基本信息
解婧  女  博导  中国科学院微电子研究所
电子邮件： xiejing@ime.ac.cn
通信地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码：

招生信息

   
招生专业
140100-集成电路科学与工程
招生方向
微纳材料与结构，MEMS，集成电路仪器设备

教育背景

2006-09--2011-07   中国科学院半导体研究所   博士学位
2002-09--2006-07   清华大学电子工程系   学士学位

工作经历

   
工作简历
2015-10~现在, 中国科学院大学, 岗位教授
2011-07~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员
2006-09~2011-07,中国科学院半导体研究所, 博士学位
2002-09~2006-07,清华大学电子工程系, 学士学位

教授课程

微电子工艺与装备技术
半导体工艺与制造技术
集成电路制造工艺与设备