基本信息
薛海韵 女 硕导 中国科学院微电子研究所
电子邮件: xuehaiyun@ime.ac.cn
通信地址: 朝阳区北土城西路3号
邮政编码: 100029
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招生信息
招生专业
140100-集成电路科学与工程080903-微电子学与固体电子学
招生方向
光电共封装,2.5D/3D封装,高密度光电集成,先进封装,高速光互连
教育背景
2006-09--2011-05 中国科学院半导体研究所 工学博士2002-09--2006-05 内蒙古大学 理学学士
工作经历
工作简历
2023-11~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员2015-11~2023-11,中国科学院微电子研究所, 副研究员2011-07~2015-11,中国科学院微电子研究所, 助理研究员2006-09~2011-05,中国科学院半导体研究所, 工学博士2002-09~2006-05,内蒙古大学, 理学学士
专利与奖励
专利成果
( 1 ) 能兼容SMF28光纤的LNOI边缘耦合器及制备方法, 2023, 第 1 作者, 专利号: 202310059132.0( 2 ) 一种基于光电合封系统的散热结构, 2023, 第 1 作者, 专利号: 202310009577.8( 3 ) 一种三维光电封装结构和封装方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: 202211434667.3( 4 ) 一种异形散热结构和多芯片封装结构, 2022, 第 1 作者, 专利号: 202211495896.6( 5 ) 一种硅光器件及其制备方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: 202210776374.7( 6 ) 一种互联载板及封装结构, 2021, 第 1 作者, 专利号: 202111636382.3( 7 ) 一种具有空腔结构的电子器件及其制备方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: 202110523470.6( 8 ) 一种硅基光计算异质集成模组, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112736073A( 9 ) 一种不同厚度芯片嵌入载片结构及其制备方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112687673A( 10 ) 一种硅基光电子异质集成互连模组, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112687672A( 11 ) 一种光模块结构, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112612090A( 12 ) 一种光耦合结构及其制备方法, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN112558245A( 13 ) 一种光互连模块以及包含光互连模块的系统, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN209879081U( 14 ) 一种光互连模块及其装配装置, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN209879082U( 15 ) 一种光互连模块以及包含光互连模块的系统, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110261974A( 16 ) 一种光互连模块及其装配装置, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110244416A( 17 ) 一种用于光学芯片的测试系统及测试方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109683082A( 18 ) 一种线缆的封装结构, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109445043A( 19 ) 一种光电芯片集成结构, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN108091629A( 20 ) 一种应用于多通道大容量光模块的结构及其制造方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN107942435A( 21 ) 一种光模块结构, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN107479147A( 22 ) 一种边耦合光器件与光纤的直接光耦合结构, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN107300741A( 23 ) 一种光纤模组用的结构支架及其制作方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN106405754A( 24 ) 一种涂胶装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN106000776A( 25 ) 芯片封装侧壁焊盘或凸点的制作工艺, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN106252241A( 26 ) 用于多模并行光互连的光耦合集成结构, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN106199860A( 27 ) 芯片封装侧壁植球工艺, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN106206423A( 28 ) 一种涂胶装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN106000776A( 29 ) 硅红外检光器的结构及其制作方法, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105932077A( 30 ) 一种光学芯片、制备方法及应用该光学芯片的光互连模块, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105607196A( 31 ) 有源光学转接板和光互连模块, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN105572815A( 32 ) 光纤通信光接收单元结构, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105553557A( 33 ) 光互连模块, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN105388572A( 34 ) 透镜载板、透镜载板制备方法和光功率监测模块, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN105372773A( 35 ) 一种带侧面焊盘的载板结构及其制作方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104793298A( 36 ) 一种芯片载板及其制备方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104777564A( 37 ) 一种透镜阵列的制备方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104765080A( 38 ) 一种光通信装置及其装配方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104635308A( 39 ) 光电测试装置, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104362108A( 40 ) 一种RDL布线层的制备方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN104124205A( 41 ) 一种光通信装置及止动孔的形成方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN104101967A( 42 ) 一种应用于高速宽带光互连的硅通孔器件, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN203871322U( 43 ) 一种硅基光互连器件, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN203855403U( 44 ) 一种应用于高速宽带光互连的硅通孔器件的制造方法及其器件, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN103787264A( 45 ) 一种高速宽带硅光转接板的制造方法及硅基光互连器件, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103787268A( 46 ) 一种具有倾斜角度的光纤装配体及其装配方法, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN103777280A( 47 ) 柔性嵌入式光互连结构及其制作方法, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN103779323A( 48 ) 光电印制板及其制作方法, 2014, 第 4 作者, 专利号: CN103763855A( 49 ) GeSn合金的外延生长方法, 2010, 第 8 作者, 专利号: CN101928990A
出版信息
发表论文
(1) Efficient and scalable edge coupler based on silica planar lightwave circuits and lithium niobate thin films, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2023, 第 3 作者(2) Co-packaged optics (CPO): status, challenges, and solutions, FRONTIERS OF OPTOELECTRONICS, 2023, 第 11 作者(3) Design and Realization of Multi-Channel and High-Bandwidth 2.5D Transmitter Integrated With Silicon Photonic MZM, Journal of Lightwave Technology, 2022, 第 11 作者(4) Simulation and Optimization of the high-speed transmission structure in organic-packaged coherent optical transceiver, 2022 23rd International Conference on Electronic Packaging Technology (ICEPT), 2022, 第 1 作者(5) Research on 3D Optical Module Integrating Edge Coupler and TSV, Journal of Lightwave Technology, 2022, 第 11 作者(6) Design of a PAM-4 VCSEL-Based Transceiver Front-End for Beyond-400G Short-Reach Optical Interconnects, Ieee Transactions on Circuits and Systems I-Regular Papers, 2022, 第 3 作者(7) Design, Manufacture and Assembly of 3D Integrated Optical Transceiver Module Based on an Active Photonic Interposer, Processes 10 (11), 2342, 2022, 第 11 作者(8) Design, Manufacture and Assembly of 3D Integrated Optical Transceiver Module Based on an Active Photonic Interposer, PROCESSES, 2022, 第 11 作者(9) A Chip-Level Optical Interconnect for CPU, IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2021, 第 4 作者(10) 一种新型光域PAM4调制器及关键性能建模分析, A Novel Optical Domain PAM4 Modulator and Its Key Performance Modeling Analysis, 半导体光电, 2021, 第 5 作者(11) 面向100 Gbps网络应用的RISC-V CPU设计与实现, Design of RISC-V CPU for 100 Gbps Network Application, 计算机辅助设计与图形学学报, 2021, 第 4 作者(12) 4×25 Gb/s光电收发一体模块封装的设计与实现, Design and implementation of 4��25 Gb/s photoelectiric transceivers module package, 光通信技术, 2021, 第 4 作者(13) Design, modeling and fabrication of low cost and miniaturized optical engine based on organic optical bench, JOURNAL OF OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS, 2020, 第 11 作者(14) 4×25 Gbit/s光电收发模块的封装设计与实现, Design and Implementation of 4��25 Gbit/s Optoelectronic Transceiver Module Package, 光通信研究, 2020, 第 4 作者(15) 100Gbps chip-level optical interconnect integrated packaging design, 2020 21ST INTERNATIONAL CONFERENCE ON ELECTRONIC PACKAGING TECHNOLOGY (ICEPT), 2020, 第 2 作者(16) The application of Taguchi method in electromagnetic shielding simulation, 2020 21ST INTERNATIONAL CONFERENCE ON ELECTRONIC PACKAGING TECHNOLOGY (ICEPT), 2020, 第 2 作者(17) A Chip-level Optical Interconnect for CPU, 2020 IEEE PHOTONICS CONFERENCE (IPC), 2020, 第 3 作者(18) 基于硅转接板的光电混合集成共封装技术研究, Research of optoelectronic hybrid integration based on co-package, 微纳电子与智能制造, 2019, 第 3 作者(19) 一种高性能硅基锗单行载流子光电探测器设计, High-Performance Si-based Ge Uni-Traveling-Carrier Photodetector, 光通信研究, 2019, 第 4 作者(20) 基于有机基板的光耦合系统设计与制作, Design and Manufacturion of Coupling System based on Organic Substrate, 光通信研究, 2019, 第 4 作者(21) Design and optimization of the 10Tbps optical transmission system, 2018 IEEE 20th Electronics Packaging Technology Conference (EPTC), 2019, 第 1 作者(22) 高速高密度光电共封装技术, High-Speed and High-Density Optoelectronic Co-Package Technologies, 中兴通讯技术, 2018, 第 3 作者(23) Design and verification of Sub-6 GHz RoF transceiver employing LR4 TOSA and ROSA packaging structure, MICROWAVE AND OPTICAL TECHNOLOGY LETTERS, 2018, 第 4 作者(24) Design and implementation of a high-coupling and multi-channel optical transceiver with a novel packaging structure, IEEE TRANSACTIONS ON COMPONENTS PACKAGING AND MANUFACTURING TECHNOLOGY, 2017, 第 3 作者(25) 硅基光栅耦合封装结构的优化设计, 激光技术, 2017, 第 1 作者(26) Fabrication and performance analysis of a high-coupling-efficiency and convenient-integration optical transceiver, OPTOELECTRONICS LETTERS, 2017, 第 4 作者(27) 光电模块中微弱电流测量电路的设计与测试, Design and test of weak current measurement circuit in photoelectric module, 电子设计工程, 2017, 第 2 作者(28) Design and fabrication of a small-form transmitter optical subassembly for 100Gbps short reach optical interconnect, MICROWAVE AND OPTICAL TECHNOLOGY LETTERS, 2017, 第 3 作者(29) Research on Optical Transmitter and Receiver Module Used for High Speed Interconnection between CPU and Memory, FIBER AND INTEGRATED OPTICS, 2016, 第 4 作者(30) A Surface Mounting Embedded Optical Transceiver with Bi-Directional Data Rate of Eight Channels x 10 Gbps, FIBER AND INTEGRATED OPTICS, 2014, 第 5 作者(31) Ge-on-Si for Si-based integrated materials and photonic devices, FRONTIERS OF OPTOELECTRONICS, 2012, 第 5 作者(32) Gesn p-i-n photodetector for all telecommunication bands detection, OPTICS EXPRESS, 2011, 第 6 作者(33) 高性能硅基锗光探测器的研制, 2011, 第 1 作者(34) 硅基室温电流注入Ge/Si异质结发光二极管, 激光与光电子学进展, 2010, 第 4 作者(35) Zero biased Ge-on-Si a bandwidth of 4.72 photodetector with GHz at 1550 nm, Zero biased Ge-on-Si a bandwidth of 4.72 photodetector with GHz at 1550 nm, 中国物理:英文版, 2009, 第 1 作者(36) 1 x 4 ge-on-soi pin photodetector array for parallel optical interconnects, JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY, 2009, 第 2 作者(37) Zero biased Ge-on-Si photodetector with a bandwidth of 4.72 GHz at 1550 nm, CHINESE PHYSICS B, 2009, 第 11 作者(38) Si衬底上Ge材料的UHVCVD生长, Growth of Ge on Silicon by Ultrahigh Vacuum Chemical Vapor Deposition, 材料科学与工程学报, 2009, 第 6 作者(39) Electroluminescence from Ge on Si substrate at room temperature, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2009, 第 4 作者
科研活动
科研项目
( 1 ) 高性能芯片出光, 负责人, 其他, 2024-01--2025-10( 2 ) 高功耗ASIC与CPO光模块协同散热技术研究中, 负责人, 地方任务, 2022-06--2025-06( 3 ) 大尺寸****封装材料验证平台建设, 负责人, 国家任务, 2022-01--2024-12( 4 ) 硅光AI封装项目, 负责人, 境内委托项目, 2020-10--2021-09( 5 ) EC&TSV集成项目, 负责人, 境内委托项目, 2020-06--2021-05( 6 ) 光纤组件及相关配件外协加工, 负责人, 境内委托项目, 2019-03--2020-03( 7 ) 基于400Gbps光互连硅基集成电路设计技术研究, 负责人, 国家任务, 2019-01--2020-12( 8 ) 光芯片阵列耦合封装及模块研发, 负责人, 地方任务, 2017-06--2020-06