080300-光学工程
080903-微电子学与固体电子学

激光微米纳米加工，光场调控，纳米测量

2011-10--2016-06   英国贝德福特大学   博士学位
2009-09--2012-04   长春理工大学   硕士学位
2005-09--2009-06   长春理工大学   学士学位

   

2019-03~现在, 中国科学院微电子研究所, 高级工程师
2016-09~2019-03,中国科学院微电子研究所, 博士后/助理研究员

   

（1） 激光微米纳米加工技术及其专用设备的应用, 一等奖, 其他, 2021

（ 1 ） 纯相位液晶空间光调制器校准平台及方法, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112904601A

（ 2 ） 一种裂片装置, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN112847853A

（ 3 ） 一种完美吸收体的制备方法及完美吸收体, 专利授权, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN109738975B

（ 4 ） 一种法诺共振光学氢气传感器及其制备方法和应用系统, 专利授权, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN108226098B

（ 5 ） 一种完美吸收体的制备方法及完美吸收体, 发明专利, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN109738975A

（ 6 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 专利授权, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN107252982B

（ 7 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 专利授权, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN107378255B

（ 8 ） 一种激光加工晶圆的方法及系统, 专利授权, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN107378258B

（ 9 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 发明专利, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN107685196A

（ 10 ） 一种光学氢气传感器及其制备方法和应用系统, 发明专利, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN108169185A

（ 11 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 发明专利, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN107234343A

（ 12 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 发明专利, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN107214419A

（ 13 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 发明专利, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN107214418A

（ 14 ） 一种激光加工晶圆的装置及方法, 发明专利, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN107433396A

（ 15 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 发明专利, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN107252981A

（ 16 ） 一种激光加工晶圆的控制方法及系统, 发明专利, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN107239088A

（ 17 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 发明专利, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN107214420A

   

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