基本信息
王辉  男  硕导  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
email: wanghui@ciomp.ac.cn
address: 东南湖大路3888号
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招生信息

   
招生专业
080202-机械电子工程
招生方向
高端装备精密光机结构设计、机电一体化技术研究

专利与奖励

   
专利成果
( 1 ) 一种六自由度调整转台的控制方法, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN110968118B

( 2 ) 一种多自由度位移平台控制解耦方法及装置, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111077774A

( 3 ) 一种用于光刻机主支撑架框架板的安装装置, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111015577A

( 4 ) 一种复杂机电系统的辨识控制方法和系统, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN110989357A

( 5 ) 一种控制系统及设计方法, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN110879532A

( 6 ) 一种六自由度运动平台的控制系统, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN110501958A

( 7 ) 一种磁悬浮支撑装置, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110376707A

( 8 ) 一种用于支撑光学元件的装置, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN107907958B

( 9 ) 一种独立支撑单元以及光学元件支撑装置, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN106556911B

( 10 ) 一种物像面定位系统以及定位方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN106569397B

( 11 ) 一种干涉测量系统成像畸变标定装置, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN105627914B

( 12 ) 一种反射镜支撑调整装置, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN105445895B

( 13 ) 检测平台姿态变化的方法, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN105444722B

( 14 ) 可实现光学元件主动面形控制的支撑装置, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN105403154B

( 15 ) 一种用于光学元件检测的可调支撑装置, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN107702677A

( 16 ) 微缩投影系统波像差检测过程中的视场点定位方法, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN105589305B

( 17 ) 五自由度调整装置, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN105572830B

( 18 ) 用于光学元件支撑的调整机构, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN105445887B

( 19 ) 一种用于高精度光学元件的多点柔性支撑装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN105467544B

( 20 ) 用于极紫外光刻装置中的锆膜置换机构, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN105573065B

( 21 ) 并联机器人工作空间的求解方法, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN106777702A

( 22 ) 一种微缩投影系统波像差检测系统及波像差检测方法, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN106338379A

( 23 ) 一种基于柔性片体和球面轴承的可升降倾斜调整装置, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN105600704A

( 24 ) 一种柔性六自由度并联精密调整装置运动控制方法, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN105508823A

( 25 ) 光刻系统中照明均匀性测量方法, 2016, 第 5 作者, 专利号: CN105446086A

( 26 ) 一种用于光学均匀性测试的柔性支撑装置, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN105572043A

( 27 ) 一种用于真空环境下的光学元件水冷装置, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105552695A

( 28 ) 一种用于真空环境下的光学元件热应力评估系统, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105466354A

( 29 ) 一种具有面形调整功能的光学元件支撑装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN105467545A

( 30 ) 一种用于高精度光学元件面形检测的柔性支撑装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN105423989A

( 31 ) 一种可以实现主动面形调整的多点柔性支撑装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN105425389A

( 32 ) 一种曝光系统中曝光剂量的监控方法、曝光方法及其曝光系统, 2016, 第 5 作者, 专利号: CN105404100A

( 33 ) 一种用于镜体检测的吸附夹具, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN105372777A

( 34 ) 元器件真空兼容性评估实验平台, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104635090A

( 35 ) 一种基于柔性片体的六自由度并联精密调整装置, 2015, 第 5 作者, 专利号: CN104793646A

( 36 ) 一种基于光学元件面形的计算机辅助装调模型的建立方法, 2014, 第 5 作者, 专利号: CN103984808A

( 37 ) 高复现性光学元件面形检测支撑装置, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN103968796A

( 38 ) 一种基于光学系统失调量解算的光机结构稳定性评估方法, 2014, 第 5 作者, 专利号: CN103969034A

( 39 ) 一种用于高精度面形检测的光学元件支撑装置, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102506752A

( 40 ) 一种用于EUV光刻系统的复眼反射镜制作方法, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102385082A

( 41 ) 一种高精度光学元件的装配装置及无应力装配方法, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102368113A

出版信息

   
发表论文
(1) Adjustable flexure mount to compensate for deformation of an optic surface, APPLIED OPTICS, 2019, 通讯作者
(2) Method for designing error-resistant phase-shifting algorithm, OPTICS COMMUNICATIONS, 2019, 第 3 作者
(3) Ultra-high accuracy point diffraction interferometer: development, accuracy evaluation and application, 8TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGY: OPTICAL TEST, MEASUREMENT TECHNOLOGY, AND EQUIPMENT, 2016, 第 5 作者
(4) 微缩投影系统的垂轴放大率测量, Measurement of transversal magnification for reduced projection system, 光学精密工程, 2016, 第 6 作者
(5) 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量, 中国激光, 2015, 第 1 作者
(6) 微缩投影系统的计算机辅助装调, Computer-aided alignment for reduced projection systems, 光学精密工程, 2014, 第 4 作者
(7) 高精度光学元件支撑装置面形复现性分析与测量, Analysis and Metrology of Reproducibility of High-Precision Optic Mount, 中国激光, 2013, 第 1 作者
(8) 干涉测量框架结构设计及稳定性分析, 中国激光, 2012, 第 2 作者
(9) 高复现性面形检测支撑装置研制, 中国激光, 2012, 第 1 作者
(10) 极紫外光刻系统物镜光学元件的支撑与分析, Objective optical mounts and analysis for EUVL, 中国光学与应用光学, 2010, 第 1 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 六镜极紫外光刻投影物镜研发与验证, 负责人, 国家任务, 2018-01--2021-12