基本信息

刘瑞琪 女 硕导 中国科学院微电子研究所
电子邮件: liuruiqi@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码:
电子邮件: liuruiqi@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码:
招生信息
招生专业
140100-集成电路科学与工程
招生方向
集成电路先导工艺与仪器装备技术,真空测量技术
教育背景
2010-09--2012-07 东北大学 硕士学位2005-09--2009-07 东北大学 学士学位
工作经历
工作简历
2019-08~现在, 中国科学院微电子研究所, 高级工程师2015-01~2019-08,北京中科科美科技股份有限公司, 工程师2012-07~2015-01,北京中科科仪股份有限公司, 工程师2010-09~2012-07,东北大学, 硕士学位2005-09~2009-07,东北大学, 学士学位
专利与奖励
奖励信息
(1) 科技成果转化, 特等奖, 院级, 2020
专利成果
( 1 ) 电容薄膜真空规, 2025, 第 10 作者, 专利号: CN119245921A( 2 ) 电容薄膜真空规, 2024, 第 8 作者, 专利号: CN118329283A( 3 ) 压电式绝压真空计, 2024, 第 9 作者, 专利号: CN118275031A( 4 ) 一种抑制沉积结构件及真空规, 2024, 第 5 作者, 专利号: CN118258544A( 5 ) 一种薄膜式真空规用抑制沉积导流模块及薄膜式真空规, 2024, 第 9 作者, 专利号: CN118209247A( 6 ) 一种真空规, 2024, 第 4 作者, 专利号: CN117664429A( 7 ) 一种抑制沉积管及压力检测装置, 2023, 第 3 作者, 专利号: CN117309226A( 8 ) 一种薄膜式电容传感器, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN110926662B( 9 ) 一种温压复合传感器的制作方法, 2022, 第 7 作者, 专利号: CN111351607B( 10 ) 柔性电极支撑结构, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN110879111B( 11 ) 一种纳米线压力传感器制备方法, 2021, 第 6 作者, 专利号: CN112798163A( 12 ) 具有USB输出的高精度差分电容式压力检测装置, 2020, 第 6 作者, 专利号: CN111189562A( 13 ) 散热结构及电容压力传感器, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111174966A( 14 ) 一种检测膜片式真空压力计沉积物的装置及其应用, 2020, 第 6 作者, 专利号: CN111141813A( 15 ) 电容式压力检测装置及传感器, 2020, 第 7 作者, 专利号: CN111122020A( 16 ) 基于电压时间转换的电容式压力检测装置、方法及传感器, 2020, 第 6 作者, 专利号: CN111122019A( 17 ) 真空压力计响应时间测量装置, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN111044218A( 18 ) 真空压力计响应时间测量装置及方法, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN111044219A( 19 ) 检测膜片式真空压力计沉积物的方法, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN111044602A( 20 ) 一种防沉积匀气环, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN110987282A( 21 ) 利用全反射原理提高测量精度的压力传感器及其应用, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN110926668A( 22 ) 一种激光反射原理的压力传感器及其压力传感方法, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN110926683A
科研活动
科研项目
( 1 ) 刻蚀真空规研究及工程化, 参与, 国家任务, 2023-11--2025-10( 2 ) 大尺寸超高真空分子束外延技术与装备, 参与, 国家任务, 2022-12--2025-11