基本信息
刘瑞琪  女  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件： liuruiqi@ime.ac.cn
通信地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码：

招生信息

   
招生专业
140100-集成电路科学与工程
招生方向
集成电路先导工艺与仪器装备技术，真空测量技术

教育背景

2010-09--2012-07   东北大学   硕士学位
2005-09--2009-07   东北大学   学士学位

工作经历

   
工作简历
2019-08~现在, 中国科学院微电子研究所, 高级工程师
2015-01~2019-08,北京中科科美科技股份有限公司, 工程师
2012-07~2015-01,北京中科科仪股份有限公司, 工程师
2010-09~2012-07,东北大学, 硕士学位
2005-09~2009-07,东北大学, 学士学位

专利与奖励

   
奖励信息
（1） 科技成果转化, 特等奖, 院级, 2020
专利成果
（ 1 ） 一种薄膜式电容传感器, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN110926662B

（ 2 ） 一种温压复合传感器的制作方法, 2022, 第 7 作者, 专利号: CN111351607B

（ 3 ） 柔性电极支撑结构, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN110879111B

（ 4 ） 一种纳米线压力传感器制备方法, 2021, 第 6 作者, 专利号: CN112798163A

（ 5 ） 具有USB输出的高精度差分电容式压力检测装置, 2020, 第 6 作者, 专利号: CN111189562A

（ 6 ） 散热结构及电容压力传感器, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111174966A

（ 7 ） 一种检测膜片式真空压力计沉积物的装置及其应用, 2020, 第 6 作者, 专利号: CN111141813A

（ 8 ） 电容式压力检测装置及传感器, 2020, 第 7 作者, 专利号: CN111122020A

（ 9 ） 基于电压时间转换的电容式压力检测装置、方法及传感器, 2020, 第 6 作者, 专利号: CN111122019A

（ 10 ） 真空压力计响应时间测量装置, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN111044218A

（ 11 ） 真空压力计响应时间测量装置及方法, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN111044219A

（ 12 ） 检测膜片式真空压力计沉积物的方法, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN111044602A

（ 13 ） 一种防沉积匀气环, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN110987282A

（ 14 ） 利用全反射原理提高测量精度的压力传感器及其应用, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN110926668A

（ 15 ） 一种激光反射原理的压力传感器及其压力传感方法, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN110926683A

科研活动

   
科研项目
（ 1 ） PECVD用电容式薄膜真空规研发及产业化, 参与, 国家任务, 2022-01--2024-12
（ 2 ） 高强度金属三维MEMS制造技术研究, 参与, 中国科学院计划, 2019-09--2024-08