基本信息
王魁波  男  硕导  中国科学院微电子研究所
email: wangkuibo@ime.ac.cn
address: 北京市海淀区邓庄南路9号
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招生信息

   
招生专业
080300-光学工程
085400-电子信息
招生方向
极紫外光刻环控技术
极紫外光刻技术

专利与奖励

   
专利成果
( 1 ) 关联成像方法及装置, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN109900356B

( 2 ) 一种极紫外光学元件性能参数测试系统, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN110895192B

( 3 ) 极紫外光学元件的微环境控制系统, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112255886A

( 4 ) 载片系统及物料传递方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112198761A

( 5 ) 动态气体隔离装置, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111965950A

( 6 ) 一种痕量气体分析装置以及方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111896677A

( 7 ) 高压气体采样试验装置及采样试验方法, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111665292A

( 8 ) 一种低真空痕量气体的快速无损采样分析装置和方法, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111665103A

( 9 ) 低真空气体的快速无损采样装置及采样方法, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111665102A

( 10 ) 一种气体采样分析装置和方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111638263A

( 11 ) 极紫外累积辐照损伤测试系统及方法, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111504889A

( 12 ) 气体分压的在线测量装置, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN210293526U

( 13 ) 一种极紫外光刻胶放气污染测试系统, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN110879198A

( 14 ) 一种极紫外光辐照致材料氢脆性能的测试系统, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN110879199A

( 15 ) 基于光频梳的真空测量方法及装置, 2019, 第 7 作者, 专利号: CN110411650A

( 16 ) 气体分压的在线测量装置及其在线测量方法, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN110376272A

( 17 ) 成像方法及装置, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN109900355A

( 18 ) 一种基于随机光强涨落的成像方法和系统, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN109752844A

出版信息

   
发表论文
(1) 对国家科技重大专项财务验收工作的思考, Thinking on the Financial Acceptance of National Science and Technology Major Projects, 科技和产业, 2021, 第 5 作者
(2) 低压环境中材料的氢损伤测试技术, Hydrogen Damage Test Technology Study for Materials under Low-pressure Hydrogen Condition, 腐蚀与防护, 2020, 第 4 作者
(3) 不同基底材料对极紫外收集镜聚焦性能的影响, Effect of Different Substrate Materials on Focusing Beam Performance of EUV Collector, 激光与光电子学进展, 2020, 第 3 作者
(4) Effect of EUV Source Parameters on Focused Beam Performance of EUV Radiation-Damage-Test System, CHINESE JOURNAL OF LASERS-ZHONGGUO JIGUANG, 2020, 第 3 作者
(5) 极紫外光源参数对极紫外辐照损伤测试系统聚焦光束性能的影响, Effect of EUV Source Parameters on Focused Beam Performance of EUV Radiation-Damage-Test System, 中国激光, 2020, 第 3 作者
(6) Experimental Study of Characteristics of Discharge Shock Waves in High-Repetition-Rate Excimer Lasers, CHINESE JOURNAL OF LASERS-ZHONGGUO JIGUANG, 2019, 第 3 作者
(7) 高重复频率准分子激光器中放电冲击波特性的实验研究, Experimental Study of Characteristics of Discharge Shock Waves in High-Repetition-Rate Excimer Lasers, 中国激光, 2019, 第 3 作者
(8) 高精度四极质谱检测限测试和影响因素分析, Detection Limit Calculation and Influencing Factors Analysis of High-Precision Quadrupole Mass Spectrometry, 分析测试技术与仪器, 2019, 第 3 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) EUV基础共性技术研究, 参与, 国家任务, 2012-01--2020-09
( 2 ) EUV动态真空与热环境技术研究, 参与, 国家任务, 2012-01--2020-09
( 3 ) 基于在线计量技术的极紫外光致放气机理研究, 参与, 国家任务, 2021-01--2024-12