集成电路新工艺材料、新装备导入制造的关键工艺技术研究与集成

验证

博士研究生，硕士研究生

080903-微电子学与固体电子学

集成电路先导工艺技术

2003-07--2007-07   大连理工大学   博士
2001-09--2003-07   大连理工大学   硕士
1997-09--2001-07   大连交通大学   学士

研究生

工学博士

   

2009-11~现在, 中国科学院微电子研究所 集成电路先导工艺研发中心, 副研究员/正高级工程师
2007-09~2009-10,中芯国际集成电路制造有限公司，逻辑技术发展中心, 资深工艺研发工程师

2023-04-01-今,中关村集成电路材料产业技术创新联盟 专家咨询委员,