基本信息
李铁  男  博导  中国科学院上海微系统与信息技术研究所
电子邮件: tli@mail.sim.ac.cn
通信地址: 宜山路800号6楼
邮政编码: 200233

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085400-电子信息
招生方向
微纳传感机理、器件与应用

专利与奖励

   
专利成果
( 1 ) 一种竖式微型红外气体传感器, [[[", 专利号: [[[CN111693480A]]]

( 2 ) 一种场发射晶体管的制备方法、场发射晶体管及设备, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN111725040B

( 3 ) 一种具有自动对焦功能的红外测温仪, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN112556863A

( 4 ) 一种用于检测有机磷化合物的气体传感器及其制备方法, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN112540105A

( 5 ) 一种有机场效应晶体管气体传感器及其制备方法, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN112432977A

( 6 ) 一种新型导电聚合物及其制备方法和应用, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN112375213A

( 7 ) 一种表观遗传修饰核酸文库的构建方法及其应用, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN112111562A

( 8 ) 一种平面型空气通道晶体管及其制备方法, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN112103157A

( 9 ) 一种纳米二极管、其制备方法及其应用, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN112103158A

( 10 ) 一种核酸羟甲基化修饰的检测方法及其应用, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN112029834A

( 11 ) 一种微型热导气体传感器, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111999338A

( 12 ) 热电堆型高温热流传感器及其制备方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111982323A

( 13 ) 一种便携式纳米检测装置, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN211627517U

( 14 ) 一种利用光调制提高硅纳米线传感器信噪比的方法及装置, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111721709A

( 15 ) 一种利用光标定硅纳米线传感器的方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111721710A

( 16 ) 一种利用光调控硅纳米线传感器灵敏度的装置及方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111721708A

( 17 ) 一种流体流速稳定系统, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111720390A

( 18 ) 一种三维微型加热器及其制备方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN108751122B

( 19 ) 一种荧光星型聚合物及其制备方法和应用, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111574691A

( 20 ) 一种横式微型红外气体传感器, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111562232A

( 21 ) 制作垂直堆叠集成的半导体纳米线及其场效应晶体管的方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN107871666B

( 22 ) 气体传感器及其制备方法和调控气体传感器性能的方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111551587A

( 23 ) 一种顶接触式气体测试腔及应用其的动态气体测试系统, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111537670A

( 24 ) 一种自对准式原位表征芯片及其制备和使用方法, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111474195A

( 25 ) 基于SiC热电材料的高温热流传感器及其制备方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN108007580B

( 26 ) 一种红外气体传感器, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN110687066A

( 27 ) 一种红外光源的制备方法及一种红外气体传感器, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN110687065A

( 28 ) 一种红外探测器及红外气体传感器, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN110687068A

( 29 ) 一种红外探测器及红外气体传感器, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN110687068A

( 30 ) 一种红外气体传感器, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN110687067A

( 31 ) 一种SiC热电堆型高温热流传感器及其制备方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN108011030B

( 32 ) 一种电磁吸收超材料, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN107453052B

( 33 ) 一种红外探测器的制备方法以及由此得到的红外探测器, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110451453A

( 34 ) MEMS微执行器、原位单轴拉伸器件及其制作方法, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN110407154A

( 35 ) 一种基于硅纳米线的气味识别生物传感器, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN106841629B

( 36 ) 一种硅纳米线的制备方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110203879A

( 37 ) 一种具有微纳结构增强的微加热器及其制备方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110182754A

( 38 ) 一种基于黑薄膜的热电红外探测器及其制备方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110165043A

( 39 ) 一种悬空的黑介质薄膜及其制备方法以及应用, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110143567A

( 40 ) 一种微纳米材料热电性能的双温控测量方法, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN109916960A

( 41 ) 一种微型热导气体传感器, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109752418A

( 42 ) 一种循环放大检测方法及其用途, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN109504740A

( 43 ) 三维硅纳米线阵列场效应晶体管、生物传感器及制备方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN109427908A

( 44 ) 一种电磁吸收超材料, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN207490105U

( 45 ) 一种SiC热电堆型高温热流传感器, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN207967050U

( 46 ) 一种二硫化钼场效应管的制作方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN105448743B

( 47 ) 基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器及其制备方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108303122A

( 48 ) 具有波长选择性的石墨烯仿生光探测器及其制备方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108305912A

( 49 ) 基于负电容的场效应晶体管、生物传感器及其制备方法, 2018, 第 5 作者, 专利号: CN108231901A

( 50 ) 基于垂直隧穿的场效应晶体管、生物传感器及其制备方法, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108074979A

( 51 ) 一种在掺杂的多晶硅层上制备硅纳米线的方法及结构, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN107799387A

( 52 ) 一种可控金属纳米颗粒的制作方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN104889410B

( 53 ) 一种微米铜图形控制硅纳米线精确定位生长的方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN105097439B

( 54 ) 具有波长选择性的石墨烯仿生光探测器, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN206516647U

( 55 ) 一种硅纳米线隧穿场效应晶体管及其制作方法, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN103928342B

( 56 ) 基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN206618429U

( 57 ) 一种圆片级制备硅纳米线阵列场效应管, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN206282823U

( 58 ) 基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器及其制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN106706710A

( 59 ) 一种圆片级制备硅纳米线阵列场效应管的方法及其结构, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN106449417A

( 60 ) 基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN205091287U

( 61 ) 一种三明治结构MEMS圆柱形离子阱、制备方法及应用, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104637776A

( 62 ) 一种精确定位制备氧化硅纳米岛阵列的方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104370270A

( 63 ) 一种小体积长光程的气体检测用光学腔体, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN104111226A

( 64 ) 一种双光程多气体红外气体传感器, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN104122223A

( 65 ) 一种具有密贴悬空栅极的硅纳米线场效应管的制备方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN104071745A

( 66 ) 一种硅纳米线探针结构的制作方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN104049112A

( 67 ) 一种利用化学气相沉积法制备硫掺杂石墨烯的方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN104045075A

( 68 ) 一种对石墨烯进行硫掺杂的方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN104047060A

( 69 ) 用于碱基序列检测的多栅极石墨烯场效应管结构及制备方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103995035A

( 70 ) 一种三维红外光源及其制作方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN103922274A

( 71 ) 一种将石墨烯转移到具有PDMS过渡层硬质衬底上的方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN103928296A

( 72 ) 一种将石墨烯转移到柔性衬底的方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103928295A

( 73 ) 基于硅纳米线隧穿场效应晶体管的生物传感器及制作方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103901085A

( 74 ) 一种传感器非敏感区域保护薄膜的制备方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103626120A

( 75 ) 一种在(111)型硅片上制作硅锥体结构的方法, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103101876A

( 76 ) 电容式加速度传感器的传感部件、制作方法及其应用, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103293338A

( 77 ) 一种在(111)型硅片上制作单晶硅纳米长针尖的方法, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103086321A

( 78 ) 一种制备单晶硅纳米结构的方法, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103035477A

( 79 ) 一种平面型半导体热电芯片及制备方法, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103035833A

( 80 ) 一种单晶硅纳米线网状阵列结构的制作方法, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN102963862A

( 81 ) 一种高深宽比硅结构的侧壁平滑方法, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN102923642A

( 82 ) 一种采用混合等离子体实现硅基芯片与PDMS芯片键合的方法, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN102910578A

( 83 ) 一种在(110)型硅片表面自上而下制备纳米结构的方法, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN102398893A

( 84 ) 一种无盖板的碳纳米管器件结构及其制作方法, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102786023A

( 85 ) 一种用于制作纳米器件的自对准盖板及其制作、使用方法, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102786029A

( 86 ) 一种在(111)型硅片表面制备纳米结构的方法, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN102437017A

( 87 ) 一种在(100)型SOI硅片表面自上而下制备纳米结构的方法, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN102398889A

( 88 ) 一种具有两支撑悬梁四层结构的电阻式气体传感器及方法, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102359980A

( 89 ) 一种具有两支撑悬梁六层结构的电阻式气体传感器及方法, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102359981A

( 90 ) 一种具有四支撑悬梁四层结构的电阻式气体传感器及方法, 2011, 第 1 作者, 专利号: CN102288644A

( 91 ) 石墨烯的图形化方法, 2011, 第 1 作者, 专利号: CN102263013A

( 92 ) 具有非均匀线宽加热电阻丝的矩形微型加热器及方法, 2011, 第 2 作者, 专利号: CN102256387A

( 93 ) 具有非均匀线间距加热电阻丝的矩形微型加热器及方法, 2011, 第 2 作者, 专利号: CN102256386A

( 94 ) 一种基于电镀铜衬底制备大面积石墨烯薄膜的方法, 2011, 第 1 作者, 专利号: CN102212794A

( 95 ) 具有圆弧形凹槽加热膜区的三维微型加热器及制作方法, 2010, 第 1 作者, 专利号: CN101932146A

( 96 ) 具有弧度可调的圆弧形加热膜区的三维微型加热器及方法, 2010, 第 1 作者, 专利号: CN101917783A

( 97 ) 一种具有凹槽形加热膜区的三维微型加热器及其制作方法, 2010, 第 2 作者, 专利号: CN101917784A

( 98 ) 一种具有网孔结构加热膜的低功耗微型加热器及制作方法, 2010, 第 1 作者, 专利号: CN101795505A

( 99 ) 一种全光学微机械非致冷红外热成像芯片结构及制作方法, 2007, 第 1 作者, 专利号: CN1994861

( 100 ) 一种基于{100}晶面硅锭制作的红外闪耀光栅结构及方法, 2006, 第 1 作者, 专利号: CN1242276

( 101 ) 一种扭转梁大位移的微机械光开关, 2003, 第 2 作者, 专利号: CN2569170

( 102 ) 一种具有阶梯结构底电极的静电扭转微镜及其制作方法, 2002, 第 1 作者, 专利号: CN1359017

出版信息

   
发表论文
(1) Micromachined Thermocouple for Rapid Detection of Ultrahigh Heat Flux at High Temperature, IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS, 2022, 通讯作者
(2) 人体挥发性气味分子实时检测的硅纳米线电子鼻开发与应用, Development and application of silicon nanowire electronic nose for real-time detection of human volatile odorant molecules, 功能材料与器件学报, 2020, 第 5 作者
(3) 有机场效应晶体管传感器检测甲基膦酸二甲酯气体的研究, OFET Based Sensor for Dimethyl Methylphosphonate Gas Detection, 功能材料与器件学报, 2020, 第 5 作者
(4) Gold nanoparticle modified silicon nanowire array based sensor for low-cost, high sensitivity and selectivity detection of mercury ions, MATERIALS RESEARCH EXPRESS, 2020, 通讯作者
(5) A Robust Bioderived Wavelength-Specific Photosensor Based on BLUF Proteins, SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2020, 通讯作者
(6) MEMS-based dual temperature control measurement method for thermoelectric properties of individual nanowires, MRS COMMUNICATIONS, 2020, 第 5 作者
(7) 面向典型污染物检测的纳米敏感材料与高性能传感器研究进展, Development of High sensitivity Nano-materials and Outstanding Performance Sensors for the Special Pollutants Detection, 中国基础科学, 2019, 第 4 作者
(8) Wavelength-selective enhancement of terahertz absorption of metallic grating/GaAs-based hybrid photoconductive detector, JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2019, 第 5 作者
(9) Irradiation Induced Phase Transition of Single V2O5 Nanowire under in situ TEM Tensile Testing, 2018 IEEE 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE-NANO), 2018, 
(10) Optimal design of graphene nanopores for seawater desalination, JOURNAL OF CHEMICAL PHYSICS, 2018, 第 5 作者
(11) 随钻检测用微型红外甲烷气体传感器, Miniature infrared methane gas sensor for measurement while drilling, 激光与红外, 2017, 第 2 作者
(12) 一种冰醋酸红外气体传感器设计, Design of a Glacial Acetic Acid Infrared Gas Sensor, 红外, 2017, 第 2 作者
(13) MEMS-based thermoelectric infrared sensors: A review, MEMS-based thermoelectric infrared sensors: A review, 机械工程前沿:英文版, 2017, 第 4 作者
(14) Low voltage field emission of single Cu nanowire in air with nanoscale gaps for vacuum electronics, MICRO & NANO LETTERS, 2017, 第 3 作者
(15) 硅纳米线场效应晶体管生物传感器在肿瘤分子诊断中的应用, 科学通报, 2016, 第 7 作者
(16) Ultrahigh precision low-cost pinpointed SiO2 patterns nanofabrication by using traditional MEMS fabrication processes, MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2016, 通讯作者
(17) Robust ultrasensitive tunneling-FET biosensor for point-of-care diagnostics, SCIENTIFIC REPORTS, 2016, 通讯作者
(18) Progress in Silicon Nanowire-Based Field-Effect Transistor Biosensors for Label-Free Detection of DNA, Progress in Silicon Nanowire-Based Field-Effect Transistor Biosensors for Label-Free Detection of DNA, 中国化学:英文版, 2016, 第 7 作者
(19) Sub-ppm Level NO2 Sensor With Sulfur Doped Graphene, 2016 SYMPOSIUM ON DESIGN, TEST, INTEGRATION AND PACKAGING OF MEMS/MOEMS (DTIP), 2016, 
(20) 基于微加热器平台的高性能甲烷传感器, High Performance Methane Gas Sensor Based on Micro-hotplatform, 郑州大学学报:工学版, 2016, 第 4 作者
(21) Ultrasensitive Detection of Dual Cancer Biomarkers with Integrated CMOS-Compatible Nanowire Arrays, ANALYTICAL CHEMISTRY, 2015, 第 8 作者
(22) 灵敏度可调的光学读出非制冷热像元设计, Design of optical-readout uncooled thermal imaging pixel with adjustable sensitivity, 激光与红外, 2015, 第 6 作者
(23) Wafer-level site-controlled growth of silicon nanowires by Cu pattern dewetting, NANO RESEARCH, 2015, 第 6 作者
(24) 基于工艺选择性的硅纳米线及其表面生物组装的可控批量制造技术及其在传感器的应用, 中国科学: 技术科学, 2015, 通讯作者
(25) Janus gas: reversible redox transition of Sarin enables its selective detection by an ethanol modified nanoporous SnO2 chemiresistor, CHEMICAL COMMUNICATIONS, 2015, 第 5 作者
(26) Micro/Nano Gas Sensors: A New Strategy Towards In-Situ Wafer-Level Fabrication of High-Performance Gas Sensing Chips, SCIENTIFIC REPORTS, 2015, 第 10 作者
(27) Significant performance improvement for micro-thermoelectric energy generator based on system analysis, International Journal of Electrical Power and Energy Systems, 2015, 第 9 作者
(28) 单根铜纳米线在超高悬空微动电极上的微滴定介电泳装配研究, 科学通报, 2014, 第 6 作者
(29) Direct ultrasensitive electrical detection of prostate cancer biomarkers with CMOS-compatible n- and p-type silicon nanowire sensor arrays, NANOSCALE, 2014, 第 6 作者
(30) 石墨烯晶体管的加工及测试研究, Processing and Testing of Graphene Field-effect Transistors, 仪表技术与传感器, 2014, 第 6 作者
(31) Fabrication and Performance of Contamination Free Individual Single-Walled Carbon Nanotube Optical Devices, JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY, 2014, 第 4 作者
(32) Single Cu nanowire assembled by microdroplet dielectrophoresis on ultrahigh tensible microelectrodes, CHINESE SCIENCE BULLETIN, 2014, 第 6 作者
(33) Fast-Response, Sensitivitive and Low-Powered Chemosensors by Fusing Nanostructured Porous Thin Film and IDEs-Microheater Chip, SCIENTIFIC REPORTS, 2013, 第 4 作者
(34) AUTOMATED MECHANICAL CHARACTERIZATION OF 2-D MATERIALS USING SEM BASED VISUAL SERVOING, INTERNATIONAL JOURNAL OF OPTOMECHATRONICS, 2013, 第 3 作者
(35) Enhanced sensing of nucleic acids with silicon nanowire field effect transistor biosensors., NANO LETTERS, 2012, 通讯作者
(36) Characterizing Leakage Current in Silicon Nanowire-Based Field-Effect Transistors by Applying Pseudo-Random Sequences, 2012 INTERNATIONAL CONFERENCE ON MANIPULATION, MANUFACTURING AND MEASUREMENT ON THE NANOSCALE (3M-NANO), 2012, 
(37) Thermocapillary Actuation of Droplets on a Microfluidic Chip, JOURNAL OF ADHESION SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2012, 通讯作者
(38) Different Responses between Undoped and N-doped Few-layer Graphene Based Photonic Devices, 2012 INTERNATIONAL CONFERENCE ON MANIPULATION, MANUFACTURING AND MEASUREMENT ON THE NANOSCALE (3M-NANO), 2012, 
(39) 微米尺度温差测试结构的研究, Research on measurement device for temperature difference in micro-meter scale, 传感器与微系统, 2012, 第 5 作者
(40) 高质量大面积石墨烯的化学气相沉积制备方法研究, 物理学报, 2011, 第 3 作者
(41) Silicon-Nanowire-Based CMOS-Compatible Field-Effect Transistor Nanosensors for Ultrasensitive Electrical Detection of Nucleic Acids, NANO LETTERS, 2011, 通讯作者
(42) Photonic responses of devices based on horizontally aligned and network single-walled carbon nanotubes and the effect of environmental gas on device performance, IEEE SENSORS JOURNAL, 2011, 第 2 作者
(43) In situ nanoscale refinement by highly controllable etching of the (111) silicon crystal plane and its influence on the enhanced electrical property of a silicon nanowire, In situ nanoscale refinement by highly controllable etching of the (111) silicon crystal plane and its influence on the enhanced electrical property of a silicon nanowire, 半导体学报, 2011, 第 4 作者
(44) 低电压下静电力驱动的数字微流控芯片, Digital microfluidic chip by electrostatic manipulation in low voltage, 光学精密工程, 2011, 第 4 作者
(45) An Ultra Low Power Consumption Methane Gas Detector Based on an Optimized Suspended Membrane Microhotplate, SENSOR LETTERS, 2011, 通讯作者
(46) In situ nanoscale refinement by highly controllable etching of the (111) silicon crystal plane and its influence on the enhanced electrical property of a silicon nanowire, In situ nanoscale refinement by highly controllable etching of the (111) silicon crystal plane and its influence on the enhanced electrical property of a silicon nanowire, 半导体学报, 2011, 第 4 作者
(47) 基于静电力的微液滴驱动芯片, Droplet actuating chip based on electrostatic force, 传感器与微系统, 2011, 第 3 作者
(48) Robust Array-Composite Micromachined Thermopile IR Detector by CMOS Technology, IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2011, 第 4 作者
(49) 静电力驱动的液滴数字传输芯片, Droplets digitial- transporting chip driven by Electrostatic force, 功能材料与器件学报, 2010, 第 2 作者
(50) 基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究, 中国兵工学会第十五届测试技术学术年会论文集, 2010, 第 2 作者
(51) 气体探测用低功耗微型加热器研究, A Low Power Consumption Microhotplate for Gas Detection, 测试技术学报, 2010, 第 2 作者
(52) 气体探测用低功耗微型加热器研究, 中国兵工学会第十五届测试技术学术年会论文集, 2010, 第 2 作者
(53) pn结对微机械p/n多晶Si热电堆性能的影响, The effect of pn junction on the performance of p/n polysilicon thermopiles, 光电子.激光, 2010, 第 5 作者
(54) Synthesis of radially aligned single-walled carbon nanotubes on a SiO2/Si substrate by introducing sodium chloride, CARBON, 2009, 通讯作者
(55) Mechanical Researches on Young's Modulus of SCS Nanostructures, JOURNAL OF NANOMATERIALS, 2009, 第 2 作者
(56) A direction front-etched membrane structure for a micro-bolometer, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2009, 第 3 作者
(57) 大位移MEMS静电梳齿驱动器的设计及制作, Design and fabrication of MEMS comb -drive actuator with large displacement, 功能材料与器件学报, 2009, 第 2 作者
(58) 基于SMBus的双单片机多通道ADC, Multi-channel ADC with Two MCU Based on SMBus, 微计算机信息, 2009, 第 4 作者
(59) 低电压下静电力驱动的数字微流控芯片, 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会论文集, 2009, 第 3 作者
(60) Integrated micromachined thermopile IR detectors with an XeF(2) dry-etching process, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2009, 第 5 作者
(61) 大位移低电压的静电MEMS驱动器, An Electrostatic MEMS Actuator with Large Displacement Under Low Driving Voltage, 半导体学报, 2008, 第 2 作者
(62) 超薄硅纳米谐振梁的制作及谐振特性的测量, Fabrication and Detection of Ultrathin Silicon Nano-Beam Resonator, 纳米技术与精密工程, 2008, 第 4 作者
(63) 大位移低电压的静电MEMS驱动器(英文), 半导体学报, 2008, 第 2 作者
(64) CMOS工艺兼容的热电堆红外探测器, CMOS Process Compatible Thermopile Infrared Detector, 半导体技术, 2008, 第 3 作者
(65) Selective etching of n-type silicon in pn junction structure in hydrofluoric acid and its application in silicon nanowire fabrication, NANOTECHNOLOGY, 2008, 第 5 作者
(66) 大位移低电压的静电MEMS驱动器, An Electrostatic MEMS Actuator with Large Displacement Under Low Driving Voltage, 半导体学报, 2008, 第 3 作者
(67) Effect of hydrogen on the growth of single-walled carbon nanotubes by thermal chemical vapor deposition, PHYSICA E-LOW-DIMENSIONAL SYSTEMS & NANOSTRUCTURES, 2008, 第 2 作者
(68) Assistance of A-plane sapphire substrate to the growth of single-walled carbon nanotubes, PHYSICA E-LOW-DIMENSIONAL SYSTEMS & NANOSTRUCTURES, 2008, 第 2 作者
(69) Micro IR spectrometer based on blaze grating, 2007 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2007, 
(70) Experimental study on resonant response of piezoresistive double-clamped (111)-Si nano-beam, 2007 2ND IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, VOLS 1-3, 2007, 
(71) Fabrication of nano channels using IBE for nanofluidics study, 2007 2ND IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, VOLS 1-3, 2007, 
(72) Pyrex7740玻璃深刻蚀研究, Investigation on Deep Etching of Pyrex 7740 Glass, 微细加工技术, 2007, 第 2 作者
(73) 用于MEMS红外传感器的集成低噪声CMOS接口电路设计, A Low-Noise CMOS Interface Circuit for Monolithic MEMS Infrared Sensor, 传感技术学报, 2007, 第 2 作者
(74) CMOS兼容的微机械P/N多晶硅热电堆红外探测器, CMOS compatible MEMS P/N polycrystalline silicon thermopile IR detector, 功能材料与器件学报, 2007, 第 2 作者
(75) 先进体硅机械加工技术——从微米到纳米, 第一届长三角地区传感技术学术交流会论文集, 2006, 第 3 作者
(76) 单晶硅纳米梁的分子动力学模拟, 传感技术学报, 2006, 第 4 作者
(77) Micro-heater on membrane with large uniform-temperature area, 2006 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2006, 
(78) 基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究, 传感技术学报, 2006, 第 5 作者
(79) 一种新颖的基于离子束刻蚀的纳米沟道制备技术, 传感技术学报, 2006, 第 6 作者
(80) 传感技术联合国家重点实验室的MEMS及传感器工作, 第一届长三角地区传感技术学术交流会论文集, 2006, 第 9 作者
(81) 基于MEMS工艺制作的硅纳米线及其电学性质, Silicon Nanowires Fabricated by MEMS Technology and Their Electronic Performance, 半导体学报, 2006, 第 2 作者
(82) 微机械面型微加热器的热学分析, Thermal analysis of MEMS micro- hotplate with uniform temperature in large area, 功能材料与器件学报, 2005, 第 2 作者
(83) NEMS谐振器的研究与分析, 电子器件, 2005, 第 3 作者
(84) 集成硅纳米线制造技术及其电学性质研究, Silicon Nanowires Fabricated by MEMS Technology, 中国机械工程, 2005, 第 3 作者
(85) 从微到纳尺度缩小进程中的传感器技术应对方略探讨, 第九届全国敏感元件与传感器学术会议论文集, 2005, 第 5 作者
(86) 基于SOI材料的集成波导微镜与器件研究, 2004, 第 6 作者
(87) 传感技术国家联合重点实验室十六年工作启示, 第八届敏感元件与传感器学术会议论文集, 2003, 第 9 作者
(88) 大位移自对准光开关微动作器的模拟和制作, 功能材料与器件学报, 2003, 第 2 作者
(89) 微通道电泳芯片系统中信号识别算法的设计与实现, Design and implement of algorithm for signal identification in micro-channel electrophoresis system, 功能材料与器件学报, 2002, 第 1 作者
(90) 基于绝缘体上的硅材料的全内反射型阵列波导光栅器件的设计, 光学学报, 2002, 第 6 作者
(91) 深反应离子刻蚀中可动部件的附加结构保护方法, 2001, 第 1 作者
(92) 面向未来光信息时代的微光机电系统, 电子产品世界, 2001, 第 1 作者
(93) 一种高灵敏度巨磁电阻材料的制备方法, 1999, 第 2 作者
(94) 一个简单实用的计算机穆斯堡尔谱仪系统, 核电子学与探测技术, 1999, 第 6 作者
(95) NiO/Co/Cu/Co自旋阀中反铁磁NiO钉扎作用的研究, 功能材料与器件学报, 1999, 第 1 作者
(96) Ni过渡层对Co/Cu/Co三明治膜微结构及巨磁电阻性能的影响, 第五届全国STM学术会议论文集, 1999, 第 1 作者
(97) 高灵敏度巨磁电阻材料及磁传感器研究, 1999, 第 1 作者
(98) 不同过渡层上Co/Cu/Co三明治结构的巨磁电阻效应研究, 物理学报, 1999, 第 1 作者
(99) 高灵敏度的具有Ni过渡层的Co/Cu/Co三明治膜的巨磁电阻效应, 自然科学进展:国家重点实验室通讯, 1999, 第 1 作者
(100) 退火Ge/Bi叠层膜的特殊晶化及扩散行为, 电子显微学报, 1997, 第 2 作者
(101) 退火Ge/Fe多层膜的固相反应与磁性, 物理学报, 1996, 第 3 作者
(102) 巨晶普通辉石的M1位分裂, 矿物岩石地球化学通报, 1996, 第 4 作者
(103) Double-Tilt in situ TEM Mechanical Characterization of Nanostructures Using an Electrostatic Actuated Device, Ultramicroscopy, 第 6 作者
(104) Studies on contact resistance in graphene based devices, MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 多通道硅纳米线肺癌早期检测芯片, 负责人, 地方任务, 2015-01--2017-12
( 2 ) 敏感信号转换机制及超高灵敏检测方法, 负责人, 国家任务, 2017-06--2022-05
( 3 ) 二氧化碳分压传感器用红外探测器, 负责人, 其他任务, 2015-01--2017-12
( 4 ) 纳米器件设计与规模制造, 参与, 国家任务, 2018-05--2020-04