研究方向：集成电路智能制造，计算光刻模型与算法，人工智能应用。面向 DUV 与 EUV 技术，开展多尺度三维光刻工艺仿真、光刻胶光化学行为表征研究，面向计算光刻的生成式智能体开发，实现大区域形貌快速预测、OPC 自动优化与对话式工艺调优，突破传统仿真效率瓶颈。

1. 光学工程

2. 微电子学与固体电子学

3. 人工智能算法

140100-集成电路科学与工程
080300-光学工程
080903-微电子学与固体电子学

集成电路先进光刻技术
光学模型
计算光刻

2008-09--2014-07   北京理工大学   博士研究生
2004-09--2008-07   合肥工业大学   学士学位

   

2017-07~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2014-09~2017-07,中国科学院微电子研究所, 助理研究员

集成电路先进光刻与版图设计优化
超大规模集成电路先进光刻理论与应用

已指导学生

陈知枢  硕士研究生  085400-电子信息  

现指导学生

张双  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

李晨  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

李金洁  硕士研究生  085400-电子信息  

姚德龙  硕士研究生  085400-电子信息