基本信息
张德福  男  硕导  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
电子邮件: zhangdf@sklao.ac.cn
通信地址: 吉林长春 东南湖大路3888号
邮政编码:

招生信息

   
招生专业
080201-机械制造及其自动化
招生方向
航天光学遥感器光机系统设计
高数值孔径光刻投影物镜设计

教育背景

2007-09--2012-06   哈尔滨工程大学   工学博士
2003-09--2007-07   哈尔滨工程大学   工学学士

工作经历

   
工作简历
2012-07~2021-06,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 助理研究员,副研究员
2007-09~2012-06,哈尔滨工程大学, 工学博士
2003-09~2007-07,哈尔滨工程大学, 工学学士

专利与奖励

   
专利成果
( 1 ) 一种中心支撑的碳纤维多功能遥感相机, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN113093457A

( 2 ) 利用3D打印技术制备碳纤维反射镜的方法, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN112904466A

( 3 ) 一种超轻型碳纤维遥感相机结构, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN112255865A

( 4 ) 光学元件运动学支撑装置、投影物镜和光刻机, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN107145040B

( 5 ) 光学元件六自由度微位移调节装置、投影物镜和光刻机, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN106338805B

( 6 ) 一种姿态测量装置, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN106525100B

( 7 ) 光学元件六自由度定位调节装置、投影物镜及光刻机, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN107145041B

( 8 ) 一种能够产生多种像差的变形镜装置, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN105259651B

( 9 ) 一种光学元件三自由度微位移调节装置, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN105137562A

( 10 ) 一种具有自重补偿功能的光刻投影物镜中透镜支撑装置, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN104216089A

( 11 ) 一种解耦的光刻投影物镜中透镜偏心调节装置, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN104216237A

( 12 ) 电容位移传感器标定装置, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN104075652A

( 13 ) 光学元件平面柔性微动调整装置, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN104049332A

( 14 ) 平板电容位移传感器标定装置, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN104048588A

( 15 ) 基于单自由度柔性微动调整机构的微位移传感器标定装置, 2014, 第 4 作者, 专利号: CN103697818A

( 16 ) 透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置, 2013, 第 4 作者, 专利号: CN103472560A

( 17 ) 支撑高度可调式光学元件多点支撑结构, 2013, 第 4 作者, 专利号: CN103389554A

出版信息

   
发表论文
(1) 金属橡胶减振器在同轴两反空间相机中的应用, Application of metal rubber vibration absorber in coaxial dual-reflection space camera, 光学精密工程, 2021, 第 5 作者
(2) A 3-DOF piezoelectric driven nanopositioner: Design, control and experiment, MECHANICAL SYSTEMS AND SIGNAL PROCESSING, 2021, 第 2 作者
(3) A strain-free semi-kinematic mount for ultra-precision optical systems, OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING, 2020, 通讯作者
(4) Hysteresis Modelling and Feedforward Control of Piezoelectric Actuator Based on Simplified Interval Type-2 Fuzzy System, SENSORS, 2020, 第 2 作者
(5) Design and Assessment of a 6-DOF Micro/Nanopositioning System, IEEE-ASME TRANSACTIONS ON MECHATRONICS, 2019, 通讯作者
(6) Dynamic linear modeling, identification and precise control of a walking piezo-actuated stage, MECHANICAL SYSTEMS AND SIGNAL PROCESSING, 2019, 第 4 作者
(7) Design of a Precise Axial Adjusting Mechanism with Three Guiding Flexures for Optical Element, 2018 IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MANIPULATION, MANUFACTURING AND MEASUREMENT ON THE NANOSCALE (3M-NANO) - CONFERENCE PROCEEDINGS, 2018, 第 2 作者
(8) Piezoelectric Actuated Phase Shifter Based on External Laser Interferometer: Design, Control and Experimental Validation, SENSORS, 2017, 第 4 作者
(9) 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展, 中国科学:技术科学, 2017, 第 1 作者
(10) 光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析, 中国光学, 2017, 第 5 作者
(11) Fast generation of micro structured surface by applying PCD tools in micro turning, INTERNATIONAL JOURNAL OF ADVANCED MANUFACTURING TECHNOLOGY, 2017, 第 8 作者
(12) 面向电容式传感器线性度标定的柔性微动机构设计, Design of compliant micro-motion mechanism for linearity calibration of capacitive displacement sensors, 仪器仪表学报, 2016, 第 1 作者
(13) 基于微PCD刀具的微结构成型制造与应用, 纳米技术与精密工程, 2016, 第 3 作者
(14) 电容传感器线性度标定平台, Linearity calibration platform of capacitive sensors, 光学精密工程, 2016, 第 1 作者
(15) 基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解, Forward kinematics of 3-RRR flexure parallel mechanism used in lens micro-adjustment, 光学精密工程, 2016, 第 3 作者
(16) 光刻物镜主动变形镜像差补偿分析, Aberration Compensation Analysis of Active Deformable Lens in Lithographic Objective Lens, 激光与光电子学进展, 2015, 第 3 作者
(17) 光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计, 光子学报, 2015, 第 1 作者
(18) 高精度位移传感器线性度标定方法研究, Linearity calibration method of the high-precision displacement sensor, 仪器仪表学报, 2015, 第 1 作者
(19) 电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定, Linearity calibration and uncertainty evaluation for capacitance displacement sensor, 光学精密工程, 2015, 第 2 作者
(20) 调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响, 中国激光, 2014, 第 1 作者
(21) 光刻投影物镜整体式XY微调整机构设计, Design of XY micro-motion mechanism used in lithography lens, 电子测量与仪器学报, 2014, 第 1 作者
(22) 基于柔度矩阵法的整体式XY光学微调整机构研究, Research of monolithic XY micro-adjustment mechanism based on compliance matrix, 仪器仪表学报, 2014, 第 1 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 光刻物镜六自由度调节支撑中耦合像差 产生与抑制机理研究, 负责人, 国家任务, 2016-01--2018-12
( 2 ) NA0.75光刻投影物镜系统光 机结构与装调技术研究, 参与, 国家任务, 2009-01--2016-12
( 3 ) 浸没式光刻机光学系统产品 研制与批量生产能力建设, 参与, 国家任务, 2016-01--2020-12
( 4 ) XXX一号超宽幅相机, 参与, 国家任务, 2018-06--2022-06