基本信息
沙鹏飞  男  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件： shapengfei@ime.ac.cn
通信地址： 邓庄南路9号光电院主楼
邮政编码：

招生信息

   
招生专业
080300-光学工程
招生方向
极紫外光刻，激光技术与应用，精密光学检测

专利与奖励

   
专利成果
（ 1 ） 气体激光器的种子光注入锁定放大系统和功率放大腔, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103199422A