080300-光学工程

衍射光栅研制

2010-09--2015-07   中国科学院大学   理学博士
2006-09--2010-07   哈尔滨工业大学   理学学士

   

2020-10~现在, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 副研究员
2015-07~2020-10,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 助理研究员

   

（1） 扫描干涉场曝光系统中的曝光量监测与控制方法, A method for exposure dose monitoring and control in scanning beam interference lithography, APPLIED OPTICS, 2021, 第 3 作者
（2） 扫描干涉场曝光系统中的差频周期测量, Heterodyne period measurement in scanning beam interference lithography system, APPLIED OPTICS, 2020, 第 1 作者
（3） 扫描干涉场曝光系统中光束对准的分段线性加权迭代算法, Piecewise Linear Weighted Iterative Algorithm for Beam Alignment in Scanning Beam Interference Lithography, PHOTONIC SENSORS, 2019, 第 4 作者
（4） 检测和计算基于 Littrow 光栅的干涉仪位移误差的快速方法, Fast method to detect and calculate displacement errors in a Littrow grating-based interferometer, APPLIED OPTICS, 2019, 第 4 作者

   

（ 1 ） 变周期扫描干涉曝光中的曝光条纹形成与条纹参数控制方法研究, 主持, 国家级, 2020-01--2022-12
（ 2 ） 高精度二维平面光栅尺主尺扫描干涉曝光制造关键技术研究, 主持, 省级, 2019-01--2020-12
（ 3 ） 二维超精密平面位移感知系统, 参与, 省级, 2019-01--2021-10
（ 4 ） 软X射线临界角单晶硅透射光栅研制, 参与, 部委级, 2018-12--2021-11
（ 5 ） 1.5米扫描干涉场曝光系统, 参与, 国家级, 2013-01--2019-12