080201-机械制造及其自动化

束线光学及装备技术
EUV多层膜寿命研究

2007-09--2010-06   吉林大学   博士
2005-09--2007-07   吉林大学   硕士
2001-09--2005-07   吉林大学   学士

   

2022-06~现在, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 中国科学院特聘研究岗位
2018-09~现在, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 研究员
2018-09~2022-10,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 应用光学国家重点实验室短波光学研究室副主任
2012-09~2018-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 副研究员
2010-07~2012-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 助理研究员
2007-09~2010-06,吉林大学, 博士
2005-09~2007-07,吉林大学, 硕士
2001-09~2005-07,吉林大学, 学士

2022-06-01-今,吉林省C类人才，部级领军人才,
2021-06-01-今,评审专家, 国家自然科学基金委
2021-06-01-今,评审专家, Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, A
2020-07-01-今,中国科学院长春光机所旭光人才,

   

（ 1 ） 振动控制方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114185263.A

（ 2 ） 振动控制装置及其控制方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114035626A

（ 3 ） 一种双驱动非等力矩的压弯装置和压弯方法, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN113526852A

（ 4 ） 一种在线分析面粉样品的装置和方法, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN113231336A

（ 5 ） 一种流量稳定的EUV碳污染实验气体供气装置, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN111258340B

（ 6 ） X射线真空设备中冷却循环系统用低真空保护与监测装置, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN111022804B

（ 7 ） X射线波长扫描光学元件极限运动位置探测和保护装置, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN110989480B

（ 8 ） 一种真空条件下光学元件多自由度精密定位装置, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111273418A

（ 9 ） 一种高效收集EUV光的多层膜光学元件碳污染实验装置, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111257232A

（ 10 ） 用于超高真空中的反射镜无应力夹持及面形调整装置, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN110618516A

（ 11 ） 用于曲面镜反射率测量的夹持装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN106596403A

（ 12 ） 一种X射线波段光学元件高精度面形控制装置, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104950594A

（ 13 ） EUV光源放电电极的液态金属高效冷却方法与装置, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104934278A

（ 14 ） 具有降低光学元件热变形和高传输效率的碎屑抑制系统, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104914681A

（ 15 ） 一种光学元件表面碳污染清洗方法及装置, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN104907287A

（ 16 ） 一种EUV反射镜清洗装置, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104874569A

（ 17 ） EUV多层膜碳污染实验装置, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104865257A

（ 18 ） 光学元件表面碳污染的ArH清洗方法, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN104865700A

（ 19 ） 一种EUV光学元件的碳污染清洗方法, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104834187A

（ 20 ） 一种用于碳污染实验获取EUV辐射的真空隔离滤光装置, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104749327A

（ 21 ） 用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置与清洗方法, 2014, 第 4 作者, 专利号: CN104226637A

（ 22 ） 超高真空试验腔中光路精密调节及转换装置, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN104049337A

   

（1） A hybrid surface shape control method for optimizing thermal deformation of FEL reflection mirror, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment, 2024, 第 2 作者  通讯作者
（2） Research on the Mechanism of Flow-Induced Vibration in the Cooling System of a Double Crystal Monochromator, Applied Sciences-basel, 2024, 第 2 作者  通讯作者
（3） Research on an Active Adjustment Mechanism Based on Non-Singular Terminal Sliding Mode and Finite-Time Disturbance Observer, ELECTRONICS, 2024, 第 2 作者  通讯作者
（4） Adaptive vibration control method for doublecrystal monochromator base on VMD and FxNLMS, JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION, 2023, 第 2 作者  通讯作者
（5） Application of adaptive filtering algorithm to the stability problem for double crystal monochromator. Part I: Typical filtering algorithms, NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT, 2023, 第 2 作者  通讯作者
（6） A new active vibration control method of double crystal monochromator based on FuLMS-ADRC hybrid algorithm, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment, 2022, 第 2 作者  通讯作者
（7） Research on efficient and stable control of EUV-induced hydrogen plasma, Journal of Applied Physics, 2022, 第 2 作者  通讯作者
（8） Study on the characteristics of atomic hydrogen cleaning carbon contamination on multilayers, VACUUM, 2022, 第 3 作者  通讯作者
（9） Design optimization of broadband extreme ultraviolet polarizer in high-dimensional objective space, Chinese Physics B, 2022, 第 4 作者  通讯作者
（10） Improvement of the performance of a cryo-cooled monochromator at SSRF. Part II: Angular stability of the exit beam, NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT, 2021, 第 2 作者
（11） Improvement of the performance of a cryo-cooled monochromator at SSRF. PartI: Double-crystal parallelism, NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT, 2021, 第 2 作者
（12） Active vibration control method of double crystal monochromator of P2 protein crystallography beam line at SSRF, NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT, 2021, 第 2 作者  通讯作者
（13） 自由电子激光光束线反射镜无应力夹持设计与分析, Design and analysis of stress-free clamping of mirrors used in free-electron laser beamlines, 中国光学, 2020, 第 4 作者
（14） Enhanced removal of X-ray-induced carbon contamination using radio-frequency Ar/H_2 plasma, NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES, 2019, 第 4 作者
（15） Mechanical design and finite element analyses of surface bending mechanism for X-ray optics, PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY, 2018, 第 1 作者
（16） Mechanical design and finite element analyses of surface bending mechanism for X-ray optics, PRECISION ENGINEERING, 2018, 第 1 作者
（17） Robust design of broadband EUV multilayer using multi-objective evolutionary algorithm, OPTICS COMMUNICATIONS, 2018, 第 2 作者
（18） Characterization of periodic extreme ultraviolet multilayer based on multi-objective evolutionary algorithm, JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2017, 第 2 作者
（19） 软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统, KB mirror system of X-ray photo-emission electron microscope beamline, 光学精密工程, 2017, 第 2 作者  通讯作者
（20） 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗, Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL, 光学精密工程, 2017, 第 3 作者
（21） Mechanical design and performance evaluation of KB mirror system for the ARPES beamline at SSRF, PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY, 2016, 第 1 作者
（22） Mechanism and model of atomic hydrogen cleaning for different types of carbon contamination on extreme ultraviolet multilayers, THIN SOLID FILMS, 2016, 第 3 作者
（23） 极高分辨变包含角平面光栅单色器关键技术及检测方法研究, Key technologies and the performance measuring methods in variable included angle plane grating monochromator, 中国光学, 2016, 第 3 作者
（24） Mechanical design and performance evaluation of KB mirror system for the ARPES beamline at SSRF, PRECISION ENGINEERING, 2016, 第 1 作者
（25） Establishment of theoretical model and experimental equipment for researching on carbon contamination of EUV multi-layer mirror, 9th International Symposium on Precision Engineering Measurements and Instrumentation, 2015, 第 1 作者
（26） Mechanical design and performance evaluation for plane grating monochromator in a soft X-ray microscopy beamline at SSRF, JOURNAL OF X-RAY SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2015, 第 1 作者
（27） X射线干涉光刻光束线关键光学元件热-结构耦合分析, Thermal-structure coupling analysis of key optical elements in X-ray interference lithography beam-line, 仪器仪表学报, 2015, 第 1 作者
（28） Structure Design and Numerical Simulation of a High Performance Slit in Soft X-Ray Interference Lithography Beamline at SSRF, ADVANCES IN MECHANICAL ENGINEERING, 2014, 第 1 作者
（29） X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试, Design and testing of deflecting mirror system of X-ray interference lithography beamline, 光学精密工程, 2014, 第 1 作者
（30） 前置平面镜热负载对变包含角平面光栅单色器分辨率的影响, Effects of plane mirror thermal load on variable included angle plane-grating monochromator resolution, 中国光学, 2014, 第 4 作者
（31） 软X射线谱学显微光束线单色器结构设计及精度测试, 光学学报, 2013, 第 1 作者
（32） 极紫外光学元件表面碳污染模型的建立, 光学学报, 2013, 第 4 作者
（33） 超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析, Principle and finite element analysis on UHV four-knife precision slits, 光学精密工程, 2013, 第 4 作者
（34） Research on continuous multi-point forming method for rotary surface, JOURNAL OF MATERIALS PROCESSING TECHNOLOGY, 2012, 第 1 作者  通讯作者
（35） 基于多点调形原理的旋转曲面连续成形, Continuous forming for rotary surface based on multi-point adjusting principle, 光学精密工程, 2012, 第 1 作者
（36） X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析, 光学学报, 2012, 第 4 作者
（37） Optimization of cushion conditions in micro multi-point sheet forming, JOURNAL OF MATERIALS PROCESSING TECHNOLOGY, 2012, 第 6 作者

   

（ 1 ） 复杂干扰因素下具备面形精度保持特性的高动力学性能X射线高端双晶单色器关键技术研究, 负责人, 国家任务, 2024-01--2027-12
（ 2 ） 聚焦镜高稳定性集成和精密运动控制, 参与, 国家任务, 2023-12--2028-11
（ 3 ） E-line发射谱仪收集镜调节机构, 负责人, 境内委托项目, 2022-11--2023-12
（ 4 ） 光栅单色器, 负责人, 其他国际合作项目, 2021-12--2022-12
（ 5 ） 旭光人才计划项目, 负责人, 研究所自主部署, 2020-08--2023-12
（ 6 ） 基于X射线诱发激进粒子反应机制的短波增反膜表面碳沉积原位、高效、无损清洗方法的研究, 负责人, 国家任务, 2020-01--2023-12
（ 7 ） 同步辐射双偏转镜和聚焦镜系统, 负责人, 其他国际合作项目, 2017-12--2021-12
（ 8 ） 软X射线光栅单色器, 参与, 其他国际合作项目, 2017-11--2021-12
（ 9 ） 软X射线共振发射(RXES)谱仪机械系统, 参与, 其他国际合作项目, 2016-12--2017-12
（ 10 ） 短波段光学元件碳污染原位清洗与检测技术研究, 负责人, 国家任务, 2015-07--2018-07
（ 11 ） 极紫外多层膜表面碳沉积的机理、检测方法及去除策略研究, 负责人, 国家任务, 2015-01--2017-12
（ 12 ） 激光位移传感器产业化技术研究, 负责人, 地方任务, 2015-01--2017-12
（ 13 ） EUV多层膜光学元件寿命实验研究平台, 参与, 国家任务, 2012-01--2020-12

（1）光束线关键设备设计与制造   第三届特种光电功能材料与器件应用会议   2021-10-16
（2）长春光机所光束线关键设备的研制   先进光源光束线技术研讨会   2021-01-27
（3）EUV光学元件寿命   深圳中能高重复频率X射线自由电子激光极紫外光刻实验站用户研讨会   2020-12-12