080300-光学工程

衍射光栅研制

2010-09--2015-07   中国科学院大学   理学博士
2006-09--2010-07   哈尔滨工业大学   理学学士

   

2020-10~现在, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 副研究员
2015-07~2020-10,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 助理研究员

   

[1] 李文昊, 刘兆武, 巴音贺希格, 李晓天, 宋莹, 姜珊, 王玮, 吕强. 应用于光刻系统工作台的位移测量光学系统. CN: CN108286943B, 2020-10-16.
[2] 王玮, 巴音贺希格, 吕强, 李文昊, 宋莹, 刘兆武, 姜珊. 一种位移与角度同步测量系统. CN: CN109632011B, 2020-08-21.
[3] 宋莹, 巴音贺希格, 李文昊, 姜珊, 王玮. 一种二维平面全息光栅曝光装置. CN: CN109870754B, 2020-04-10.
[4] 吕博, 姜珊, 刘伟奇. 一种光学镜头. CN: CN108919460B, 2020-04-10.
[5] 巴音贺希格, 刘兆武, 李文昊, 李晓天, 宋莹, 姜珊, 王玮, 李烁, 吕强. 一种位移测量光学系统. CN: CN109520428B, 2020-01-31.
[6] 巴音贺希格, 宋莹, 唐玉国, 姜珊, 李文昊, 齐向东. 一种平面全息光栅扫描曝光装置的调试方法. CN: CN108469643B, 2019-12-27.
[7] 巴音贺希格, 王玮, 宋莹, 姜珊, 吕强, 李文昊, 刘兆武. 一种用于扫描干涉场曝光系统的光束姿态调整方法. CN: CN107942426B, 2019-11-15.
[8] 巴音贺希格, 宋莹, 李文昊, 唐玉国, 姜珊. 一种二维平面全息光栅曝光方法. CN: CN110007384A, 2019-07-12.
[9] 吕博, 姜珊, 刘伟奇, 张大亮. 一种虚拟现实显示器光学系统. CN: CN106291939B, 2019-07-09.
[10] 焦庆斌, 谭鑫, 巴音贺希格, 李文昊, 宋莹, 姜珊. 新型的临界角透射光栅制作方法. CN: CN109782384A, 2019-05-21.
[11] 焦庆斌, 谭鑫, 李文昊, 宋莹, 姜珊. 高开口面积临界角透射光栅的制备方法. CN: CN109782382A, 2019-05-21.
[12] 王玮, 巴音贺希格, 吕强, 李文昊, 宋莹, 刘兆武, 姜珊. 一种位移与角度同步测量方法. CN: CN109632010A, 2019-04-16.
[13] 吕博, 刘伟奇, 姜珊. 一种虚拟现实设备及虚拟现实系统. CN: CN106324838B, 2019-04-16.
[14] 吕博, 刘伟奇, 姜珊, 冯睿. 深空探测飞行器定姿用星敏感器光学成像系统. 中国: CN105467570B, 2018.06.29.
[15] 吕博, 姜珊, 冯睿, 张大亮, 魏忠伦, 付瀚毅, 刘伟奇. 一种高分辨率月边缘光学成像物镜. 中国: CN105445933B, 2018-06-26.
[16] 吕博, 姜珊, 冯睿, 张大亮, 魏忠伦, 付瀚毅, 刘伟奇. 全球面环形大视场月球边缘光学成像物镜. 中国: CN105511060B, 2018-06-22.
[17] 巴音贺希格, 王玮, 宋莹, 姜珊, 吕强, 李文昊, 刘兆武. 一种光束姿态调整系统. 中国: CN107907929A, 2018-04-13.
[18] 宋莹, 姜珊, 唐玉国, 巴音贺希格, 潘明忠, 李文昊. 全息光栅制作装置、曝光干涉条纹相位稳定装置及方法. 中国: CN105954977A, 2016-09-21.
[19] 刘伟奇, 吕博, 张大亮, 姜珊, 康玉思. 大相对孔径高精度折反射型星敏感器光学系统. 中国: CN104501805A, 2015-04-08.
[20] 宋莹, 巴音贺希格, 姜珊, 李文昊, 潘明忠. 一种全息光栅曝光干涉条纹相位移动与锁定装置. 中国: CN103698983A, 2014-04-02.
[21] 姜珊, 巴音贺希格, 宋莹, 李文昊, 潘明忠. 在扫描曝光光路中精确调整干涉条纹方向的方法. 中国: CN103698836A, 2014-04-02.
[22] 宋莹, 巴音贺希格, 李文昊, 姜珊, 潘明忠. 采用外差式干涉条纹锁定控制的全息光栅曝光方法. 中国: CN103698835A, 2014-04-02.
[23] 刘伟奇, 吕博, 张大亮, 姜珊, 康玉思. 短波红外大视场轻小型飞行器捕捉跟踪物镜系统. 中国: CN103207444A, 2013-07-17.
[24] 刘伟奇, 吕博, 张大亮, 姜珊, 康玉思. 近红外飞行器姿态位置测量物镜系统. 中国: CN103207443A, 2013-07-17.
[25] 刘伟奇, 吕博, 冯睿, 魏忠伦, 柳华, 康玉思, 姜珊. 一种变焦距光刻物镜系统. 中国: CN102998779A, 2013-03-27.
[26] 刘伟奇, 吕博, 冯睿, 魏忠伦, 柳华, 康玉思, 姜珊. 一种非球面变焦距光刻物镜系统. 中国: CN102789044A, 2012-11-21.

   

[1] Song, Ying, Liu, Yujuan, Jiang, Shan, Zhu, Yang, Zhang, Liu, Liu, Zhaowu. Method for exposure dose monitoring and control in scanning beam interference lithography. APPLIED OPTICS[J]. 2021, 60(10): 2767-2774, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000636685400021.
[2] 吕强, 王玮, 刘兆武, 宋莹, 姜珊, 刘林, 巴音贺希格, 李文昊. 五维自由度衍射光栅精密测量系统. 中国光学[J]. 2020, 13(1): 189-202, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7100919899.
[3] 吕强, 王玮, 刘兆武, 宋莹, 姜珊, 刘林, 巴音贺希格, 李文昊. 五维自由度衍射光栅精密测量系统（英文）. 中国光学. 2020, 189-202, https://kns.cnki.net/KCMS/detail/detail.aspx?dbcode=CJFQ&dbname=CJFDLAST2020&filename=ZGGA202001021&v=MDI5NTJybzlIWllSOGVYMUx1eFlTN0RoMVQzcVRyV00xRnJDVVI3cWVaK2RxRkNqZ1c3dkFQeXJNYjdHNEhOSE0=.
[4] Jiang, Shan, Lu, Bo, Song, Ying, Liu, Zhaowu, Wang, Wei, Shuo, Li, Bayanheshig. Heterodyne period measurement in a scanning beam interference lithography system. APPLIED OPTICS[J]. 2020, 59(19): 5830-5836, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000547520400027.
[5] Ying SONG, Bayanheshig, Shuo LI, Shan JIANG, Wei WANG. Piecewise Linear Weighted Iterative Algorithm for Beam Alignment in Scanning Beam Interference Lithography. Photonic Sensors[J]. 2019, 9(4): 344-355, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7105672734.
[6] Lv, Qiang, Liu, Zhaowu, Wang, Wei, Jiang, Shan, Bayanheshig, Li, Wenhao. Fast method to detect and calculate displacement errors in a Littrow grating-based interferometer. APPLIED OPTICS[J]. 2019, 58(12): 3193-3199, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000465188100021.
[7] Zhaowu Liu, Wenhao Li, Bayanheshig, Xiaotian Li, Shan Jiang, Ying Song, Qiang Lv. Two-color heterodyne laser interferometry for long-distance stage measurement with correction of uncertainties in measured optical distances. SCIENTIFIC REPORTS[J]. 2017, 7(1): https://doaj.org/article/ddf18d30b87743c6b01ab4fd03a70149.
[8] Liu, Zhaowu, Jiang, Shan, Li, Xiaotian, Song, Ying, Li, Wenhao, Bayanheshig. Precision measurement of X-axis stage mirror profile in scanning beam interference lithography by three-probe system based on bidirectional integration model. OPTICS EXPRESS[J]. 2017, 25(9): 10312-10321, [9] Wang, Wei, Song, Ying, Jiang, Shan, Pan, Mingzhong, Bayanheshing. Beam drift error and control technology for scanning beam interference lithography. APPLIED OPTICS[J]. 2017, 56(14): 4138-4145, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000401020800026.
[10] Song, Ying, Wang, Wei, Jiang, Shan, Bayanheshig, Zhang, Ning. Weighted iterative algorithm for beam alignment in scanning beam interference lithography. APPLIED OPTICS[J]. 2017, 56(31): 8669-8675, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000414217600023.
[11] 王玮, 姜珊, 宋莹, 巴音贺希格. 扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计. 中国激光[J]. 2017, 44(9): 166-175, [12] 刘兆武, 李文昊, 王敬开, 姜珊, 宋莹, 潘明忠, 巴音贺希格. 纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测. 光学精密工程. 2016, 24(9): 2134-2141, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=670176982.
[13] 刘兆武, 李文昊, 巴音贺希格, 宋莹, 姜珊, 李晓天, 吕强. 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测. 中国激光[J]. 2016, 231-236, http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58573.
[14] Zhao, Xulong, Bayanheshig, Li, Wenhao, Jiang Yanxiu, Song, Ying, Li, Xiaotian, Jiang, Shan, Wu, Na. Moire alignment algorithm for an aberration-corrected holographic grating exposure system and error analysis. APPLIED OPTICS[J]. 2016, 55(31): 8683-8689, http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57476.
[15] Lu, Yuxian, Qi, Xiangdong, Li, Xiaotian, Yu, Haili, Jiang, Shan, Bayan, Heshig, Yin, Lu. Removal of all mosaic grating errors in a single-interferometer system by a phase-difference reference window. APPLIED OPTICS[J]. 2016, 55(28): 7997-8002, http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57122.
[16] 卢禹先, 齐向东, 于海利, 李晓天, 张善文, 姜珊, 尹禄. 基于夫琅禾费原理的光栅复制拼接误差精度分析. 中国激光[J]. 2016, 43(5): 224-231, http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57532.
[17] 卢禹先, 齐向东, 糜小涛, 姜珊, 于海利, 李晓天, 尹禄. 基于波前法的光栅拼接误差检测及计算方法. 光学学报[J]. 2016, 36(5): 22-31, [18] 王玮, 巴音贺希格, 宋莹, 姜珊, 潘明忠. 扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析. 中国激光[J]. 2016, 43(12): 176-183, [19] 姜珊, 巴音贺希格, 潘明忠, 李文昊, 宋莹. 扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法. 光学学报[J]. 2015, 35(7): 55-64, http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54063.
[20] 姜珊. 扫描干涉场曝光系统干涉条纹测量与调整方法研究. 2015, http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/48849.
[21] 吕博, 刘伟奇, 张大亮, 姜珊, 康玉思, 冯睿. 折反射式大入瞳星敏感器光学系统设计. 中国激光[J]. 2014, 41(7): 276-283, http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42868.
[22] 杨超, 于海利, 冯树龙, 李晓天, 齐向东, 姜珊, 唐玉国. 光栅刻划刀架系统的运行精度对光栅光谱性能的影响. 光学精密工程. 2014, 22(10): 2674-2682, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=662753903.
[23] 姜珊, 巴音贺希格, 李文昊, 宋莹, 潘明忠. 扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响. 光学学报[J]. 2014, 34(9): 55-62, http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42971.
[24] 姜珊, 巴音贺希格, 宋莹, 潘明忠, 李文昊. 扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期测量误差对光栅掩模槽形的影响. 光学学报[J]. 2014, 34(4): 0405003-1, 

   

（ 1 ） 变周期扫描干涉曝光中的曝光条纹形成与条纹参数控制方法研究, 主持, 国家级, 2020-01--2022-12
（ 2 ） 高精度二维平面光栅尺主尺扫描干涉曝光制造关键技术研究, 主持, 省级, 2019-01--2020-12
（ 3 ） 二维超精密平面位移感知系统, 参与, 省级, 2019-01--2021-10
（ 4 ） 软X射线临界角单晶硅透射光栅研制, 参与, 部委级, 2018-12--2021-11
（ 5 ） 1.5米扫描干涉场曝光系统, 参与, 国家级, 2013-01--2019-12