基本信息
苏佳妮  女  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: sujiani@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码:

招生信息

   
招生专业
080300-光学工程
085400-电子信息
招生方向
光刻技术,光电探测

教育背景

2007-09--2010-04   长春理工大学   获得硕士学位
2003-09--2007-08   长春理工大学   获得学士学位

工作经历

   
工作简历
2018-11~现在, 中国科学院微电子研究所, 高级工程师
2018-07~2018-10,中国科学院光电研究院, 高级工程师
2012-07~2018-07,中国科学院光电研究院, 工程师
2010-04~2012-06,中国科学院光电研究院, 助理工程师
2007-09~2010-04,长春理工大学, 获得硕士学位
2003-09~2007-08,长春理工大学, 获得学士学位

专利与奖励

   
专利成果
( 1 ) 光学系统主光轴的调试方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114397762A

( 2 ) 用于光学系统调焦调平的检测装置及方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114383822A

( 3 ) 一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置, 2021, 第 10 作者, 专利号: CN110031027B

( 4 ) 一种能够降低光程差的偏振分光棱镜, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN112394531A

( 5 ) 一种穿板密封装置, 2020, 第 11 作者, 专利号: CN110030436B

( 6 ) 一种气浴装置, 2020, 第 11 作者, 专利号: CN110068122B

( 7 ) 一种活动密封装置, 2020, 第 9 作者, 专利号: CN110067493B

( 8 ) 一种衍射光栅结构及其制备方法, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN111580206A

( 9 ) 高稳定低串扰分束装置, 2020, 第 8 作者, 专利号: CN110927983A

( 10 ) 高稳定偏振保持合束装置及方法, 2020, 第 7 作者, 专利号: CN110927880A

( 11 ) 一种光谱共焦测量系统在线标定装置与方法, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN107179052B

( 12 ) 一种光谱共焦测量系统标定装置及标定方法, 2020, 第 6 作者, 专利号: CN107131855B

( 13 ) 一种减振装置, 2019, 第 10 作者, 专利号: CN110081117A

( 14 ) 一种活动密封装置, 2019, 第 9 作者, 专利号: CN110067493A

( 15 ) 一种用于哈特曼传感器测量的集成调节结构和方法, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN105973809B

( 16 ) 激光光束空间相干长度测量装置及其测量方法, 2019, 第 6 作者, 专利号: CN106644107B

( 17 ) 一种基于夏克-哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置与方法, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN107144419B

( 18 ) 一种深紫外光学系统波像差检测装置和方法, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN106768886B

( 19 ) 一种减小球面镜面形误差测量中机械移相误差的方法, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN106705886B

( 20 ) 光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN208076920U

( 21 ) 光刻光源传输光路系统的辅助调整装置, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN208076921U

( 22 ) 一种高分辨率低畸变微型投影镜头, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN207965338U

( 23 ) 一种高分辨率低畸变微型投影镜头, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108227150A

( 24 ) 一种光谱共焦测量系统标定装置, 2018, 第 6 作者, 专利号: CN207050670U

( 25 ) 投影物镜的数值孔径的在线检测装置及方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108803248A

( 26 ) 一种基于全反射原理的液体透过率测量装置, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN208026629U

( 27 ) 光刻光源传输光路系统的辅助调整装置及调整方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108681212A

( 28 ) 光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置及测量方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108508709A

( 29 ) 一种基于全反射原理的液体透过率测量装置及方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108195799A

( 30 ) 一种基于夏克‐哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN206990194U

( 31 ) 一种微位移测量装置, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN206905706U

( 32 ) 一种光谱共焦测量系统在线标定装置, 2018, 第 5 作者, 专利号: CN206862290U

( 33 ) 一种深紫外光学系统波像差检测装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN206440452U

( 34 ) 一种微位移测量装置与测量方法, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN107421448A

( 35 ) 一种深紫外光学系统共焦对准装置, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN206363009U

( 36 ) 基于多孔阵列板的光束空间相干长度测量仪, 2017, 第 6 作者, 专利号: CN206269927U

( 37 ) 一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN106646867A

( 38 ) 一种用于光学传感器测量光路调整的集成调节结构, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN205826946U

( 39 ) 一种微孔衍射波前质量的测量装置, 2015, 第 7 作者, 专利号: CN204788651U

( 40 ) 一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法, 2015, 第 7 作者, 专利号: CN104913843A

( 41 ) 一种光刻投影物镜系统波像差测量装置与方法, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104375385A

( 42 ) 一种内窥镜用摄像适配器光学系统, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104345429A

( 43 ) 一种用于内窥镜摄像适配器的光机结构, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104337492A

( 44 ) 一种光学系统波像差测量装置与测量方法, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN104101487A

( 45 ) 一种光学系统波像差测量装置, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN204008073U

( 46 ) 用于摄像适配器的光机结构, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN203873725U

( 47 ) 摄像适配器光学系统, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN203882001U

( 48 ) 一种光刻投影物镜系统波像差测量装置, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN203882092U

( 49 ) 投影物镜波像差在线检测装置, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN203133474U

( 50 ) 基于双光束干涉的投影物镜波像差在线检测装置和方法, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103076724A

出版信息

   
发表论文
(1) 深紫外CMOS图像传感器测试匀光系统设计, Design of Homogenizing Optical System for Testing CMOS Image Sensor in Deep Ultraviolet Region, 半导体光电, 2020, 第 7 作者
(2) 光谱共焦位移传感器线性色散物镜设计, Design of Linear Dispersive Objective for Chromatic Confocal Displacement Sensor, 中国激光, 2019, 第 4 作者
(3) 环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析, Analysis of Effect of Ambient Temperature Variation on Measurement Accuracy of Shack-Hartmann Wavefront Sensor, 中国激光, 2016, 第 4 作者
(4) 纳米精度波像差检测随机点源阵列照明优化分析, Optimized Analysis of Random Point Array Illumination Source for Nanometer Accuracy Wavefront Error Testing, 光学学报, 2015, 第 4 作者
(5) 激光雷达测距系统中滤光片的制备, Fabrication of filter film using in lidar ranging system, 红外与激光工程, 2010, 第 3 作者
(6) 激光雷达测距系统中滤光片的制备(英文), Fabrication of filter film using in lidar ranging system, Infrared and Laser engineering, 2010, 
(7) 中小口径双非球面数控抛光技术研究, Computer controlled polishing for middle or small double-sided aspheric lens, 应用光学, 2009, 第 3 作者
(8) ZF6重火石玻璃非球面数控加工技术的研究, Investigation on the computer controlled fabrication of ZF6 dense flint glass aspheric surface, 光学仪器, 2009, 第 1 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 投影曝光系统性能检测与评估, 负责人, 国家任务, 2009-07--2021-05
( 2 ) 14nm浸没光刻套刻对准关键技术研究, 参与, 国家任务, 2018-01--2022-12
( 3 ) 照明系统接口及光路设计方案研究, 负责人, 国家任务, 2009-07--2020-08