080300-光学工程
080401-精密仪器及机械

激光技术;
精密仪器与机械
光电测量技术

   

（1） 第四届北京市发明专利奖, 三等奖, 省级, 2016
（2） 第六届中科院北京分院科技成果转化奖, 特等奖, 院级, 2016
（3） 第十七届中国专利奖优秀奖, , 部委级, 2015

（ 1 ） 一种用于激光器的快门装置以及激光器, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201810132208.7

（ 2 ） 一种用于激光器的窗口结构及准分子激光器, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201810129363.3

（ 3 ） 双电极放电腔的导流装置及应用其的放电腔、准分子激光器, 2017, 第 2 作者, 专利号: JP6254178

（ 4 ） 用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN103259160A

（ 5 ） 一种准分子激光器高纯工作气体配送系统及方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610457955.9

（ 6 ） 用于准分子激光器的热交换器, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN103682956B

（ 7 ） 光机分离式双腔准分子激光器整机框架系统, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN103259159A

（ 8 ） 基于改进的贯流风机叶轮的单腔双电极放电腔, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN103151679A

（ 9 ） 激光器放电腔的六自由度调节机构, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN103269009B

（ 10 ） 一种放电腔内的气动结构, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN102779706B

（ 11 ） 一种准分子激光器用贯流风机叶轮, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN102777416B

（ 12 ） 具有微流道结构的放电腔及气体激光器, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN102842840B

   

（ 1 ） MATLAB科技绘图与数据分析, 清华大学出版社, 2024-05, 第 1 作者

   

（ 1 ） XXX项目研制, 参与, 其他, 2024-01--2025-12
（ 2 ） EUV光源舱体诊断, 参与, 中国科学院计划, 2023-10--2027-07
（ 3 ） 浸没式曝光光源研制与小批量产品生产能力建设, 参与, 国家任务, 2016-01--2022-12
（ 4 ） ArF 光源产品整机设计、集成制造与试验, 参与, 国家任务, 2013-01--2021-12
（ 5 ） 激光放电腔研发, 参与, 国家任务, 2013-01--2021-12
（ 6 ） 产品可靠性寿命研究, 参与, 国家任务, 2013-01--2021-12