~现在, 中国科学院微电子研究所, 高级工程师2018-07~2018-10,中国科学院光电研究院, 高级工程师2012-07~2018-07,中国科学院光电研究院, 工程师2010-04~2012-06,中国科学院光电研究院, 助理工程师2007-09~2010-04,长春理工大学, 获得硕士学位2003-09~2007-08,长春理工大学, 获得学士学位
专利与奖励
专利成果
( 1 ) 光学系统主光轴的调试方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114397762A( 2 ) 用于光学系统调焦调平的检测装置及方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114383822A( 3 ) 多干涉仪组合应用安装调整装置, 2022, 第 7 作者, 专利号: CN114088215A( 4 ) 六自由度调整装置, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN114047590A( 5 ) 高稳定偏振保持合束装置及方法, 2021, 第 7 作者, 专利号: CN110927880B( 6 ) 一种能够降低光程差的偏振分光棱镜, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN112394531A( 7 ) 一种衍射光栅结构及其制备方法, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN111580206A( 8 ) 高稳定低串扰分束装置, 2020, 第 8 作者, 专利号: CN110927983A( 9 ) 一种活动密封装置, 2019, 第 9 作者, 专利号: CN209483926U( 10 ) 一种减振装置, 2019, 第 10 作者, 专利号: CN110081117A( 11 ) 一种减振装置, 2019, 第 10 作者, 专利号: CN110081117A( 12 ) 一种活动密封装置, 2019, 第 9 作者, 专利号: CN110067493A( 13 ) 一种气浴装置, 2019, 第 11 作者, 专利号: CN110068122A( 14 ) 一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置, 2019, 第 10 作者, 专利号: CN110031027A( 15 ) 一种穿板密封装置, 2019, 第 11 作者, 专利号: CN110030436A( 16 ) 投影物镜的数值孔径的在线检测装置及方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108803248A( 17 ) 光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN208076920U( 18 ) 光刻光源传输光路系统的辅助调整装置, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN208076921U( 19 ) 一种基于全反射原理的液体透过率测量装置, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN208026629U( 20 ) 光刻光源传输光路系统的辅助调整装置及调整方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108681212A( 21 ) 一种高分辨率低畸变微型投影镜头, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN207965338U( 22 ) 光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置及测量方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108508709A( 23 ) 一种高分辨率低畸变微型投影镜头, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108227150A( 24 ) 一种基于全反射原理的液体透过率测量装置及方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108195799A( 25 ) 一种光谱共焦测量系统标定装置, 2018, 第 6 作者, 专利号: CN207050670U( 26 ) 一种基于夏克‐哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN206990194U( 27 ) 一种微位移测量装置, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN206905706U( 28 ) 一种微位移测量装置, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN206905706U( 29 ) 一种光谱共焦测量系统在线标定装置, 2018, 第 5 作者, 专利号: CN206862290U( 30 ) 一种微位移测量装置与测量方法, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN107421448A( 31 ) 一种光谱共焦测量系统在线标定装置与方法, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN107179052A( 32 ) 一种基于夏克‐哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置与方法, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN107144419A( 33 ) 一种光谱共焦测量系统标定装置及标定方法, 2017, 第 6 作者, 专利号: CN107131855A( 34 ) 一种深紫外光学系统波像差检测装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN206440452U( 35 ) 一种深紫外光学系统共焦对准装置, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN206363009U( 36 ) 基于多孔阵列板的光束空间相干长度测量仪, 2017, 第 6 作者, 专利号: CN206269927U( 37 ) 一种深紫外光学系统波像差检测装置和方法, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN106768886A( 38 ) 一种减小球面镜面形误差测量中机械移相误差的方法, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN106705886A( 39 ) 激光光束空间相干长度测量装置及其测量方法, 2017, 第 6 作者, 专利号: CN106644107A( 40 ) 一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN106646867A( 41 ) 一种用于光学传感器测量光路调整的集成调节结构, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN205826946U( 42 ) 一种用于哈特曼传感器测量的集成调节结构和方法, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN105973809A( 43 ) 一种微孔衍射波前质量的测量装置, 2015, 第 7 作者, 专利号: CN204788651U( 44 ) 一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法, 2015, 第 7 作者, 专利号: CN104913843A( 45 ) 一种光刻投影物镜系统波像差测量装置与方法, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104375385A( 46 ) 一种内窥镜用摄像适配器光学系统, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104345429A( 47 ) 一种用于内窥镜摄像适配器的光机结构, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104337492A( 48 ) 一种光学系统波像差测量装置, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN204008073U( 49 ) 一种光学系统波像差测量装置与测量方法, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN104101487A( 50 ) 用于摄像适配器的光机结构, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN203873725U( 51 ) 摄像适配器光学系统, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN203882001U( 52 ) 一种光刻投影物镜系统波像差测量装置, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN203882092U( 53 ) 投影物镜波像差在线检测装置, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN203133474U( 54 ) 基于双光束干涉的投影物镜波像差在线检测装置和方法, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103076724A
出版信息
发表论文
(1) 深紫外CMOS图像传感器测试匀光系统设计, Design of Homogenizing Optical System for Testing CMOS Image Sensor in Deep Ultraviolet Region, 半导体光电, 2020, 第 7 作者(2) Design of digital light processing mini-projection lens, 9TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGIES: ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING TECHNOLOGIES, 2019, (3) 光谱共焦位移传感器线性色散物镜设计, Design of Linear Dispersive Objective for Chromatic Confocal Displacement Sensor, 中国激光, 2019, 第 4 作者(4) 环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析, Analysis of Effect of Ambient Temperature Variation on Measurement Accuracy of Shack-Hartmann Wavefront Sensor, 中国激光, 2016, 第 4 作者(5) Confocal position alignment in high precision wavefront error metrology using Shack-Hartmann wavefront sensor, OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XXIX, 2016, (6) 纳米精度波像差检测随机点源阵列照明优化分析, Optimized Analysis of Random Point Array Illumination Source for Nanometer Accuracy Wavefront Error Testing, 光学学报, 2015, 第 4 作者(7) A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor, 7TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGIES: OPTICAL TEST AND MEASUREMENT TECHNOLOGY AND EQUIPMENT, 2014, (8) 激光雷达测距系统中滤光片的制备, Fabrication of filter film using in lidar ranging system, 红外与激光工程, 2010, 第 3 作者(9) 激光雷达测距系统中滤光片的制备(英文), Fabrication of filter film using in lidar ranging system, INFRARED AND LASER ENGINEERING, 2010, (10) 中小口径双非球面数控抛光技术研究, Computer controlled polishing for middle or small double-sided aspheric lens, 应用光学, 2009, 第 3 作者(11) ZF6重火石玻璃非球面数控加工技术的研究, Investigation on the computer controlled fabrication of ZF6 dense flint glass aspheric surface, 光学仪器, 2009, 第 1 作者
科研活动
科研项目
( 1 ) 投影曝光系统性能检测与评估, 负责人, 国家任务, 2009-07--2021-05( 2 ) 14nm浸没光刻套刻对准关键技术研究, 参与, 国家任务, 2018-01--2022-12( 3 ) 照明系统接口及光路设计方案研究, 负责人, 国家任务, 2009-07--2020-08( 4 ) 大尺寸FCBGA封装材料验证方案研究, 负责人, 国家任务, 2022-01--2024-12