基本信息
朱咸昌  男  硕导  中国科学院光电技术研究所
电子邮件: zhuxianchang@126.com
通信地址: 四川成都双流350信箱
邮政编码: 610209

招生信息

   
招生专业
080402-测试计量技术及仪器
招生方向
微纳光学,应用光学,微电子与智能光电仪器

教育背景

2008-09--2013-06   中科院光电所   博士
2004-09--2008-06   华中科技大学   学士

工作经历

   
工作简历
2013-08~现在, 中科院光电所, 副研究员
2008-09~2013-06,中科院光电所, 博士
2004-09~2008-06,华中科技大学, 学士

专利与奖励

   
专利成果
( 1 ) 一种基于光栅剪切干涉检测系统的微透镜定焦检测方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN201210390365.0

( 2 ) 一种基于牛顿法和泰伯效应的微透镜阵列焦距的检测方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN201210319870.6

( 3 ) 一种微透镜阵列焦距测量方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN201210098272.0

( 4 ) 一种单倍率对称式投影曝光物镜, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN201410479916.X

( 5 ) 一种基于光栅泰伯效应的检焦方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN201410500277.0

( 6 ) 一种基于二维双频光栅剪切干涉的纳米级检焦方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN201410479923.X

( 7 ) 一种基于哈特曼波前检测原理的检焦方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: 20141047945.1

( 8 ) 一种应用于投影光刻机的大视场投影曝光物镜, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN201410477962.6

( 9 ) 一种微透镜阵列焦距的测量方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN201110369257.0

出版信息

   
发表论文
(1) Wafer focusing measurement of optical lithography system based on Hartmann–Shack wavefront testing, Optics and Lasers in Engineering, 2015, 第 1 作者
(2) Focal length measurement of microlens-array by grating shearing interferometry, Applied Optics, 2014, 第 1 作者
(3) 基于Hartmann-Shack波前检测原理的微透镜阵列焦距测量, 光学精密工程, 2013, 第 1 作者
(4) Focal length measurement of Microlens-array by the clarity function of digital image, 6th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies (AOMATT), 2012, 第 1 作者
(5) 光栅衍射法测量微透镜列阵焦距时产生的光斑干扰分析, 光学学报, 2011, 第 1 作者
(6) 基于光栅多缝衍射的转角法测量微透镜焦距, 光学学报, 2011, 第 1 作者
(7) Defocus measuring the focal length of microlens-array by grating prismatic interference, Conference on Optical Design and Testing IV, 2010, 第 1 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 微纳器件光学轮廓检测仪, 负责人, 地方任务, 2018-01--2021-12
( 2 ) 350nm投影曝光系统研制, 负责人, 企业委托, 2020-06--2021-12
( 3 ) 微纳结构随机动态过程检测设备研制, 负责人, 中国科学院计划, 2021-01--2022-12