基本信息
熊伟  男  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: xiongwei2@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号B203
邮政编码:

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
080300-光学工程
085400-电子信息
招生方向
光学精密测量
激光测量技术
集成电路先导工艺技术

教育背景

2004-09--2009-06   清华大学   博士
2000-09--2004-06   清华大学   学士

工作经历

   
工作简历
2011-12~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2009-07~2011-11,浙江大学, 博士后
2004-09~2009-06,清华大学, 博士
2000-09~2004-06,清华大学, 学士

专利与奖励

   
专利成果
( 1 ) 基于模型优化的斯托克斯矢量测量系统及方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: 202110926818.6

( 2 ) 一种光弹调制器标定系统及方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: 202110925682.7

( 3 ) 一种针对单个纳米颗粒的检测方法, 2018, 第 5 作者, 专利号: CN108051362A

( 4 ) 一种自校准的全穆勒矩阵椭偏仪测量系统, 2015, 第 5 作者, 专利号: CN104677838A

( 5 ) 一种全穆勒矩阵椭圆偏振仪的校准方法, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN104677835A

( 6 ) 一种利用全穆勒矩阵椭偏仪进行光学测量的方法, 2015, 第 5 作者, 专利号: CN104677833A

( 7 ) 一种自校准的全穆勒矩阵椭圆偏振仪测量系统, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN104677836A

( 8 ) 一种全穆勒矩阵椭圆偏振仪的校准方法, 2015, 第 5 作者, 专利号: CN104677837A

( 9 ) 一种利用全穆勒矩阵椭圆偏振仪进行光学测量的方法, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN104677834A

出版信息

   
发表论文
(1) 光弹调制器研究综述及原理验证, Review and Principle Verification of Photoelastic Modulator, 压电与声光, 2021, 第 2 作者
(2) Electrical Characterization Method for Resonance Performance of Photo-Elastic Modulators, Optics, 2021, 
(3) 基于最优化方法的光弹调制器光学模型验证, Verification of Optical Model of Photoelastic Modulator Based on Optimization Method, 压电与声光, 2021, 第 2 作者
(4) 光弹调制器谐振特性的研究及验证, Research and Verification on Resonance Characteristics of Photoelastic Modulator, 光学学报, 2021, 第 2 作者
(5) Label-free imaging to single nanoparticle by surface plasmon polariton in-plane scattering, CLEO-PR会议论文集, 2018, 第 1 作者
(6) 基于倏逝波界面散射的单个纳米颗粒无标记成像, Single Nanoparticle Label-Free Imaging Based on Evanescent Wave In-Plane Scattering, 光学学报, 2018, 第 5 作者
(7) Imaging to single virus by using surface plasmon polariton scattering, INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTOELECTRONICS AND MICROELECTRONICS TECHNOLOGY AND APPLICATION, 2017, 
(8) Label-free imaging to single nanoparticle by using TIR-based interface scattering, JSAP-OSA会议论文集, 2017, 第 1 作者
(9) 全反射式宽光谱成像椭偏仪, All-reflective Broadband Spectroscopic Imaging Ellipsometer, 光电工程, 2016, 第 2 作者
(10) 耦合波分析中任意二维光栅介电常数的傅里叶分析, Fourier Analysis of Dielectric Constant in Arbitrarily Shaped Two-Dimensional Grating for Coupled-Wave Analysis, 激光与光电子学进展, 2013, 第 2 作者
(11) 样品校准法在单波长椭偏仪中的应用, Calibration Method for Single Wavelength Ellipsometry Using Standard Samples, 光学学报, 2013, 第 5 作者
(12) 严格耦合波收敛层数的研究, Estimation of the number of convergence layers in rigorous coupled-wave analysis, 中国科技论文, 2013, 第 2 作者
(13) 基于反射测定法的SOI膜厚检测系统, A Thickness Measurement System for SOI Films Based on Reflectometry, 微电子学, 2013, 第 4 作者
(14) ILT Approach for Compensating 3-D Mask EffectsI, ILT Approach for Compensating 3-D Mask EffectsI, 清华大学学报:自然科学英文版, 2009, 第 1 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 基于光 弹调制的椭偏测量关键技术研究, 负责人, 研究所自选, 2019-06--2021-05
( 2 ) 面向偏振检测的光弹调制器的研制及在EAST上的实验研究, 参与, 其他任务, 2019-07--2021-06
( 3 ) 快速实时高灵敏度病毒 在线成像检测仪器的研制, 参与, 中国科学院计划, 2015-01--2018-12
( 4 ) 深紫外宽光谱成像型椭圆偏 振光谱仪及石墨烯的光学量测研究, 参与, 中国科学院计划, 2014-01--2018-12
( 5 ) 用于修正三维厚模效应的逆 向光掩模综合方法, 负责人, 国家任务, 2015-01--2017-12
( 6 ) 45-22nm OCD检测系统研发与产业化, 参与, 国家任务, 2011-01--2015-12
( 7 ) 基于微纳光场的高分辨三维态势感知技术, 负责人, 其他任务, 2021-12--2023-06
( 8 ) 可用于高速椭偏测量的高性能光弹调制器研制, 负责人, 中国科学院计划, 2020-09--2022-09