140100-集成电路科学与工程

集成电路先导工艺与仪器装备技术，真空测量技术

2010-09--2012-07   东北大学   硕士学位
2005-09--2009-07   东北大学   学士学位

   

2019-08~现在, 中国科学院微电子研究所, 高级工程师
2015-01~2019-08,北京中科科美科技股份有限公司, 工程师
2012-07~2015-01,北京中科科仪股份有限公司, 工程师
2010-09~2012-07,东北大学, 硕士学位
2005-09~2009-07,东北大学, 学士学位

   

（1） 科技成果转化, 特等奖, 院级, 2020

（ 1 ） 电容薄膜真空规, 2025, 第 10 作者, 专利号: CN119245921A

（ 2 ） 电容薄膜真空规, 2024, 第 8 作者, 专利号: CN118329283A

（ 3 ） 压电式绝压真空计, 2024, 第 9 作者, 专利号: CN118275031A

（ 4 ） 一种抑制沉积结构件及真空规, 2024, 第 5 作者, 专利号: CN118258544A

（ 5 ） 一种薄膜式真空规用抑制沉积导流模块及薄膜式真空规, 2024, 第 9 作者, 专利号: CN118209247A

（ 6 ） 一种真空规, 2024, 第 4 作者, 专利号: CN117664429A

（ 7 ） 一种抑制沉积管及压力检测装置, 2023, 第 3 作者, 专利号: CN117309226A

（ 8 ） 一种薄膜式电容传感器, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN110926662B

（ 9 ） 一种温压复合传感器的制作方法, 2022, 第 7 作者, 专利号: CN111351607B

（ 10 ） 柔性电极支撑结构, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN110879111B

（ 11 ） 一种纳米线压力传感器制备方法, 2021, 第 6 作者, 专利号: CN112798163A

（ 12 ） 具有USB输出的高精度差分电容式压力检测装置, 2020, 第 6 作者, 专利号: CN111189562A

（ 13 ） 散热结构及电容压力传感器, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111174966A

（ 14 ） 一种检测膜片式真空压力计沉积物的装置及其应用, 2020, 第 6 作者, 专利号: CN111141813A

（ 15 ） 电容式压力检测装置及传感器, 2020, 第 7 作者, 专利号: CN111122020A

（ 16 ） 基于电压时间转换的电容式压力检测装置、方法及传感器, 2020, 第 6 作者, 专利号: CN111122019A

（ 17 ） 真空压力计响应时间测量装置, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN111044218A

（ 18 ） 真空压力计响应时间测量装置及方法, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN111044219A

（ 19 ） 检测膜片式真空压力计沉积物的方法, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN111044602A

（ 20 ） 一种防沉积匀气环, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN110987282A

（ 21 ） 利用全反射原理提高测量精度的压力传感器及其应用, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN110926668A

（ 22 ） 一种激光反射原理的压力传感器及其压力传感方法, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN110926683A

   

（ 1 ） 刻蚀真空规研究及工程化, 参与, 国家任务, 2023-11--2025-10
（ 2 ） 大尺寸超高真空分子束外延技术与装备, 参与, 国家任务, 2022-12--2025-11