140100-集成电路科学与工程

EUV光刻、光刻照明

2007-09--2009-06   北京理工大学   硕士

   

2009-07~现在, 中国科学院微电子研究所, 任职
2007-09~2009-06,北京理工大学, 硕士

   

（ 1 ） 激光器, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN214754670U

（ 2 ） 液滴靶生成装置及其温度控制系统, 2018, 第 6 作者, 专利号: CN208077022U

（ 3 ） 光纤光栅传感器, 2018, 第 5 作者, 专利号: CN108759681A

（ 4 ） EUV光源液滴发生装置及其温度控制系统, 2018, 第 6 作者, 专利号: CN108445927A

（ 5 ） 采用双通结构的双腔准分子激光器, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN104577684B

（ 6 ） 基于标准具控制激光光谱及相干长度的调控装置和激光器, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN206441988U

（ 7 ） 一种用于准分子激光器的贯流式风机叶轮, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN206221357U

（ 8 ） 一种激光相干长度的调控装置和激光器, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN106602397A

（ 9 ） 一种有效降低噪声的准分子激光器贯流式风机叶轮, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN106286387A

（ 10 ） 一种准分子激光器绝对波长标定和校准装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN205826269U

（ 11 ） 声波和激波控制结构及准分子激光器放电腔, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN205790914U

（ 12 ） 准分子激光器的可见光引导装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN205657310U

（ 13 ） 一种绝对波长标定和校准装置及其方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN105977776A

（ 14 ） 一种用于准分子激光器的可见光导向装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN105742951A

（ 15 ） 声波和激波控制装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN105655855A

（ 16 ） 具有波纹管式腔镜调节装置的气体激光器, 2016, 第 5 作者, 专利号: CN205212163U

（ 17 ） 用于准分子激光器的卤素气体补充装置, 2016, 第 7 作者, 专利号: CN205081350U

（ 18 ） 一种高功率光学镜片测量装置, 2016, 第 7 作者, 专利号: CN205027510U

（ 19 ） 窄线宽准分子激光器谐振腔, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN205029171U

（ 20 ） 腔长缩小的环形腔准分子激光器, 2016, 第 8 作者, 专利号: CN204947314U

（ 21 ） 一种准分子激光器的光谱控制装置, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN204927797U

（ 22 ） 一种光谱控制装置, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN105186277A

（ 23 ） 精确测量高功率激光环境中光学镜片透过率的装置和方法, 2015, 第 7 作者, 专利号: CN105115701A

（ 24 ） 一种一体化气体激光器, 2015, 第 5 作者, 专利号: CN105071202A

（ 25 ） 一种改进谐振腔的窄线宽准分子激光器, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN105048262A

（ 26 ） 一种具有光路传输结构的准分子激光装置, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN204760742U

（ 27 ） 一种多功能光学材料测试装置, 2015, 第 9 作者, 专利号: CN204758482U

（ 28 ） 一种具有环形腔结构的准分子激光系统, 2015, 第 8 作者, 专利号: CN104993364A

（ 29 ） 一种用于准分子激光器的气体循环系统, 2015, 第 7 作者, 专利号: CN104953444A

（ 30 ） 一种准分子激光器, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104934846A

（ 31 ） 一种多功能光学材料测试装置, 2015, 第 9 作者, 专利号: CN104597020A

（ 32 ） 采用双通结构的双腔准分子激光器, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104577684A

（ 33 ） 一种采用MOPA结构的气体激光器放大系统, 2014, 第 7 作者, 专利号: CN104242030A

（ 34 ） 一种能量可控调谐的双腔结构激光器系统, 2014, 第 7 作者, 专利号: CN203983725U

（ 35 ） 一种双腔结构激光器系统及其能量可控调谐方法, 2014, 第 7 作者, 专利号: CN104092090A

（ 36 ） 一种测量ArF准分子激光器腔内温度的光纤光栅传感器, 2014, 第 5 作者, 专利号: CN103852190A

（ 37 ） 激光器发散角及光斑形状测量装置, 2014, 第 4 作者, 专利号: CN103674488A

（ 38 ） MOPA激光器放大系统, 2014, 第 7 作者, 专利号: CN203398516U

（ 39 ） 环形激光器放大系统, 2013, 第 8 作者, 专利号: CN203367742U

（ 40 ） 一种激光器温控系统, 2013, 第 6 作者, 专利号: CN203193112U

（ 41 ） 一种采用环形腔结构的气体激光器放大系统, 2013, 第 8 作者, 专利号: CN103296572A

（ 42 ） 激光器种子光注入锁定放大系统和功率放大腔, 2013, 第 6 作者, 专利号: CN203193116U

（ 43 ） 控制准分子气体激光器放电腔内温度的装置, 2013, 第 5 作者, 专利号: CN203135201U

（ 44 ） 用于测试光学镜片透过率的装置, 2013, 第 6 作者, 专利号: CN203132813U

（ 45 ） 基于等腰直角三角棱镜的激光线宽压窄扩束装置, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN203117537U

（ 46 ） 气体激光器的种子光注入锁定放大系统和功率放大腔, 2013, 第 6 作者, 专利号: CN103199422A

（ 47 ） 一种分立式气体激光器, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103138144A

（ 48 ） 一种准分子激光器的温度控制方法和系统, 2013, 第 6 作者, 专利号: CN103094818A

（ 49 ） 激光器温度稳定控制系统, 2013, 第 5 作者, 专利号: CN103092229A

（ 50 ） 激光器发散角及光斑形状测量装置, 2013, 第 4 作者, 专利号: CN202869779U

（ 51 ） 一种光学元件透过率的测量方法及装置, 2013, 第 6 作者, 专利号: CN103018012A

（ 52 ） 基于等腰直角三角棱镜的激光线宽压窄扩束方法和系统, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN102981278A

（ 53 ） 用于控制激光器系统的有效工作温度的装置, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN202737312U

（ 54 ） 控制激光器系统的有效工作温度的方法和装置, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102842841A

（ 55 ） 一种气体放电电极结构, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN102768926A

（ 56 ） 一种非对称气体放电电极结构, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN202307767U

（ 57 ） 一种布儒斯特窗片的设计方法, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102522680A

   

（1） 傅里叶合成照明中的光场均匀化技术, 激光与光电子学进展, 2024, 第 1 作者
（2） 基于匀光管的极紫外消相干和光强均匀化仿真研究, 物理学报, 2024, 第 1 作者
（3） 基于傅里叶合成技术的光刻照明系统研究, 中国激光, 2023, 第 1 作者
（4） Development of Research on Damage Characteristics of Calcium Fluoride Crystal Under Deep Ultraviolet Laser Irradiation, LASER & OPTOELECTRONICS PROGRESS, 2019, 第 6 作者
（5） 氟化钙晶体深紫外激光辐照损伤特性研究进展, Development of Research on Damage Characteristics of Calcium Fluoride Crystal Under Deep Ultraviolet Laser Irradiation, 激光与光电子学进展, 2019, 第 6 作者
（6） 光刻设备知识产权战略研究, Research on Intellectual Property Strategy of Lithography Equipment, 科技和产业, 2019, 第 6 作者
（7） Transmissivity testing of calcium fluoride windows under high pulse repetition rate laser irradiation at 193nm, PACIFIC-RIM LASER DAMAGE 2018: OPTICAL MATERIALS FOR HIGH-POWER LASERS, 2018, 第 5 作者
（8） 基于准分子激光绝对波长校准的寻峰算法研究, Research of Peak-Detection Algorithm Based on Absolute Wavelength Calibration of Excimer Laser, 中国激光, 2018, 第 3 作者
（9） Research of Peak-Detection Algorithm Based on Absolute Wavelength Calibration of Excimer Laser, CHINESE JOURNAL OF LASERS-ZHONGGUO JIGUANG, 2018, 第 3 作者
（10） 熔融石英棱镜在准分子激光光谱控制系统中的应用研究, 中国激光, 2013, 第 3 作者

   

（ 1 ） EUV光源舱体诊断, 参与, 中国科学院计划, 2023-10--2027-07
（ 2 ） 计算光刻与图形优化, 参与, 国家任务, 2023-01--2025-12
（ 3 ） 表面颗粒检测与控制技术, 参与, 中国科学院计划, 2021-01--2023-12
（ 4 ） 基于在线计量技术的极紫外光致放气机理研究, 参与, 国家任务, 2021-01--2024-12