080903-微电子学与固体电子学

图像传感器及读出电路，图像处理器

2009-09--2012-07   中国科学院上海技术物理研究所   博士
2004-09--2007-07   复旦大学   硕士
2000-09--2004-07   上海理工大学   学士

   

2020-01~2020-07,洛桑联邦理工学院, 访问学者
2015-03~2017-03,东京大学, 博士后
2009-09~2012-07,中国科学院上海技术物理研究所, 博士
2007-07~现在, 中国科学院上海技术物理研究所, 助理研究员/副研究员
2004-09~2007-07,复旦大学, 硕士
2000-09~2004-07,上海理工大学, 学士

   

（ 1 ） 一种弹性支撑的微镜单元和微镜阵列及制造方法, 2023, 第 1 作者, 专利号: CN116679442A

（ 2 ） 一种采用活动支撑的微镜结构及制造方法, 2023, 第 1 作者, 专利号: CN116679443A

（ 3 ） 基于热敏自适应微镜的节能玻璃和节能玻璃窗及制造方法, 2023, 第 1 作者, 专利号: CN116679364A

（ 4 ） 一种实现数字化旋转控制的微镜, 2023, 第 1 作者, 专利号: CN116643398A

（ 5 ） 一种低吸合电压的微镜结构及制造方法, 2023, 第 1 作者, 专利号: CN116560069A

（ 6 ） 微镜结构、微镜阵列和探测器, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN213903952U

（ 7 ） 一种微镜结构、微镜阵列及探测器, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN213903951U

（ 8 ） 一种微镜结构及形成方法、微镜阵列以及探测器, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112320751A

（ 9 ） 微镜结构和形成方法、微镜阵列以及探测器, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112327474A

（ 10 ） 一种微镜结构和制作方法、微镜阵列及探测器, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112305753A

（ 11 ） 微镜结构及其制作方法、微镜阵列和探测器, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112305752A

（ 12 ） 级联雪崩倍增光电二极管, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN211208467U

（ 13 ） 一种级联雪崩倍增光电二极管, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111223956A

（ 14 ） 一种混成式三维神经元探针阵列结构, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN202657949U

（ 15 ） 混成式三维神经元探针阵列的制备方法, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102674239A

（ 16 ） 混成式三维神经元探针阵列, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102670193A

（ 17 ） 一种疏松化聚酰亚胺红外吸收薄膜的制备方法, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN102530843A

（ 18 ） 一种以锡为牺牲层的微机械结构器件制备方法, 2011, 第 3 作者, 专利号: CN102060260A

（ 19 ） 一种高占空比绝热微桥结构及其实现方法, 2009, 第 1 作者, 专利号: CN101570311A

（ 20 ） 薄膜转移工艺中快速释放牺牲层的方法, 2009, 第 1 作者, 专利号: CN101549849A

（ 21 ） 快速释放边长毫米级的大面积薄膜的工艺方法, 2008, 第 1 作者, 专利号: CN101298313A

（ 22 ） 利用牺牲层进行薄膜转移的工艺方法, 2008, 第 1 作者, 专利号: CN101298314A

   

（1） The Effect of Pixel Design and Operation Conditions on Linear Output Range of 4T CMOS Image Sensors, Sensors, 2024, 第 3 作者  通讯作者
（2） 高速大像素CMOS图像传感器中钳位光电二极管形状设计的研究进展, Research Progress of Pinned Photodiode Shape Design for High Speed Large Pixel CMOS Image Sensor, 半导体技术, 2024, 第 2 作者
（3） 单光子雪崩二极管SPICE仿真模型的建立和应用, A SPICE Simulation Model for Single-Photon Avalanche Diodes with Application in Quenching Circuits, 半导体光电, 2024, 第 4 作者
（4） 集成隐藏式3维梳齿电极驱动器的低吸合电压CMOS-MEMS微镜阵列, Low Pull-in Voltage CMOS-MEMS Micro-Mirror Arrays with Integrated Hidden Vertical Three-Dimension Comb Driver, 复旦学报:自然科学版, 2022, 第 1 作者
（5） Design of low noise avalanche photodiode single element detectors and linear arrays through CMOS process, ADVANCED PHOTON COUNTING TECHNIQUES XIII, 2019, 第 1 作者  通讯作者
（6） Simulation of the multiplication zone for linear APD based on standard CMOS process, JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES, 2018, 第 2 作者
（7） Design of low noise silicon reach-through avalanche photodiodes, HARDXRAYGAMMARAYANDNEUTRONDETECTORPHYSICSXX, 2018, 第 1 作者  通讯作者
（8） 基于标准CMOS工艺线性APD倍增区的优化仿真, Simulation of the multiplication zone for linear APD based on standard CMOS process, 红外与毫米波学报, 2018, 第 2 作者
（9） 后处理工艺制备的CMOS-MEMS微镜阵列, IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems, 2017, 第 1 作者
（10） CMOS-MEMS Micro-Mirror Arrays by Post-Processing ASMC 0.35-mu m CMOS Chips, JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2017, 第 1 作者
（11） A design of an ultra-fast CMOS-MEMS multilayer Infrared emitter, IEEJ Trans. SM, 2017, 第 1 作者
（12） A design of integrated CMOS-MEMS infrared emitter arrays, IEICE ELECTRONICS EXPRESS, 2016, 第 1 作者
（13） Design of CMOS-MEMS broadband infrared emitter arrays integrated with metamaterial absorbers based on CMOS back-end-of-line, MICRO & NANO LETTERS, 2016, 第 1 作者
（14） Design of CMOS-MEMS Infrared Emitter Arrays, 2016 IEEE 11TH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS (NEMS), 2016, 第 1 作者
（15） 在电阻阵列像素单元中使用过驱动技术的电路设计, Circuit Design for Overdrive Technology Used in Pixel Units of a Resistor Array, 红外, 2015, 第 2 作者
（16） A 13.56MHz Low-Voltage RF-DC Rectifier with Controlled Vth Cancellation Technique, 2014 IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON RADIO-FREQUENCY INTEGRATION TECHNOLOGY (RFIT): SILICON TECHNOLOGY HEATS UP FOR THZ, 2014, 第 5 作者
（17） Fabrication of Hybrid Three Dimension Neural Probe Arrays, CHINESE JOURNAL OF SENSORS AND ACTUATORS, 2013, 第 1 作者
（18） 混成式三维神经元微探针阵列的制备, Fabrication of Hybrid Three-Dimension Neural Probe Arrays, 传感技术学报, 2013, 第 1 作者
（19） 128��128 resistor array with suspended micro-bridge fabricated through film transfer process, Infrared and Laser engineering, 2012, 第 1 作者
（20） 薄膜转移工艺制备的128×128规模高架桥式电阻阵, 128��128 resistor array with suspended micro-bridge fabricated through film transfer process, 红外与激光工程, 2012, 第 1 作者
（21） 黑硅薄膜的电学输运特性, Electrical transport properties of black silicon thin film, 红外与激光工程, 2012, 第 1 作者
（22） 国产电阻阵列技术的发展趋势, Development of domestic resistive arrays technology, 红外与激光工程, 2011, 第 2 作者
（23） 基于热电堆结构的微型热传导真空传感器, Thermopile-Structured Micro Thermal Conductivity Vacuum Sensor, 真空科学与技术学报, 2009, 第 4 作者
（24） 硅基热电堆真空传感器的制造技术, Fabrication Technology of A Silicon-based Thermopile Vacuum Sensor, 微细加工技术, 2008, 第 4 作者
（25） 硅基热电堆真空传感器的耦合场分析, Coupled-Field Analysis of a Silicon-Thermopile-Based Vacuum Sensor, 纳米技术与精密工程, 2008, 第 4 作者
（26） SF6/O2气氛下Al对反应离子刻蚀Si的增强作用机理研究, Study on Mechanism of Al-enhanced Etching of Silicon by Reactive Ions in SF6/O2 Environment, 微细加工技术, 2007, 第 1 作者
（27） MEMS神经元微探针研究, Studies on MEMS Neural Micro Probe, 传感技术学报, 2006, 第 1 作者

   

（ 1 ） FY-4(03)星静止轨道干涉式红外探测仪CMOS可见光探测器, 负责人, 国家任务, 2024-01--2026-12
（ 2 ） FY3（10)中分辨微光探测器, 负责人, 国家任务, 2022-12--2027-12
（ 3 ） FY4（03）先进的辐射成像仪CMOS硅探测器, 负责人, 国家任务, 2022-04--2025-12
（ 4 ） 与CMOS工艺和电压兼容的CMOS-MEMS数字微镜阵列, 负责人, 国家任务, 2019-01--2022-12
（ 5 ） 低吸合电压CMOS-MEMS微镜阵列芯片, 负责人, 其他国际合作项目, 2018-07--2020-06
（ 6 ） 基于CMOS工艺的硅线性雪崩二极管, 负责人, 研究所自主部署, 2017-04--2019-04

（1）Design of low noise avalanche photodiode single element detectors and linear arrays through CMOS process   Zhengxi Cheng, Heliang Xu, Yongping Chen   2019-05-13
（2）Design of low noise silicon reach-through avalanche photodiodes   Zhengxi Cheng, Heliang Xu, Yongping Chen   2018-09-13