基本信息
冯飞  男  硕导  中国科学院上海微系统与信息技术研究所
电子邮件: fengfei507@mail.sim.ac.cn
通信地址: 长宁路865号
邮政编码: 200050

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085400-电子信息
招生方向
微纳传感器

教育背景

2012-05--2013-05   加州大学伯克利分校   访问学者
2001-03--2004-06   中国科学院上海微系统与信息技术研究所   博士
1998-09--2001-02   长春理工大学   硕士
1990-09--1994-07   湖北师范大学   学士

工作经历

   
工作简历
2012-05~2013-05,加州大学伯克利分校, 访问学者
2004-07~现在, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 助理研究员,副研究员(2006年1月起),研究员(2012年1月起)
2001-03~2004-06,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 博士
1998-09~2001-02,长春理工大学, 硕士
1990-09~1994-07,湖北师范大学, 学士

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 高效单面加工MEMS规模制造关键技术, 一等奖, 省级, 2020
专利成果
( 1 ) 一种微沟道横截面为圆角矩形的玻璃基微色谱柱, 2022, 第 1 作者, 专利号: 202210604091.4

( 2 ) 一种具有高深宽比的全硅微色谱柱及其制备方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: 202210593785.2

( 3 ) 一种含有交错排列椭圆微柱阵列的微色谱柱及其制备方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: 202210593787.1

( 4 ) 一种具有高深宽比的全硅微色谱柱, 2022, 第 1 作者, 专利号: 202221396546.X

( 5 ) 基于逐层沉积介孔二氧化硅为固定相的微色谱柱制备方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: 202210314261.5

( 6 ) 氦离子化检测器, 2022, 第 1 作者, 专利号: 202121443375.7

( 7 ) 微色谱柱, 2021, 第 1 作者, 专利号: 202120178580.9

( 8 ) 基于电磁阀自动进样的气相色谱装置, 2021, 第 1 作者, 专利号: 202023154496.8

( 9 ) 基于六通隔膜阀自动进样的气相色谱装置, 2021, 第 1 作者, 专利号: 202023154438.5

( 10 ) 高分离效率的硅基微气相色谱柱及其制备方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN107561201B

( 11 ) 氦离子化检测器及其制备方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: 202110719616.9

( 12 ) 基于六通隔膜阀自动进样的气相色谱装置及检测方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112595790A

( 13 ) 基于电磁阀自动进样的气相色谱装置及检测方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112595791A

( 14 ) 微色谱柱及制备方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: 202110087284.2

( 15 ) 用于轻烃分离的微色谱柱及制备方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: 202110088082.X

( 16 ) 基于MEMS的多固定相微型填充柱结构及其制备方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111855877A

( 17 ) 富集器芯片结构及其制备方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111483972A

( 18 ) 基于MEMS的多固定相微型填充柱结构, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN210894237U

( 19 ) 基于硅纳米线阵列的微富集器芯片, 2020, 第 1 作者, 专利号: 201920951256.9

( 20 ) 双固定相气相色谱柱及其制备方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110624523A

( 21 ) 富集器芯片结构, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN209797478U

( 22 ) 基于硅纳米线阵列的微富集器芯片及制备方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110203877A

( 23 ) 微色谱柱及微热导检测器的集成芯片及制备方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109959747A

( 24 ) 基于SOI的微色谱柱及微热导检测器的集成芯片及制备方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109962067A

( 25 ) 硅基微气相色谱柱及其制备方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109959746A

( 26 ) 双固定相气相色谱柱, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN208839602U

( 27 ) 一种光导型紫外探测器及其制作方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN104810411B

( 28 ) 基于双面键合工艺的微色谱柱及其制备方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108181413A

( 29 ) 基于SOI的微色谱柱及微热导检测器的集成芯片, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN207938610U

( 30 ) 一种含有流线型椭圆微柱阵列的微色谱柱及其制备方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108333283A

( 31 ) 硅基微气相色谱柱, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN207623299U

( 32 ) 微色谱柱及微热导检测器的集成芯片, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN207623298U

( 33 ) 混合晶圆级真空封装方法及结构, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN105304505B

( 34 ) 基于吸气剂薄膜的混合晶圆级真空封装方法及结构, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN104003352B

( 35 ) 薄膜型微热导检测器及其制备方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108181415A

( 36 ) 微热导检测器及其制备方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108178122A

( 37 ) 一种红外探测器阵列及其制作方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN104979368B

( 38 ) 薄膜型微热导检测器, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN206583873U

( 39 ) 微热导检测器, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN206457251U

( 40 ) 基于双面键合工艺的微色谱柱, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN206583872U

( 41 ) 一种含有流线型椭圆微柱阵列的微色谱柱, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN206460008U

( 42 ) 一种紫外探测器及其制作方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104810425A

( 43 ) 一种光学读出红外探测器结构及其制作方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN105129718A

( 44 ) 一种基于键合技术的光学读出红外探测器阵列的制作方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104913852A

( 45 ) 基于带状吸气剂的混合晶圆级真空封装方法及结构, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN104022046A

( 46 ) 微机械碳纳米管场发射型非致冷热成像器件及制作方法, 2009, 专利号: CN100573063

( 47 ) 热光型红外探测器及其制作方法, 2009, 专利号: CN101566502

( 48 ) 二氟化氙气体腐蚀过程中锚的制作方法, 2008, 专利号: CN100439234

( 49 ) 一种基于双材料效应的微机械红外探测器阵列的制作方法, 2008, 专利号: CN100423311

( 50 ) 一种光读出非致冷红外成像阵列器件及其制作方法, 2007, 第 2 作者, 专利号: CN1915796

( 51 ) 室温法布里-珀罗红外探测器阵列及其制作方法, 2005, 第 1 作者, 专利号: CN1699939

( 52 ) 一种用于光调制热成像系统的芯片及制作方法, 2003, 第 2 作者, 专利号: CN1400486

出版信息

   
发表论文
(1) 微型气相色谱柱芯片研究进展, Research progress of micro gas chromatography column chip, 传感器与微系统, 2022, 通讯作者
(2) A semi-packed gas chromatography column with high-density elliptic cylindrical posts, Journal of Chromatography A, 2022, 通讯作者
(3) Fabrication of a micro gas chromatography column via the layer-by-layer deposition of mesoporous silica as the stationary phase, Journal of Chromatography A, 2022, 通讯作者
(4) An all-silicon microfabricated gas chromatographic column with a high asepct ratio, Sensors and Actuators B: Chemical, 2022, 通讯作者
(5) 以金属有机骨架材料ZIF-8为固定相的硅基微气相色谱柱研究, 高等学校化学学报, 2021, 通讯作者
(6) 基于MEMS的深海原位气体探测技术, 2021年中国仪器仪表学会学术年会, 2021, 通讯作者
(7) 用于轻烃类气体分离的MEMS微色谱柱芯片, 2021年中国仪器仪表学会学术年会, 2021, 通讯作者
(8) MICRO GAS CHROMATOGRAPHIC COLUMNS WITH METAL-ORGANIC FRAMEWORKS AS STATIONARY PHASE, 2021 34TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2021), 2021, 通讯作者
(9) 带逆流进气结构的微型氦离子化检测器研究, 分析化学, 2021, 通讯作者
(10) MICROFABRICATED SEMIPACKED GAS CHROMATOGRAPHY COLUMNS EMBEDDED HIGH DENSITY ELLIPTIC CYLINDRICAL POSTS, 2021 34TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2021), 2021, 通讯作者
(11) Micro thermal conductivity detector based on SOI substrate with low detectio limit, Sensors and Actuators B: Chemical, 2020, 通讯作者
(12) THE PERFORMANCE OF MICRO-FABRICATED GAS CHROMATOGRAPHIC COLUMNS WITH DIFFERENT NUMBER OF SERPENTINE TURNS, IEEE MEMS 2020, 2020, 通讯作者
(13) 基于MEMS的气相色谱分析传感技术, 微纳电子与智能制造, 2020, 通讯作者
(14) 基于MEMS技术的深海原位气相色谱仪的核心色谱芯片的研制, 深海科技创新发展论坛暨深海智能技术与装备交流会, 2020, 通讯作者
(15) Improved peformance of micro-preconcentrator using mesoporous silica with high specific surface area as surface template, IEEE MEMS 2019, 2019, 通讯作者
(16) 以介孔二氧化硅为固定相的高性能微色谱柱, High Performance Micro Gas Chromatography Column Using Mesoporous Silica as Stationary Phase, 分析化学, 2019, 通讯作者
(17) Improved peformance of micro-preconcentrator using silicon nanowires as surface template, IEEE Transducers 2019, 2019, 通讯作者
(18) The exploration of silicon nanowires as a stationary phase support for micro gas chromatographic column, IEEE MEMS 2019, 2019, 通讯作者
(19) 基于铝溶胶固定相的微色谱柱研究, 第十四届全国气湿敏传感技术学术交流会, 2019, 通讯作者
(20) Micro-fabricated gas chromatographic column embedded elliptic cylindrical pillars with mesoporous silica as stationary phase, IEEE Transducers 2019, 2019, 通讯作者
(21) 新型半填充微气相色谱柱芯片研究, Research on novel semi-packed micro gas chromatographic column chip, 传感器与微系统, 2019, 通讯作者
(22) High Performanced Micro Gas Chromatography Column Using Mesoporous Silica as Stationary Phase, Chinese Journal of Analytical Chemistry, 2019, 通讯作者
(23) Study of Monolithic Integrated Micro Gas Chromatography Chip, CHINESE JOURNAL OF ANALYTICAL CHEMISTRY, 2018, 通讯作者
(24) 基于微机电系统的高深宽比气相微色谱柱, High-aspect-ratio gas chromatography column based on micro-electro-mechanical system technology, 色谱, 2018, 通讯作者
(25) Study for Multifunctional Micro Gas Chromatography Separation Column, Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology(APCOT) 2018, 2018, 通讯作者
(26) A micro gas chromatographic column with embedded elliptical cylindrical posts, Journal of Chromatography A, 2018, 通讯作者
(27) Improved separation of micro gas chromatographic column using mesoporous silica as a stationary phase support, TALANTA, 2018, 通讯作者
(28) 单片集成微型气相色谱芯片研究, Study of Monolithic Integrated Micro Gas Chromatography Chip, 分析化学, 2018, 通讯作者
(29) 基于微机电系统的微型气相色谱柱研究进展, Research progress of micro-electro-mechanical systems micro gas chromatography columns, 色谱, 2018, 通讯作者
(30) Review the research on uncooled infrared detector based on MEMS at SIMIT, International symposium on optoelectronic technology and application, 2018, 通讯作者
(31) Pore size effect of mesoporous silica stationary phase on the separation performance of microfabricated gas chromatography columns, Journal of Chromatography A, 2018, 通讯作者
(32) A Micro Gas Chromatography System with Robust and Suspended μTCDs, Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology(APCOT) 2018, 2018, 通讯作者
(33) MEMS based vacuum packaging method of optically readable infrared focal plane array, MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2017, 通讯作者
(34) TINY-SIZED ULTRA-SENSITIVE INFRARED-THERMOPILE FABRICATED WITH A SINGLE-SIDED BULK-SILICON MICROMACHINING TECHNIQUE, 30TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2017), 2017, 第 5 作者
(35) Uncooled infrared detector based on silicon diode Wheatstone bridge, MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2017, 通讯作者
(36) Effect of pore size of stationary phase on the seperation performance of chip-based gas chromatography columns, IEEE Transducers 2017, 2017, 通讯作者
(37) The exploration of mesoporous silica as a stationary phase support for semi-packed micro-fabricated gas chromatographic(GC) column, IEEE MEMS 2017, 2017, 通讯作者
(38) 微型热导检测器温控模块研究, Research of temperature controlling module of micro thermal conductivity detector, 传感器与微系统, 2017, 通讯作者
(39) 基于MEMS的小型气相色谱仪, 第21届全国色谱学术报告会及仪器展览会, 2017, 通讯作者
(40) HIGH SENSITIVE MICRO THERMAL CONDUCTIVITY DETECTOR WITH SANDWICH STRUCTURE, 2017 19TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), 2017, 通讯作者
(41) Research on micro-fabricated gas chromatographic columns with embedded elliptic cylindrical posts, IEEE MEMS 2017, 2017, 通讯作者
(42) 光读出红外成像芯片真空封装研究, Vacuum packaging research of optically readable infrared imaging chip, 传感器与微系统, 2015, 通讯作者
(43) 硅纳米线热电优值集成测试结构研究, 第八届中国微纳电子技术交流与学术研讨会, 2015, 通讯作者
(44) An uncooled optically readable infrared focal plane array, TRANSDUCERS 2015, 2015, 通讯作者
(45) Noise analysis and structural optimal design of diode microbolometer uncooled IRFPAs, JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES, 2015, 通讯作者
(46) Significant performance improvement for micro-thermoelectric energy generator based on system analysis, International Journal of Electrical Power and Energy Systems, 2015, 第 7 作者
(47) CARBON SP2-SP3 TECHNOLOGY: GRAPHENE-ON-DIAMOND THIN FILM UV DETECTOR, IEEE MEMS 2014, 2014, 第 4 作者
(48) Thermal Matching Designed CMOS MEMS-Based Thermoelectric Generator for Naturally Cooling Condition, 2013 SYMPOSIUM ON DESIGN, TEST, INTEGRATION AND PACKAGING OF MEMS/MOEMS (DTIP), 2013, 第 7 作者
(49) 微米尺度温差测试结构的研究, Research on measurement device for temperature difference in micro-meter scale, 传感器与微系统, 2012, 通讯作者
(50) Thin-Film-Based Thermoelectric Energy Generator Device with a Card Structure, 2012 IEEE SENSORS PROCEEDINGS, 2012, 第 6 作者
(51) CMOS MEMS-based thermoelectric generator with an efficient heat dissipation path, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2012, 第 7 作者
(52) KOH各向异性腐蚀中预处理对硅表面粗糙度的影响, Influence of Pretreatment on Silicon Surface Roughness in KOH Anisotropic Silicon Etching, 半导体光电, 2010, 通讯作者
(53) 带温度补偿结构的高灵敏度光读出红外成像阵列器件设计, Design of high sensitivity optically readable infrared imaging array device with temperature compensation beams, 功能材料与器件学报, 2009, 通讯作者
(54) Smooth Surface Morphology of Hydrogenated Amorphous Silicon Film Prepared by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY, 2009, 通讯作者
(55) Optical analysis of thermo-optic infrared focal plane arrays, International Symposium on Photoelectronic Detection and Imaging, 2009, 
(56) Thermo-optic infrared focal plane arrays, Transducers 2009, 2009, 
(57) Design and analysis of the film assembly of thermo-optic infrared focal plane arrays, MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2009, 通讯作者
(58) Investigation of the extinction coefficient of PECVD hydrogenated amorphous silicon nitride films, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2008, 通讯作者
(59) 光学读出热成像焦平面阵列的制作技术, Fabrication technology of optically readable thermal imaging focal plane array, 红外与激光工程, 2007, 第 1 作者
(60) A New Method for Protection of Anchors in Releasing Microstructure by Using XeF2 Etching Process, Transducers 2007, 2007, 
(61) 微机械光读出红外成像阵列器件机械特性对其性能的影响, Effect of mechanical characteristic of an micro-mechanical optically readable infrared imaging array device on its performance, 光学精密工程, 2007, 第 2 作者
(62) 一种非致冷光读出红外成像阵列器件的设计, Design of Uncooled Optically Readable Infrared Imaging Array Devices, 半导体光电, 2007, 第 2 作者
(63) 一种新颖的基于离子束刻蚀的纳米沟道制备技术, 传感技术学报, 2006, 第 4 作者
(64) 微机械法布里-泊罗干涉型光学读出非致冷热成像技术研究, 2004, 第 1 作者
发表著作
( 1 ) 基于微纳机电系统的谱学分析传感器技术(《微纳机电系统与微纳传感器技术》第三章), 科学出版社, 2020-08, 第 1 作者
( 2 ) 《硅基MEMS制造技术》中第3章 三维微机械结构湿法腐蚀技术3.1-3.3;第5章 键合技术5.1-5.4,5.6;第9章 梁结构制造技术, 电子工业出版社, 2022-02, 第 1 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 气相色谱型便携式气体检测系统用MEMS核心元件研发, 负责人, 地方任务, 2014-11--2017-10
( 2 ) 跨尺度纳米批量制造原理与方法, 参与, 国家任务, 2014-01--2017-12
( 3 ) 微纳器件集成与系统示范应用, 负责人, 国家任务, 2018-05--2023-04
( 4 ) 中医诊断传感器及信息微系统技术, 参与, 地方任务, 2018-07--2021-06
( 5 ) 基于ZnO/Ga2O3核壳微米结构的高性能异质结雪崩型日盲探测器的研制, 参与, 地方任务, 2018-01--2020-12
( 6 ) 基于MEMS技术的深海原位气相色谱仪, 负责人, 中国科学院计划, 2019-01--2023-12
( 7 ) 基于MEMS的微型气相色谱仪, 负责人, 中国科学院计划, 2019-01--2020-12
( 8 ) 2019JCJQ-ZD-178-00-03-WXTS, 负责人, 国家任务, 2020-01--2023-11
( 9 ) 基于荧光传感的高灵敏微型气相色谱仪研制, 参与, 地方任务, 2019-10--2022-10
( 10 ) 触嗅一体多功能柔性智能仿生触手, 参与, 国家任务, 2019-12--2024-12
( 11 ) 深海流体低碳烃微型化气相色谱仪, 负责人, 国家任务, 2021-12--2025-12
参与会议
(1)基于MEMS技术的微型气相色谱技术研究   上海市传感技术发展与应用峰会   冯飞   2021-12-27
(2)MEMS气相色谱分析传感技术   第37期“见微知著”培训课程:气体传感与检测技术   冯飞   2021-11-06
(3)基于MEMS的深海原位气相色谱仪   “海洋传感技术创新”论坛   冯飞   2020-10-13
(4)基于MEMS的微型气相色谱仪   第十四届全国气湿敏传感技术学术交流会   冯飞   2019-11-24
(5)MEMS加工技术及其在分析仪器—色谱微型化中的应用案例   第六届分析仪器学术年会   冯飞   2019-08-08
(6)色谱等谱学检测技术   第1期中医药现代化与多学科交叉融合研习班   冯飞   2019-06-20
(7)Study for Multifunctional Micro Gas Chromatography Separation Column   Bowen Tian   2018-06-24
(8)A Micro Gas Chromatography System with Robust and Suspended μTCDs   Bowen Tian   2018-06-24
(9)Review the research on uncooled infrared detector based on MEMS at SIMIT   Feng Fei   2018-05-22
(10)MEMS制造工艺   微机电系统(MEMS)高级培训课程   冯飞   2017-10-22
(11)基于MEMS的小型气相色谱仪   第21 届全国色谱学术报告会及仪器展览会   冯飞   2017-05-19
(12)MEMS制造工艺   微机电系统(MEMS)高级培训课程   冯飞   2016-10-28