070207-光学

MEMS技术

2004-09--2009-07   中国科学院物理研究所   博士学位
2000-09--2004-07   河北工业大学   学士学位

   

2012-04~现在, 中国科学院高能物理研究所, 副研究员
2009-07~2011-07,奥斯陆大学, 博士后
2004-09~2009-07,中国科学院物理研究所, 博士学位
2000-09~2004-07,河北工业大学, 学士学位

   

（ 1 ） 一种实现光刻胶微结构的方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL201410456863.X

（ 2 ） 一种金属微结构及其制作方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL201610188420.6

（ 3 ） 一种利用离子束刻蚀技术抛光微结构侧壁的方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201310439401.2

（ 4 ） 一种实现光刻胶微结构的方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: 201410456863.X

（ 5 ） 一种在硅衬底表面涂覆光刻胶的方法, 2013, 第 1 作者, 专利号: 201310360815.6

   

（1） Fabrication of micro-slot optics on curved substrate by X-ray lithography and electroplating, Microsystem Technologies-Micro-and Nanosystems-Information Storage and Processing Systems, 2021, 第 1 作者
（2） A method to fabricate high-aspect-ratio microstructures using PMMA photoresist, Microsyst Technol, 2018, 第 1 作者
（3） 基于磁流变技术的微孔内壁抛光装置研制及性能研究, 表面技术, 2018, 通讯作者
（4） Sidewall smoothing of micro-pore optics by ion beam etching, Surface & Coatings Technology, 2015, 第 1 作者
（5） Fabrication of micro pore optics with smooth sidewall using X-ray lithography, Microsystem Technologies, 2014, 第 1 作者
（6） Fabrication of silicon nanotip arrays with high aspect ratio by cesium chloride self-assembly and dry etching, AIP Advances, 2014, 第 4 作者
（7） The performances of silicon solar cell with core–shell p-n junctions of micro-nano pillars fabricated by cesium chloride self-assembly and dry etching, Applied Physics A: Materials Science and Processing, 2014, 通讯作者
（8） Fabrication of silicon nanopillar arrays by cesium chloride self-assembly and wet electrochemical etching for solar cell, Applied Surface Science, 2014, 通讯作者
（9） The performance of silicon solar cell with selective pillars fabricated by Cesium Chloride self-assembly lithography and UV-lithography, Solar Energy , 2014, 通讯作者
（10） Fabrication and antireflection properties of solar cells with pyramid-nanohole texture by Cesium Chloride lithography, Journal of Physics D: Applied Physics , 2013, 第 2 作者
（11） Photothermal microactuators fabricated by LIGA technology, Key Engineering Materials , 2013, 通讯作者
（12） Fabrication and photovoltaic characteristics of silicon nanoscrew and nanohole based solar cells, Journal of Nanoscience and Nanotechnology , 2013, 通讯作者

   

（ 1 ） 空间科学背景型号项目, 参与, 中国科学院计划, 2012-10--2015-09
（ 2 ） LIGA技术研制MPO镜片金属结构研究, 负责人, 研究所自选, 2012-07--2015-06
（ 3 ） X射线微孔光学技术的国产化和望远镜样机研制, 参与, 国家任务, 2015-01--2019-12
（ 4 ） 基于LIGA技术的空间X射线成像元件微缝光学的研制和性能研究, 负责人, 国家任务, 2017-01--2019-12
（ 5 ） 基于LIGA技术的Wolter型空间X射线成像元件球面弯曲微缝光学的研制和性能研究, 负责人, 国家任务, 2020-01--2023-12

（1）Fabrication of micro pore optics with smooth sidewall using X-ray lithography   张天冲   2013-04-21