080903-微电子学与固体电子学

MEMS惯性传感器，电路与系统
MEMS陀螺仪，MEMS加速度计，Sigma-Delta调制闭环电路

2010-04--2011-04   英国南安普顿大学电子与计算机学院   联合培养博士生
2009-09--2014-08   西北工业大学机电学院   工学博士
2006-09--2009-04   西北工业大学机电学院   工学硕士
2002-09--2006-07   西北工业大学机电学院   工学学士

   

2014-09~现在, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 副研究员
2010-04~2011-04,英国南安普顿大学电子与计算机学院, 联合培养博士生
2009-09~2014-08,西北工业大学机电学院, 工学博士
2006-09~2009-04,西北工业大学机电学院, 工学硕士
2002-09~2006-07,西北工业大学机电学院, 工学学士

2023-01-01-2028-01-01,上海市惯性技术学会, 理事
2022-08-01-2026-08-01,中国惯性技术学报, 青年编委

高精度MEMS陀螺仪技术
MEMS惯性传感器技术

   

（1） 高精度硅微机械陀螺及其工程化技术, 一等奖, 省级, 2018
（2） 抗DPA攻击的AES加解密算法芯片, 二等奖, 国家级, 2017
（3） 抗DPA攻击的AES加解密算法芯片, 一等奖, 专项, 2017

（ 1 ） 自谱分时段傅里叶变换高量程加速度计共振频率提取方法, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108020688A

（ 2 ） 自时钟数字式微机械陀螺∑△M闭环检测电路系统, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN107504964A

（ 3 ） 基于FPGA的微机电混合ΣΔM加速度计闭环检测电路系统, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN105699694A

   

（1） High-Precision Acceleration Measurement System Based on Tunnel Magneto-Resistance Effect †, SENSORS (BASEL, SWITZERLAND), 2020, 第 2 作者
（2） Micromachined Accelerometers with Sub-ug/√Hz Noise floor: A Review, Sensors, 2020, 通讯作者
（3） Design of Freeform Geometries in a MEMS Accelerometer with a Mechanical Motion Preamplifier Based on a Genetic Algorithm, Nature (Microsystems & Nanoengineering ), 2020, 通讯作者
（4） A discrete-time self-clocking complex electromechanical Sigma Delta gyroscope with quadrature error cancellation, Sensors and Actuators A: Physical, 2020, 第 1 作者
（5） Enhancing the closed-loop stability of a high-Q polysilicon micro-hemispherical resonating gyroscope, AIP ADVANCES, 2019, 第 2 作者
（6） Design of a Dual Quantization Electromechanical Sigma-Delta Modulator MEMS Vibratory Wheel Gyroscope, JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2018, 第 2 作者
（7） SELF-CLOCKED DUAL-RESONATOR MICROMACHINED LORENTZ FORCE MAGNETOMETER BASED ON ELECTROMECHANICAL SIGMA-DELTA MODULATION, 2018IEEEMICROELECTROMECHANICALSYSTEMSMEMS, 2018, 通讯作者
（8） A Single-side Fabricated Tri-axis (111)-Silicon Micro-Accelerometer with Electromechanical Sigma-delta Modulation, IEEE Sensors Journal, 2017, 第 1 作者
（9） A FRONT-SIDE NON-SOI FABRICATED TRI-AXIS CAPACITIVE ACCELEROMETER WITH ELECTROMECHANICAL SIGMA-DELTA MODULATORS INTERFACE, 2017 19TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), 2017, 通讯作者
（10） 级联式高阶∑ΔM 数字式闭环微机械加速度计, Digital closed-loop micromachined accelerometer based on cascaded multi-stage-noise-shaping ∑ΔM, 中国惯性技术学报, 2016, 第 1 作者
（11） Electromechanical Sigma-Delta Modulators (Sigma Delta M) Force Feedback Interfaces for Capacitive MEMS Inertial Sensors: A Review, IEEE SENSORS JOURNAL, 2016, 第 1 作者
（12） LOW NOISE VACUUM MEMS CLOSED-LOOP ACCELEROMETER USING SIXTH-ORDER MULTI-FEEDBACK LOOPS AND LOCAL RESONATOR SIGMA DELTA MODULATOR, IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS conference), 2014, 第 1 作者
（13） Design and Implementation of an Optimized Double Closed-Loop Control System for MEMS Vibratory Gyroscope, IEEE SENSORS JOURNAL, 2014, 通讯作者
（14） Parameter optimization for a high-order band-pass continuous-time sigma-delta modulator MEMS gyroscope using a genetic algorithm approach, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2012, 通讯作者

（ 1 ） 光伏组件生产技术, 机械工业出版社, 2015-10, 第 5 作者
（ 2 ） 中国电子信息工程领域发展研究-传感器基础, 科学出版社, 2018-05, 第 其他 作者
（ 3 ） 中国学科发展战略-微纳机电系统与微纳传感器技术, 科学出版社, 2020-08, 第 2 作者

   

（ 1 ） 高精度全硅基单芯片集成数字式六轴微机械电子罗盘传感器研究, 负责人, 国家任务, 2016-01--2018-12
（ 2 ） 微角速度传感数字测量技术, 负责人, 研究所自主部署, 2015-06--2017-12
（ 3 ） 气相色谱型便携式气体检测系统用MEMS核心元器件研发, 参与, 地方任务, 2014-11--2016-10
（ 4 ） 单面加工体硅工艺微型热电堆阵列研究, 参与, 国家任务, 2017-01--2019-12
（ 5 ） 新型微型硅曲面壳形陀螺谐振结构的基础理论研究, 参与, 国家任务, 2015-06--2020-12
（ 6 ） 硅微半球壳陀螺自校准Sigma-Delta测控机理及其单芯片关键技术研究, 负责人, 国家任务, 2020-01--2023-12
（ 7 ） 高分辨高精度微振智能传感器研发及产业化, 负责人, 地方任务, 2020-07--2023-07
（ 8 ） 基于量子隧穿效应的高精度静电力平衡隧道磁阻微加速度计关键技术研究, 负责人, 地方任务, 2019-07--2022-06
（ 9 ） 高频响三轴MEMS陀螺敏感元件及传感器, 负责人, 国家任务, 2022-12--2025-12
（ 10 ） 微半球谐振陀螺*****************************, 负责人, 国家任务, 2023-06--2027-06

（1）AN ANTI-ALIASING AND SELF-CLOCKING SIGMA-DELTA-MODULATED COBWEB-LIKE DISK RESONANT GYROSCOPE WITH EXTENDED INPUT RANGE   Fang Chen   2021-01-25
（2）A dual quantization electromechanical sigma-delta modulator vibratory wheel gyroscope   2018-10-30
（3）SELF-CLOCKED DUAL-RESONATOR MICROMACHINED LORENTZ FORCE MAGNETOMETER BASED ON ELECTROMECHANICAL SIGMA-DELTA MODULATION   2018-01-28
（4）A front-side non-SOI fabricated tri-axis capacitive accelerometer with electromechanical sigma-delta modulators interface   2017-06-18
（5）LOW NOISE VACUUM MEMS CLOSED-LOOP ACCELEROMETER USING SIXTH-ORDER MULTI-FEEDBACK LOOPS AND LOCAL RESONATOR SIGMA DELTA MODULATOR   2014-01-27