基本信息
李曼  女  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: liman@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码:

招生信息

   
招生专业
140100-集成电路科学与工程
080300-光学工程
招生方向
激光微米纳米加工技术及应用

教育背景

2007-09--2010-03   华北电力大学(北京)   硕士研究生

工作经历

   
工作简历
2017-12~现在, 中国科学院微电子研究所, 高级工程师
2010-04~2017-12,北京北方华创微电子装备有限公司, 工程师/高级工程师
2007-09~2010-03,华北电力大学(北京), 硕士研究生

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 技术发明奖, 二等奖, 部委级, 2022
(2) 中国仪器仪表学会技术发明奖, 一等奖, 省级, 2021
专利成果
( 1 ) 纯相位液晶空间光调制器校准平台及方法, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN112904601A

( 2 ) 一种裂片装置, 2021, 第 6 作者, 专利号: CN112885746A

( 3 ) 一种裂片装置, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN112847853A

( 4 ) 激光加工设备的故障诊断方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN202110078543.5

( 5 ) 一种裂片装置, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN209721935U

( 6 ) 一种完美吸收体的制备方法及完美吸收体, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN109738975A

( 7 ) 一种完美吸收体的制备方法及完美吸收体, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN109459808A

出版信息

   
发表论文
(1) Low-K芯片的激光开槽工艺质量稳定性控制, Quality Stability Control of Laser Grooving Process for Low-K Chip, 电子产品可靠性与环境试验, 2022, 通讯作者
(2) Design of Polarization-Independent Reflective Metalens in the Ultraviolet-Visible Wavelength Region, NANOMATERIALS, 2021, 第 5 作者
(3) 基于半导体晶圆激光切割工艺的质量控制, Quality Control Based on Semiconductor Wafer Laser-cutting Process, 电子产品可靠性与环境试验, 2020, 通讯作者
(4) Ultra-broadband metamaterial absorber from ultraviolet to long-wave infrared based on CMOS-compatible materials, OPTICS EXPRESS, 2020, 第 6 作者
(5) CMOS-compatible plasmonic hydrogen sensors with a detection limit of 40 ppm, OPTICS EXPRESS, 2019, 第 5 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 芯片精密开槽机, 参与, 国家任务, 2018-01--2019-12
( 2 ) 红外用激光冷加工设备, 参与, 国家任务, 2019-01--2021-03
( 3 ) 激光加工技术及应用, 参与, 国家任务, 2018-11--2023-12
( 4 ) 针对第三代半导体材料的激光微米纳米加工技术, 参与, 研究所自主部署, 2018-12--2021-12
( 5 ) 激光隐形划切设备及工艺开发, 参与, 地方任务, 2018-09--2019-12
( 6 ) 碳化硅非合金激光退火设备, 参与, 国家任务, 2021-12--2024-11
( 7 ) 专用清洗设备研发, 参与, 国家任务, 2022-12--2026-12
( 8 ) 激光星间通信应用, 参与, 国家任务, 2023-01--2026-12
( 9 ) 砷化镓激光划片, 参与, 国家任务, 2023-01--2025-12