基本信息
于海涛 男 硕导 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
电子邮件: yht@mail.sim.ac.cn
通信地址: 上海市长宁路865号
邮政编码:
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教育背景
2004-09--2009-06 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 工学博士2000-09--2004-06 北京大学 理学学士
工作经历
工作简历
2019-01~现在, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 研究员2012-01~2018-12,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 副研究员2009-07~2011-12,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 助理研究员2004-09~2009-06,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 工学博士2000-09~2004-06,北京大学, 理学学士
专利与奖励
专利成果
( 1 ) 用于TEM构效关联间接原位表征的芯片及其制作方法 , 2019, 第 2 作者, 专利号: 201910067908.7( 2 ) 用于TEM构效关联直接原位表征的芯片及其制作方法 , 2019, 第 2 作者, 专利号: 201910067922.7( 3 ) 一种介孔二氧化硅材料对有机磷吸附速度的控制方法, 2019, 第 3 作者, 专利号: 201910053294.7( 4 ) 一种微传感器、制备及其使用方法, 2018, 第 3 作者, 专利号: 201810480421.7( 5 ) 一种用于VOCs检测的传感系统及检测方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610486631.8( 6 ) 液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201510016562( 7 ) 一种 CO2 传感材料性能的测试方法, 2016, 第 3 作者, 专利号: 201610216567.1( 8 ) 一种谐振频率测量及跟踪系统和方法, 2016, 第 3 作者, 专利号: 201310697613( 9 ) 一种微悬臂谐振结构传感器及其制造方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510443118.6( 10 ) 一种高灵敏度氨类气体传感器及其制备方法, 2015, 第 3 作者, 专利号: 201510434139.1( 11 ) 一种用于基因检测的质量型传感器及其制备方法和应用, 2015, 第 4 作者, 专利号: 201210332526( 12 ) 平面内谐振式直拉直压微悬臂梁结构及制备方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201110072710( 13 ) 一种带有频率自扫描功能的锁相环, 2014, 第 4 作者, 专利号: 201210134270( 14 )  利用功能化碳纳米管为敏感材料的微悬臂梁传感器的应用, 2012, 第 3 作者, 专利号: 201010241824( 15 ) 在微悬臂梁表面一步制造羧酸功能化单层膜的方法, 2012, 第 4 作者, 专利号: 200910198994( 16 ) 在氧化石墨烯表面生长贵金属纳米晶的方法, 2012, 第 2 作者, 专利号: 201210315544( 17 ) 具有螺旋孔道的羧基功能化介孔纳米颗粒的制造方法, 2012, 第 2 作者, 专利号: 201210306247( 18 ) 功能化介孔材料为敏感材料的质量型化学传感器及方法, 2011, 第 2 作者, 专利号: 201110044289( 19 ) 使微悬臂梁传感器重复检测炭疽芽孢的表面修饰方法, 2011, 第 2 作者, 专利号: 200810204352( 20 ) 利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法, 2010, 第 1 作者, 专利号: 200810208129( 21 ) 利用单根集成电阻同时实现驱动及自清洗的微机械悬臂梁, 2009, 第 1 作者, 专利号: 200910046447
科研活动
科研项目
( 1 ) 原位实时表征纳米材料气相生长速率的集成谐振微悬臂梁传感器研究, 负责人, 国家任务, 2019-01--2022-12( 2 ) 功能纳米结构与理化性质关联跨尺度表征测量及应用验证, 参与, 国家任务, 2016-07--2021-06( 3 ) 动静态结合的微悬臂梁阵列联合检测机理及传感器系统研究, 负责人, 国家任务, 2016-01--2019-12( 4 ) 基于微纳谐振敏感效应的界面分子作用热力学/动力学参数提取与材料 特性评估装置, 参与, 国家任务, 2016-01--2020-12( 5 ) 跨尺度纳米批量制造原理与方法, 参与, 国家任务, 2014-01--2017-12( 6 ) 基于功能化介孔材料的谐振式微悬臂梁液体传感器在铅离子检测上的应用研究, 负责人, 国家任务, 2012-01--2014-12( 7 ) 新型食品安全快速检测传感器与微系统技术研究, 参与, 国家任务, 2011-10--2014-09( 8 ) 微纳流控系统跨尺度兼容一体化集成制造基础研究, 参与, 国家任务, 2011-01--2014-12( 9 ) MEMS单片集成器件规模制造技术基础研究, 参与, 国家任务, 2010-01--2015-08