基本信息
李志华  男  博导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: lizhihua@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码: 100029

研究领域

硅光子技术

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085209-集成电路工程
招生方向
硅光子技术
集成电路工程
光互连技术

教育背景

2003-09--2006-05   中科院物理研究所   博士
1999-09--2002-07   中南大学   硕士
1994-09--1998-07   中南大学   学士
学历
博士研究生

学位
博士

工作经历

   
工作简历
2018-03~现在, 中科院微电子研究所, 研究员
2011-06~2012-05,Georgia Institute of Technology, 访问学者
2008-06~2018-02,中科院微电子研究所, 副研究员
2006-06~2008-06,中科院微电子研究所, 博士后
2002-08~2003-09,中科院物理研究所, 助研
1998-08~1999-09,株洲硬质合金厂, 技术员

专利与奖励

   
专利成果
[1] 李彬, 李志华, 谢玲, 杨妍, 李东浩, 唐波, 张鹏, 刘若男. 一种氮化硅光栅耦合器及其制备方法、光器件. CN202210089673.3, 2022-01-25.
[2] 刘曼文, 李志华. 一种雪崩探测器及制备方法. CN: CN113224197A, 2021-08-06.
[3] 刘曼文, 李志华. 一种雪崩探测器. CN: CN113224196A, 2021-08-06.
[4] 孙佳琪, 杨妍, 欧祥鹏, 唐波, 李志华, 王文武. 一种硅基电光调制器及其制备方法. CN: CN113176675A, 2021-07-27.
[5] 杨妍, 唐波, 孙富君, 欧祥鹏, 李志华. 一种低功耗热光器件及其制作方法. CN: CN113176674A, 2021-07-27.
[6] 李彬, 李志华, 谢玲, 李东浩, 唐波, 张鹏, 杨妍, 刘若男. 一种波导层间耦合结构及其制备方法. CN202110673125.0, 2021-06-17.
[7] 李彬, 李志华, 谢玲, 李东浩, 唐波, 张鹏, 杨妍, 刘若男. 一种波导器件及其制备方法. CN202110604680.8, 2021-05-31.
[8] 张鹏, 唐波, 李志华, 李彬, 杨妍, 刘若男. 一种耦合光栅的制备方法. CN: CN110161606B, 2021-04-27.
[9] 李彬, 李志华, 谢玲, 唐波, 张鹏, 杨妍, 刘若男. 氮化硅膜的生长方法及厚膜氮化硅波导器件的制备方法. CN: CN112680715A, 2021-04-20.
[10] 欧祥鹏, 杨妍, 孙佳琪, 孙富君, 唐波, 李志华. 混合等离子体波导及其制备方法. CN: CN112612077A, 2021-04-06.
[11] 杨妍, 唐波, 张鹏, 李彬, 刘若男, 李志华, 谢玲, 王文武. 一种热光器件及其制造方法. CN: CN112558331A, 2021-03-26.
[12] 李彬, 李志华, 唐波, 张鹏, 杨妍, 刘若男. 一种光电探测器及其制备方法. CN: CN112563349A, 2021-03-26.
[13] 张鹏, 唐波, 李志华, 李彬, 刘若男. 光波导及其制造方法. CN: CN110908037B, 2021-03-23.
[14] 许庆, 周章渝, 李志华. 一种光波导及其制造方法. CN: CN110320600B, 2021-03-16.
[15] 唐波, 张鹏, 杨妍, 李志华, 刘若男, 李彬, 黄凯, 谢玲, 王文武. 利用图形反转制作光子晶体的方法及光子晶体. CN: CN112462468A, 2021-03-09.
[16] 唐波, 张鹏, 杨妍, 李志华, 刘若男, 李彬, 黄凯, 谢玲, 王文武. 利用侧墙转移制作硅基光子器件的方法及硅基光子器件. CN: CN112462470A, 2021-03-09.
[17] 唐波, 张鹏, 杨妍, 李志华, 刘若男, 李彬, 黄凯, 谢玲, 王文武. 制作光子晶体的方法及光子晶体. CN: CN112462452A, 2021-03-09.
[18] 唐波, 张鹏, 杨妍, 李志华, 刘若男, 李彬, 黄凯, 谢玲, 王文武. 双层硅基光子器件的制作方法及双层硅基光子器件. CN: CN112327412A, 2021-02-05.
[19] 唐波, 张鹏, 杨妍, 李志华, 刘若男, 李彬, 黄凯. 一种硅波导及其制备方法. CN: CN112198588A, 2021-01-08.
[20] 许庆, 李志华, 李彬. 一种光波导的制造方法. CN: CN110045460B, 2020-11-27.
[21] 李彬, 李志华, 刘若男. 一种厚膜氮化硅波导的挖槽制备方法. CN: CN110441860B, 2020-09-25.
[22] 李彬, 李志华, 张鹏. 一种区域厚膜氮化硅的制备方法. CN: CN110456451B, 2020-09-04.
[23] 唐波, 张鹏, 李志华, 李彬, 刘若男. 锗探测器及其制造方法. CN: CN111554759A, 2020-08-18.
[24] 唐波, 张鹏, 李志华, 李彬, 刘若男. 硅基光电探测器及其制造方法. CN: CN111509078A, 2020-08-07.
[25] 唐波, 张鹏, 李志华, 李彬, 刘若男. 一种锗探测器及其制作方法. CN: CN111509079A, 2020-08-07.
[26] 唐波, 张鹏, 李志华, 李彬, 刘若男. 一种探测器及其制作方法. CN: CN111509080A, 2020-08-07.
[27] 张鹏, 唐波, 李志华, 李彬, 刘若男. 硅基光电探测器的制造方法. CN: CN111508834A, 2020-08-07.
[28] 唐波, 张鹏, 李志华, 李彬, 刘若男. 一种光波导及其制作方法. CN: CN111208606A, 2020-05-29.
[29] 张鹏, 唐波, 李志华, 李彬, 刘若男. 光电探测器的制造方法. CN: CN111129228A, 2020-05-08.
[30] 张鹏, 唐波, 李志华, 李彬, 刘若男. 锗探测器的制造方法. CN: CN111129226A, 2020-05-08.
[31] 张鹏, 唐波, 李志华, 李彬, 刘若男. 硅基光子器件及其制造方法. CN: CN111106205A, 2020-05-05.
[32] 张鹏, 唐波, 李志华, 李彬, 刘若男. 硅基光波导器件的制造方法. CN: CN111077607A, 2020-04-28.
[33] 张鹏, 唐波, 李志华, 李彬, 刘若男. 半导体器件的制造方法. CN: CN111048627A, 2020-04-21.
[34] 张鹏, 唐波, 李志华, 李彬, 刘若男. 一种SOI硅光栅的制作方法. CN: CN110941046A, 2020-03-31.
[35] 杨妍, 李志华, 王文武. 一种表面电极离子阱与硅光器件的集成结构及三维架构. CN: CN110943133A, 2020-03-31.
[36] 杨妍, 李志华, 谢玲, 张鹏, 唐波, 李彬, 刘若男, 刘道群. 一种栅格形铜电极结构及其制备方法. CN: CN110867428A, 2020-03-06.
[37] 杨妍, 李志华, 王文武, 谢玲, 张鹏. 表面电极离子阱与硅光寻址及探测器、及架构的集成方法. CN: CN110854235A, 2020-02-28.
[38] 刘道群, 李志华, 唐波, 张鹏, 李彬. 光电探测器. CN: CN108447938B, 2019-12-20.
[39] 李彬, 李志华, 杨妍. 一种厚膜氮化硅的区域挖槽制备方法. CN: CN110459464A, 2019-11-15.
[40] 李彬, 李志华, 唐波. 一种厚膜氮化硅波导的制备方法. CN: CN110456450A, 2019-11-15.
[41] 熊文娟, 张鹏, 刘若男, 李志华, 李俊峰, 赵超, 王文武, 亨利·H·阿达姆松. 半导体结构与其制作方法. 中国: CN109904060A, 2019-06-18.
[42] 周章渝, 张青竹, 闫江, 许庆, 李志华, 李彬, 余金中, 唐波, 王文武, 谢玲, 张鹏. 一种氮化硅光波导及其制造方法. CN: CN109298484A, 2019-02-01.
[43] 张鹏, 李志华, 唐波, 李彬. 一种鳍式晶体管器件的制造方法. 中国: CN108305835A, 2018-07-20.
[44] 李志华, 万里兮. 一种多路并行光电模块结构及其装配方法. 中国: CN101923194A, 2010-12-22.
[45] 李志华, 万里兮. 一种多路并行光电模块装配方法. 中国: CN101907753A, 2010-12-08.
[46] 申华军, 李志华, 杨成樾, 万里兮, 李宝霞. 一种斜面光接收的光电探测器. 中国: CN100544039, 2009.09.23.
[47] 申华军, 万里兮, 李志华, 杨成樾, 李宝霞. 带光纤定位槽的斜面接收光电探测器及其阵列的制作方法. 中国: CN101382623, 2009-03-11.
[48] 申华军, 李志华, 杨成樾, 万里兮, 李宝霞. 一种接收有源区位于斜面上的光电探测器的制造方法. 中国: CN101383388, 2009-03-11.

出版信息

   
发表论文
[1] Daoqun Liu, Tingting Li, Bo Tang, Peng Zhang, Wenwu Wang, Manwen Liu, Zhihua Li. A Near-Infrared CMOS Silicon Avalanche Photodetector with Ultra-Low Temperature Coefficient of Breakdown Voltage. Micromachines[J]. 2022, 13(47): [2] 李东浩, 李彬, 唐波, 张鹏, 杨妍, 刘若男, 谢玲, 李志华. Broadband Silicon Nitride Power Splitter Based on Bent Directional Couplers with Low Thermal Sensitivity. Micromachines[J]. 2022, 13(559): [3] Daoqun Liu, Peng Zhang, Bo Tang, Wenwu Wang, Zhihua Li. High-Performance Waveguide-Integrated Ge/Si Avalanche Photodetector with Lateral Multiplication Region. Micromachines[J]. 2022, 13(649): [4] Xiangpeng Ou, Yan Yang. Thermo-optically Tunable Slot Waveguide-based Dual Mode-splitting Resonators with Enhanced Sharp Lineshapes. Optics Express[J]. 2022, [5] Jiaqi Sun, Wenwu Wang, Zhihua Li. A CMOS-Compatible Carrier-Injection Plasmonic Micro-Ring Modulator with Resonance Tuning by Carrier Concentration. Photonics[J]. 2022, 9(272): [6] Daoqun Liu, Tingting Li, Bo Tang, Peng Zhang, Wenwu Wang, Manwen Liu, Zhihua Li. A Near-Infrared CMOS Silicon Avalanche Photodetector with Ultra-Low Temperature Coefficient of Breakdown Voltage. Micromachines[J]. 2022, 13(47): [7] 李东浩, 李彬, 唐波, 张鹏, 杨妍, 刘若男, 谢玲, 李志华. Broadband Silicon Nitride Power Splitter Based on Bent Directional Couplers with Low Thermal Sensitivity. Micromachines[J]. 2022, 13(559): [8] Xiangpeng Ou, Yan Yang. Thermo-optically Tunable Slot Waveguide-based Dual Mode-splitting Resonators with Enhanced Sharp Lineshapes. Optics Express[J]. 2022, [9] Daoqun Liu, Peng Zhang, Bo Tang, Wenwu Wang, Zhihua Li. High-Performance Waveguide-Integrated Ge/Si Avalanche Photodetector with Lateral Multiplication Region. Micromachines[J]. 2022, 13(649): [10] Jiaqi Sun, Wenwu Wang, Zhihua Li. A CMOS-Compatible Carrier-Injection Plasmonic Micro-Ring Modulator with Resonance Tuning by Carrier Concentration. Photonics[J]. 2022, 9(272): [11] Ou, Xiangpeng, Yang, Yan, Tang, Bo, Li, Donghao, Sun, Fujun, Zhang, Peng, Liu, Ruonan, Li, Bin, Li, Zhihua. Low-loss silicon nitride strip-slot mode converter based on MMI. OPTICS EXPRESS[J]. 2021, 29(12): 19049-19057, [12] 李东浩, 李彬, 唐波, 张鹏, 杨妍, 刘若男, 谢玲, 李志华. Characteristics of Crack-Free Silicon Nitride Films Deposited by LPCVD for Photonic Applications. JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS[J]. 2021, 50(12): 6862-6869, http://apps.webofknowledge.com/CitedFullRecord.do?product=UA&colName=WOS&SID=5CCFccWmJJRAuMzNPjj&search_mode=CitedFullRecord&isickref=WOS:000701383500003.
[13] Xiaojiong Chen, Yaohao Deng, Shuheng Liu, Tanumoy Pramanik, Jun Mao, Jueming Bao, Chonghao Zhai, Tianxiang Dai, Huihong Yuan, Jiajie Guo, ShaoMing Fei, Marcus Huber, Bo Tang, Yan Yang, Zhihua Li, Qiongyi He, Qihuang Gong, Jianwei Wang. A generalized multipath delayed-choice experiment on a large-scale quantum nanophotonic chip. NATURE COMMUNICATIONS[J]. 2021, 12(1): https://www.ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC8105384/.
[14] 李彬, 李东浩, 唐波, 张鹏, 杨妍, 刘若男, 谢玲, 李志华. Towards monolithic low-loss silicon nitride waveguides on a mature 200 mm CMOS platform. Optik[J]. 2021, [15] Liu, Manwen, Li, Xinqing, Cheng, Wenzheng, Li, Zheng, Li, Zhihua. Radiation Hardness Property of Ultra-Fast 3D-Trench Electrode Silicon Detector on N-Type Substrate. MICROMACHINES[J]. 2021, 12(11): http://dx.doi.org/10.3390/mi12111400.
[16] Ou, Xiangpeng, Yang, Yan, Sun, Fujun, Zhang, Peng, Tang, Bo, Li, Bin, Liu, Ruonan, Liu, Daoquin, Li, Zhihua. Wide-range, ultra-compact, and high-sensitivity ring resonator biochemical sensor with CMOS-compatible hybrid plasmonic waveguide. OPTICS EXPRESS[J]. 2021, 29(12): 19058-19067, [17] Ou, Xiangpeng, Yang, Yan, Tang, Bo, Li, Donghao, Sun, Fujun, Zhang, Peng, Liu, Ruonan, Li, Bin, Li, Zhihua. Low-loss silicon nitride strip-slot mode converter based on MMI. OPTICS EXPRESS[J]. 2021, 29(12): 19049-19057, [18] 李东浩, 李彬, 唐波, 张鹏, 杨妍, 刘若男, 谢玲, 李志华. Characteristics of Crack-Free Silicon Nitride Films Deposited by LPCVD for Photonic Applications. JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS[J]. 2021, 50(12): 6862-6869, http://apps.webofknowledge.com/CitedFullRecord.do?product=UA&colName=WOS&SID=5CCFccWmJJRAuMzNPjj&search_mode=CitedFullRecord&isickref=WOS:000701383500003.
[19] Xiaojiong Chen, Yaohao Deng, Shuheng Liu, Tanumoy Pramanik, Jun Mao, Jueming Bao, Chonghao Zhai, Tianxiang Dai, Huihong Yuan, Jiajie Guo, ShaoMing Fei, Marcus Huber, Bo Tang, Yan Yang, Zhihua Li, Qiongyi He, Qihuang Gong, Jianwei Wang. A generalized multipath delayed-choice experiment on a large-scale quantum nanophotonic chip. NATURE COMMUNICATIONS[J]. 2021, 12(1): https://www.ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC8105384/.
[20] 李彬, 李东浩, 唐波, 张鹏, 杨妍, 刘若男, 谢玲, 李志华. Towards monolithic low-loss silicon nitride waveguides on a mature 200 mm CMOS platform. Optik[J]. 2021, [21] Liu, Manwen, Li, Xinqing, Cheng, Wenzheng, Li, Zheng, Li, Zhihua. Radiation Hardness Property of Ultra-Fast 3D-Trench Electrode Silicon Detector on N-Type Substrate. MICROMACHINES[J]. 2021, 12(11): http://dx.doi.org/10.3390/mi12111400.
[22] Ou, Xiangpeng, Yang, Yan, Sun, Fujun, Zhang, Peng, Tang, Bo, Li, Bin, Liu, Ruonan, Liu, Daoquin, Li, Zhihua. Wide-range, ultra-compact, and high-sensitivity ring resonator biochemical sensor with CMOS-compatible hybrid plasmonic waveguide. OPTICS EXPRESS[J]. 2021, 29(12): 19058-19067, [23] 李志华. 高性能波导集成型锗/硅水平APD. Micronanoelectronic Technology. 2020, [24] 李彬, 唐波, 杨妍, 张鹏, 刘若男, 李志华. Study on silicon photonic devices for photonic neural network. Proc. SPIE. 11556, Nanophotonics and Micro/Nano Optics VI[J]. 2020, [25] Zhang, Peng, Tang, Bo, Yang, Yan, Li, Bin, Liu, Ruonan, Xie, Ling, Li, Zhihua, Lin, Fujiang, Wang, Y, Kidger, TE, Matoba, O, Wu, R. Test System for Wafer-Level Silicon-Photonics Testing. OPTICAL DESIGN AND TESTING Xnull. 2020, 11548: [26] Zeng, Zhaobang, Zhao, Peiyan, Yang, Nan, Gao, Qianyi, Tang, Bo, Li, Zhihua, Yan, Jiang, Jiang, Wei, IEEE. Correlation between RF Signal Reflection on Electrodes and Modulation Variation of Silicon Mach-Zehnder Modulators. 2020 CONFERENCE ON LASERS AND ELECTRO-OPTICS (CLEO)null. 2020, [27] 邹艳慧, 王艺蒙, 张小雪, 武震林, 陈卓, 薄淑晖, 刘若男, 李志华, 王迪, 谭庆贵, 谷一英, 赵明山, 韩秀友. 硅-有机复合集成电光调制器的优化与制备. 光学精密工程[J]. 2020, 28(10): 2138-2150, [28] 李志华. 高性能波导集成型锗/硅水平APD. Micronanoelectronic Technology. 2020, [29] 李彬, 唐波, 杨妍, 张鹏, 刘若男, 李志华. Study on silicon photonic devices for photonic neural network. Proc. SPIE. 11556, Nanophotonics and Micro/Nano Optics VI[J]. 2020, [30] Zhang, Peng, Tang, Bo, Yang, Yan, Li, Bin, Liu, Ruonan, Xie, Ling, Li, Zhihua, Lin, Fujiang, Wang, Y, Kidger, TE, Matoba, O, Wu, R. Test System for Wafer-Level Silicon-Photonics Testing. OPTICAL DESIGN AND TESTING Xnull. 2020, 11548: [31] Zeng, Zhaobang, Zhao, Peiyan, Yang, Nan, Gao, Qianyi, Tang, Bo, Li, Zhihua, Yan, Jiang, Jiang, Wei, IEEE. Correlation between RF Signal Reflection on Electrodes and Modulation Variation of Silicon Mach-Zehnder Modulators. 2020 CONFERENCE ON LASERS AND ELECTRO-OPTICS (CLEO)null. 2020, [32] 邹艳慧, 王艺蒙, 张小雪, 武震林, 陈卓, 薄淑晖, 刘若男, 李志华, 王迪, 谭庆贵, 谷一英, 赵明山, 韩秀友. 硅-有机复合集成电光调制器的优化与制备. 光学精密工程[J]. 2020, 28(10): 2138-2150, [33] 李志华. 200-mm silicon photonics technology development. Proc. SPIE 11193, Nanophotonics and Micro/Nano Optics V. 2019, [34] Zhao, Peiyan, Zeng, Zhaobang, Yang, Nan, Gao, Qianyi, Tang, Bo, Li, Zhihua, Yan, Jiang, Jiang, Wei. Correlation between driving signal reflection on electrodes and performance variation of silicon Mach-Zehnder modulators. OPTICS EXPRESS[J]. 2019, 27(24): 35349-35361, [35] Zhang, Peng, Tang, Bo, Li, Bin, Yang, Yan, Liu, Ruonan, Li, TingTing, Li, Zhihua, Lin, Fujiang, Li, M, Jalali, B, Asghari, MH. Low Cost Test System for Silicon Photonics Testing. REAL-TIME PHOTONIC MEASUREMENTS, DATA MANAGEMENT, AND PROCESSING IVnull. 2019, 11192: [36] 李志华. 200-mm silicon photonics technology development. Proc. SPIE 11193, Nanophotonics and Micro/Nano Optics V. 2019, [37] Zhao, Peiyan, Zeng, Zhaobang, Yang, Nan, Gao, Qianyi, Tang, Bo, Li, Zhihua, Yan, Jiang, Jiang, Wei. Correlation between driving signal reflection on electrodes and performance variation of silicon Mach-Zehnder modulators. OPTICS EXPRESS[J]. 2019, 27(24): 35349-35361, [38] Zhang, Peng, Tang, Bo, Li, Bin, Yang, Yan, Liu, Ruonan, Li, TingTing, Li, Zhihua, Lin, Fujiang, Li, M, Jalali, B, Asghari, MH. Low Cost Test System for Silicon Photonics Testing. REAL-TIME PHOTONIC MEASUREMENTS, DATA MANAGEMENT, AND PROCESSING IVnull. 2019, 11192: [39] 李彬, 唐波, 张鹏, 余金中, 刘新宇, 李志华. Optimized fabrication of wafer-level Si waveguides based on 200 mm CMOS platform. OPTIK[J]. 2018, 172: 777-782, http://dx.doi.org/10.1016/j.ijleo.2018.07.094.
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[42] Li Bin, Tang Bo, Zhang Peng, Liu Daoqun, Liu Ruonan, Zhou Zhangyu, Yu Jinzhong, Li Zhihua, Zhang X, Li B, Yu C, Zhang X. Silicon Photonics Technology on 200-mm CMOS Platform for High Integration Applications. OPTOELECTRONIC DEVICES AND INTEGRATION VIInull. 2018, 10814: [43] 李彬, 唐波, 张鹏, 余金中, 刘新宇, 李志华. Optimized fabrication of wafer-level Si waveguides based on 200 mm CMOS platform. OPTIK[J]. 2018, 172: 777-782, http://dx.doi.org/10.1016/j.ijleo.2018.07.094.
[44] 曹志军, 张青竹, 吴次南, 闫江, 王桂磊, 李俊杰, 殷华湘, 余金中, 李志华, 张兆浩. 面向5 nm CMOS技术代堆叠纳米线释放工艺研究. 真空科学与技术学报[J]. 2018, 38(2): 121-126, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=674742416.
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科研活动

   
科研项目
( 1 ) 硅基光互连后道工艺及耦合封装技术研究, 主持, 国家级, 2017-01--2020-12
( 2 ) 无人驾驶汽车用光子集成激光雷达, 主持, 部委级, 2017-09--2020-12

指导学生

已指导学生

杨坤  硕士研究生  430109-电子与通信工程  

杨彬彬  硕士研究生  430109-电子与通信工程  

现指导学生

刘道群  硕士研究生  085209-集成电路工程  

李东浩  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学