基本信息
李昕欣  男  博导  中国科学院上海微系统与信息技术研究所
email: xxli@mail.sim.ac.cn
address: 仙霞路1225弄83号601室
postalCode:

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085400-电子信息
招生方向
微纳机电系统与微纳传感器技术

专利与奖励

   
奖励信息
(1) MEMS产品化技术, 二等奖, 省级, 2006
(2) 高g加速度传感器, 一等奖, 省级, 2005
专利成果
( 1 ) 透射电镜-热重关联表征金属氢氧化物的方法, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN113979485A

( 2 ) 用于透射电镜-热重关联表征的原位芯片及其制作方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN113884183A

( 3 ) 一种同步热重-拉曼表征方法, 2021, 第 3 作者, 专利号: 202111499332.5

( 4 ) 一种柔性温度传感器的制作方法, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN111504493B

( 5 ) 高灵敏度加速度传感器结构的制作方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN110182753B

( 6 ) 一种介孔二氧化硅材料对有机磷吸附速度的控制方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN109663562B

( 7 ) 一种背接触触觉传感器的制作方法及背接触触觉传感器, 2021, 第 6 作者, 专利号: CN111722707B

( 8 ) 一种加速度计灵敏度的测试装置与方法, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN110568221B

( 9 ) 一种冲击型加速度计灵敏度的测试装置与测试方法, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN110568222B

( 10 ) 一种PDMS微流控芯片注塑模具及制作方法, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN113211720A

( 11 ) 一种浸渍式点样仪及微悬臂梁传感芯片的制备方法, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN113189357A

( 12 ) 一种测定固液界面上动力学及热力学参数的方法, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN113125552A

( 13 ) 一种气体传感材料及其制备方法和用途, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN113092543A

( 14 ) 高分离效率的硅基微气相色谱柱及其制备方法, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN107561201B

( 15 ) 高灵敏度加速度传感器结构的制备方法, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN110040682B

( 16 ) 微传感器及其制备方法, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN110040678B

( 17 ) 一种柔性衬底上生长高熵合金纳米颗粒的方法, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN112935274A

( 18 ) 一种石墨烯基高熵合金纳米颗粒及其制备方法和应用, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN112924510A

( 19 ) 一种真空封装工艺, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN109734046B

( 20 ) 基于氮化硅阳极键合的(111)硅转移工艺, 2021, 第 4 作者, 专利号: 202110431854.5

( 21 ) 热堆式气体质量流量传感器及其制备方法, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN112484800A

( 22 ) 热堆式气体质量流量传感器及其制造方法, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN112461312A

( 23 ) 自时钟数字式微机械陀螺ΣΔM闭环检测电路系统, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN107504964B

( 24 ) 一种热式气体流量传感器及其制备方法, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN107345826B

( 25 ) 一种气囊一体化的脉诊仪触觉传感阵列结构, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN111938610A

( 26 ) 基于阈值驱动能量采集器的振动模式识别装置及识别方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN108680246B

( 27 ) 一种基于Pd-Ag合金纳米晶的氢气传感器及其制备方法, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111855756A

( 28 ) 一种微传感器、制备及其使用方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN108896458B

( 29 ) 一种圆片级薄膜封装方法及封装器件, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN111792621A

( 30 ) 一种微镜结构及其制备方法, 2020, 第 3 作者, 专利号: 202011096018.8

( 31 ) 一种复合触觉传感器、系统及其控制方法, 2020, 第 6 作者, 专利号: CN111721456A

( 32 ) 热堆式气体质量流量传感器及其制备方法, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN110146136B

( 33 ) 富集器芯片结构及其制备方法, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111483972A

( 34 ) 一种硅通孔互连的制作工艺、由此形成的硅通孔互连结构及其应用, 2020, 第 6 作者, 专利号: CN108615704B

( 35 ) 一种用于硅基MEMS电容式传感器的防静电结构, 2020, 第 6 作者, 专利号: CN108168580B

( 36 ) 一种压电微型超声换能器及其制备方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111039251A

( 37 ) 一种低频柔性能量采集器和自供能运动计数器, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN108540014B

( 38 ) 高压液体浸入式数字PCR方法、数字PCR芯片及其制备方法, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN110819698A

( 39 ) 循环式数字PCR方法、循环系统、数字PCR芯片及其制备方法, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN110804650A

( 40 ) 基于铁磁悬臂梁的低振动阈值监控二级能量采集器, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN107994807B

( 41 ) 基于量程拓展的谐振式应变结构、应变传感器及制备方法, 2020, 第 6 作者, 专利号: CN106895777B

( 42 ) 一种膜片结构及其制作方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN107215844B

( 43 ) 一种在衬底上制作悬浮红外热堆的方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110627014A

( 44 ) 一种在衬底上制作悬浮红外热堆的方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110577188A

( 45 ) 富集器芯片结构, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN209797478U

( 46 ) 自谱分时段傅里叶变换高量程加速度计共振频率提取方法, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN108020688B

( 47 ) 噪声可识别的高量程加速度传感器共振频率的提取方法, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN106443071B

( 48 ) 力敏薄膜厚度精确可控的差压传感结构及其制备方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN106969874B

( 49 ) 一种用于检测苯系物的敏感元件及其制备方法和应用, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN110208345A

( 50 ) 一种热电堆式气体流量传感器及其制备方法, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN107328449B

( 51 ) 用于硅通孔互连的多晶硅应力传感器结构及其制备方法, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN106935526B

( 52 ) 耦合谐振的谐振式应变传感器, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN106323155B

( 53 ) N型重掺杂恒温控制振荡器及其恒温控制方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN106549649B

( 54 ) 微色谱柱及微热导检测器的集成芯片及制备方法, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN109959747A

( 55 ) 基于SOI的微色谱柱及微热导检测器的集成芯片及制备方法, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN109962067A

( 56 ) 硅基微气相色谱柱及其制备方法, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN109959746A

( 57 ) 硅基电容式声发射传感器及其制备方法, 2019, 第 6 作者, 专利号: CN106841396B

( 58 ) 自供电无线振动自主报警系统及其方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN106329987B

( 59 ) 一种微孔金属填充结构及填充方法, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN106298639B

( 60 ) 用于TEM构效关联间接原位表征的芯片及其制作方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109682710A

( 61 ) 用于TEM构效关联直接原位表征的芯片及其制作方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109682711A

( 62 ) 压阻式恒温控制振荡器及其制备方法, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN106788316B

( 63 ) 单芯片硅集成三轴高频宽高冲击加速度计及其制作方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN106053881B

( 64 ) 基于FPGA的微机电混合ΣΔM加速度计闭环检测电路系统, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN105699694B

( 65 ) 基于激光结合各向异性腐蚀的梁-质量块结构的制备方法, 2019, 第 7 作者, 专利号: CN106915723B

( 66 ) 一种压阻式加速度传感器及其制作方法, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN105785073B

( 67 ) 基于振动能量采集器的无源无线传感器节点电源电路, 2019, 第 6 作者, 专利号: CN105656167B

( 68 ) 一种包含梁膜结构的单晶硅红外热堆结构及其制作方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN106698331B

( 69 ) 基于SOI的微色谱柱及微热导检测器的集成芯片, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN207938610U

( 70 ) 一种功能材料热力学参数的测试方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN104897508B

( 71 ) 一种用于VOCs检测的传感系统及检测方法, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN105910946B

( 72 ) 一种冲击型加速度计热灵敏度漂移的测试装置及测试方法, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108427015A

( 73 ) 一种数字PCR芯片及其制备方法以及使用方法, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108373969A

( 74 ) 一种含有流线型椭圆微柱阵列的微色谱柱及其制备方法, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108333283A

( 75 ) 一种介孔氧化硅纳米材料的用途, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN104771857B

( 76 ) 硅基微气相色谱柱, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN207623299U

( 77 ) 微色谱柱及微热导检测器的集成芯片, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN207623298U

( 78 ) 薄膜型微热导检测器及其制备方法, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108181415A

( 79 ) 微热导检测器及其制备方法, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108178122A

( 80 ) 基于双面键合工艺的微色谱柱及其制备方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN108181413A

( 81 ) 一种高灵敏度氨类气体传感器及其制备方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN105004626B

( 82 ) 一种高冲击加速度计热灵敏度漂移的测试装置与方法, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108037315A

( 83 ) 加速度计内嵌压力传感器的单硅片复合传感器结构及方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN104793015B

( 84 ) 一种红外探测器阵列及其制作方法, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN104979368B

( 85 ) 在(100)单硅片上制作宽频带高量程加速度传感器的方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN104267215B

( 86 ) 旁热式微传感器及其制造方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN106629575B

( 87 ) 薄膜型微热导检测器, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN206583873U

( 88 ) 微热导检测器, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN206457251U

( 89 ) 一种用于微腔金属填充的喷嘴片结构、设备及填充方法, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107527861A

( 90 ) 一种微悬臂谐振结构传感器及其制造方法, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN105067471B

( 91 ) 单晶硅压力敏感膜片结构及其制作方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN106477513B

( 92 ) 冲击加速度传感器交叉轴响应的空间分波测试方法, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN104407173B

( 93 ) (111)单硅片集成的三轴微机械加速度传感器及制作方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN104483511B

( 94 ) 基于双面键合工艺的微色谱柱, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN206583872U

( 95 ) 一种含有流线型椭圆微柱阵列的微色谱柱, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN206460008U

( 96 ) 微纳机电晶圆的圆片级封装方法及结构, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN106986300A

( 97 ) 微蒸发器、振荡器集成微蒸发器结构及其频率修正方法, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN106803744A

( 98 ) 带有温度控制的离心机转盘温度测试系统, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN106323490A

( 99 ) 一种用于微腔金属填充的喷嘴片结构及设备, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN205723491U

( 100 ) 一种 CO 2 传感材料性能的测试方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN105891041A

( 101 ) 一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN105271361A

( 102 ) 振动幅度阈值驱动发电的能量采集器及传感器, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN105226992A

( 103 ) 一种压阻式加速度传感器, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN204330809U

( 104 ) 一种光学读出红外探测器结构及其制作方法, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN105129718A

( 105 ) 一种基于键合技术的光学读出红外探测器阵列的制作方法, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104913852A

( 106 ) 一种多晶硅应力传感器及其制作方法, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN104724662A

( 107 ) 液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104569369A

( 108 ) 偏离(111)硅片解理晶向的高强度悬臂梁结构及制作方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104445044A

( 109 ) 基于(111)单晶硅片的高谐振频率高冲击加速度计及制作方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104316725A

( 110 ) 抑制横向干扰的三维集成微机械加速度传感器及制作方法, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104280569A

( 111 ) 一种二级振动式宽频带能量采集器, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN104242725A

( 112 ) 伸展模态传感器及其制造方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN104236593A

( 113 ) 封装应力与温漂自补偿的双悬浮式力敏传感器芯片及制备方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN104236766A

( 114 ) 一种表面多功能化微流控芯片的圆片级制造方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN103991841A

( 115 ) 一种空气净化装置智能测控系统和方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103912964A

( 116 ) 一种谐振频率测量及跟踪系统和方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103728494A

( 117 ) 一种消除封装应力的悬浮式力敏传感器芯片及其制作方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN103674355A

( 118 ) 一种用于基因检测的质量型传感器及其制备方法和应用, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103667039A

( 119 ) 一种微机械芯片测试探卡及其制作方法, 2014, 第 4 作者, 专利号: CN103675365A

( 120 ) 在氧化石墨烯表面生长贵金属纳米晶的方法, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN103668141A

( 121 ) 具有螺旋孔道的羧基功能化介孔纳米颗粒的制造方法, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN103626193A

( 122 ) 多层多采集点的起重机械结构健康监测系统, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN103557890A

( 123 ) 适于表面贴装封装的单硅片微流量传感器及其制备方法, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103185612A

( 124 ) 适于表面贴装封装的单硅片微流量传感器及其制作方法, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103185613A

( 125 ) 一种微孔金属填充结构及方法, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103107129A

( 126 ) 待测传感器芯片的电学引出结构及其应用, 2013, 第 4 作者, 专利号: CN103021985A

( 127 ) 一种基于双面表面应力的压阻式微纳传感器及其制备方法, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102809452A

( 128 ) 一种用于圆片级封装应力测量的应力传感器转移方法, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN102800606A

( 129 ) 基于电润湿原理提升导电焊料焊接电子封装强度的方法, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102779766A

( 130 ) 平面内谐振式直拉直压微悬臂梁结构及制备方法, 2012, 第 6 作者, 专利号: CN102689869A

( 131 ) 一种带有频率自扫描功能的锁相环, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN102624384A

( 132 ) 基于温度敏感电阻的热对流加速度传感器芯片的制作方法, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102556942A

( 133 ) 加速度和压力传感器单硅片集成芯片及制作方法, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102476786A

( 134 ) 一种用于MEMS结构的悬架光刻胶平坦化工艺, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN102375332A

( 135 ) 一种借助悬架光刻胶实现硅通孔互连的方法, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN102376629A

( 136 ) 一种可单片集成的射频滤波器的制作方法, 2011, 第 1 作者, 专利号: CN101534103B

( 137 ) 一种悬架结构光刻胶的涂胶方法, 2011, 第 3 作者, 专利号: CN102213919A

( 138 ) 功能化介孔材料为敏感材料的质量型化学传感器及方法, 2011, 第 3 作者, 专利号: CN102175764A

( 139 ) 利用金属化合物的电泳沉积图案进行光刻的方法, 2011, 第 3 作者, 专利号: CN102142362A

( 140 ) 采用衬底栅极的MIS电容下压阻结构及制作方法, 2011, 第 6 作者, 专利号: CN102134052A

( 141 ) 在单硅片上单面微加工制作的悬臂梁加速度传感器及方法, 2011, 第 1 作者, 专利号: CN101968495A

( 142 ) 利用功能化碳纳米管为敏感材料的微悬臂梁传感器的方法, 2011, 第 1 作者, 专利号: CN101935008A

( 143 ) 嵌入式单晶硅腔体的六边形硅膜压阻式压力传感器及方法, 2010, 第 2 作者, 专利号: CN101881676A

( 144 ) 一种非谐振非接触式的振动能量采集器, 2010, 第 1 作者, 专利号: CN101814817A

( 145 ) 高量程加速度传感器横向响应波的自跟踪识别方法及系统, 2010, 第 2 作者, 专利号: CN101750519A

( 146 ) 在微悬臂梁表面一步制造羧酸功能化单层膜的方法, 2010, 第 2 作者, 专利号: CN101712451A

( 147 ) 使微悬臂梁传感器重复检测炭疽芽孢的表面修饰方法, 2010, 第 4 作者, 专利号: CN101620059A

( 148 ) 一种湿法腐蚀制作集成压阻SiO 2 悬臂梁的方法, 2009, 第 1 作者, 专利号: CN101590997

( 149 ) 利用阶梯形电极实现纳米梁驱动与压阻检测结构及方法, 2009, 第 5 作者, 专利号: CN101565162A

( 150 ) 一种垂直环绕栅结型场效应晶体管、制作方法及应用, 2009, 第 5 作者, 专利号: CN101567394A

( 151 ) 一种测试加速度,压力和温度的集成硅芯片及制作方法, 2009, 第 1 作者, 专利号: CN101551403A

( 152 ) 压阻加速度传感器的模态共振频率的半桥测试方法, 2009, 第 2 作者, 专利号: CN101539588A

( 153 ) 中高量程加速度传感器敏感方向灵敏度的测试方法, 2009, 第 2 作者, 专利号: CN101539587A

( 154 ) 利用单根集成电阻同时实现驱动及自清洗的微机械悬臂梁, 2009, 第 2 作者, 专利号: CN101492150A

( 155 ) 一种基于表面微机械加工的绝对压力传感器芯片及制作方法, 2009, 第 2 作者, 专利号: CN101487747A

( 156 ) 纳米尺度下界面陷阱产生的巨压阻及其制作方法, 2009, 第 2 作者, 专利号: CN101475140A

( 157 ) 扭转模态下超薄硅微机械悬臂梁的检测压阻和检测方法, 2009, 第 1 作者, 专利号: CN101475138A

( 158 ) 提高谐振式超薄悬臂梁传感器灵敏度的表面应力敏感方法, 2009, 第 2 作者, 专利号: CN101477029A

( 159 ) 利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法, 2009, 第 2 作者, 专利号: CN101451946A

( 160 ) 三维集成微机械加速度传感器的制作方法, 2009, 第 1 作者, 专利号: CN100495038

( 161 ) 微机械圆片级芯片测试探卡及制作方法, 2009, 第 1 作者, 专利号: CN100479127

( 162 ) 一种高量程压阻加速度传感器共振频率的测试方法, 2009, 第 3 作者, 专利号: CN101354284

( 163 ) 用于原子力显微镜的二维微动平台和微力学参数测试方法, 2009, 第 2 作者, 专利号: CN101339816A

( 164 ) 硅基带锁止功能的阈值可调加速度开关传感器及制作方法, 2008, 第 1 作者, 专利号: CN101303366A

( 165 ) 硅微机械悬臂梁驱动结构、制作方法及应用, 2008, 第 1 作者, 专利号: CN100425524

( 166 ) 基于电镀工艺的微机械测试探卡及制作方法, 2008, 第 1 作者, 专利号: CN101214916A

( 167 ) 抗环境振动影响的旋转式微机械可变电容的结构, 2008, 第 1 作者, 专利号: CN101154505A

( 168 ) 一种CMOS工艺兼容的悬浮式可变电容的制作方法, 2008, 第 1 作者, 专利号: CN101110354A

( 169 ) 一种经改进的微悬臂梁弹性系数的测试方法, 2007, 第 2 作者, 专利号: CN100356160

( 170 ) 一种低温度交叉灵敏度的微悬臂梁谐振器, 2007, 第 3 作者, 专利号: CN101064197A

( 171 ) 一种柔性电容式触觉传感器的制作方法, 2007, 第 3 作者, 专利号: CN101059380A

( 172 ) 用波形比较法进行冲击加速度传感器横向响应的测试方法, 2007, 第 2 作者, 专利号: CN101034092A

( 173 ) 扭转模态下的硅微机械悬臂梁传感器驱动结构、制作方法及应用, 2007, 第 2 作者, 专利号: CN1994860A

( 174 ) 微机械芯片测试探卡及制造方法, 2007, 第 1 作者, 专利号: CN1326225

( 175 ) 一种CMOS工艺兼容的嵌入悬浮螺管结构电感或互感的制作方法, 2007, 第 1 作者, 专利号: CN1889233A

( 176 ) 一种用于爆炸物检测的自组装单分子层敏感膜及制备方法, 2006, 第 1 作者, 专利号: CN1866002A

( 177 ) 一种集成压阻二氧化硅悬臂梁超微量检测传感器、制作方法及应用, 2006, 第 1 作者, 专利号: CN1866007A

( 178 ) 一种高速车辆超重的实时在线测量系统, 2006, 第 7 作者, 专利号: CN1821725A

( 179 ) 在绝缘体上硅的硅片上纳米宽度谐振结构及其制作方法, 2006, 第 5 作者, 专利号: CN1792765A

( 180 ) 微机械加速度计器件的圆片级封装工艺, 2006, 第 2 作者, 专利号: CN1792764A

( 181 ) 悬臂梁-质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器, 2006, 第 3 作者, 专利号: CN1786718A

( 182 ) 在(111)晶面的硅片上纳米梁的结构及制作方法, 2006, 第 4 作者, 专利号: CN1743261A

( 183 ) 微梁直拉直压结构压阻微机械陀螺及制作方法, 2005, 第 1 作者, 专利号: CN1603743A

( 184 ) 用掩膜和无掩膜技术一次成型原子力显微镜探针和悬臂梁, 2005, 第 1 作者, 专利号: CN1587024A

( 185 ) 一只传感器实现车辆加速或减速/刹车分级显示方法及装置, 2005, 第 1 作者, 专利号: CN1569517A

( 186 ) 一种单硅片体微机械工艺实现的带静电自检测的加速度计, 2005, 第 1 作者, 专利号: CN1570651A

( 187 ) 氢氧化钾溶液对(100)硅上〈100〉晶向的凸角补偿方法, 2005, 第 1 作者, 专利号: CN1184352

( 188 ) 深沟侧壁扩散和电绝缘薄膜填充制造压阻加速度传感器及其制造方法, 2004, 第 1 作者, 专利号: CN1142438

( 189 ) 单片集成的直拉直压微梁结构压阻加速度传感器及制作方法, 2003, 第 1 作者, 专利号: CN1415968A

( 190 ) 多层硅微机械结构的掩模-无掩模腐蚀技术, 1998, 第 2 作者, 专利号: CN1177021

出版信息

   
发表论文
(1) Failure mechanism of palladium-silver nanocatalysts-sensitized hydrogen microsensor revealed by in-situ transmission electron microscopy, 2022 IEEE 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2022, 通讯作者
(2) Thermogravimetric Analysis on a Resonant Microcantilever, Analytical Chemistry, 2022, 通讯作者
(3) Single-side micromachined ultra-small thermopile IR detecting pixels for dense-array integration, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2022, 通讯作者
(4) Alkaline phosphatase electrochemical micro-sensor based on 3D graphene networks for the monitoring of osteoblast activity, Biosensor, 2022, 第 6 作者
(5) In situ TEM technique revealing the deactivation mechanism of bimetallic Pd−Ag nanoparticles in hydrogen sensors, Nano Letters, 2022, 通讯作者
(6) Microreactor-based TG−TEM synchronous analysis, Analytical Chemistry, 2022, 通讯作者
(7) Structure and Phase Evolution Characterization of Advanced Materials by Using Temperature-Programmable Resonant Microcantilever in Combination with Raman Spectroscopy, 35th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS), 2022, 通讯作者
(8) 以金属有机骨架材料ZIF-8为固定相的硅基微气相色谱柱研究, 高等学校化学学报, 2021, 第 6 作者
(9) Porous titania nanosheets as micro-gravimetric sensing material for trace NO2 detection, 2021 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers). IEEE, 2021, 通讯作者
(10) Three-Dimensional Arterial Pulse Signal Acquisition in Time Domain Using Flexible Pressure-Sensor Dense Arrays, MICROMACHINES, 2021, 通讯作者
(11) Anatase porous titania nanosheets for resonantgravimetric detection of ppb-level NO2 at room-temperature, Analyst, 2021, 通讯作者
(12) Silicon-chip based electromagnetic vibration energy harvesters fabricated using wafer-level micro-casting technique, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2021, 通讯作者
(13) Silicon monolithic microflow sensors: a review, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2021, 通讯作者
(14) High-entropy alloy nanoparticles as catalyst for nanomolar-level detection of neurotransmitter serotonin in serum, 2021 34TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2021), 2021, 通讯作者
(15) A discrete-time self-clocking complex electromechanical ƩΔM gyroscope with quadrature error cancellation, Sensors and Actuators: A. Physical, 2021, 第 5 作者
(16) Transfer of Tactile Sensors Using Stiction Effect Temporary Handling, MICROMACHINES, 2021, 第 5 作者
(17) Quantitative structure-activity relationship of nanowire adsorption to SO2 revealed by in situ TEM technique, Nano Letters, 2021, 通讯作者
(18) MICROFABRICATED SEMIPACKED GAS CHROMATOGRAPHY COLUMNS EMBEDDED HIGH DENSITY ELLIPTIC CYLINDRICAL POSTS, 2021 34TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2021), 2021, 第 8 作者
(19) Pentagram-Shaped Ag@Pt Core-Shell Nanostructures as High-Performance Catalysts for Formaldehyde Detection, ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES, 2020, 通讯作者
(20) Resonant-Cantilever-Detected Kinetic/Thermodynamic Parameters for Aptamer-Ligand Binding on a Liquid-Solid Interface, ANALYTICAL CHEMISTRY, 2020, 通讯作者
(21) Dual-Resonator MEMS Magnetometer Based on Self-Clocking Sigma-Delta Modulation, IEEE SENSORS JOURNAL, 2020, 通讯作者
(22) IN-PLANE MODE RESONANT CANTILEVER SENSOR TO DETECT KINETIC/THERMODYNAMIC PARAMETERS FOR APTAMER-LIGAND BINDING, 2020 33RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2020), 2020, 通讯作者
(23) A NOVEL VACUUM PACKAGING PROCESS USING SPUTTERED COPPER LAYER AS NON-EVAPORABLE GETTER ACTIVATED BY MICROWAVE, 2020 33RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2020), 2020, 第 7 作者
(24) ADAPTIVE ON-LINE SELF-CALIBRATION OF ERRORS IN MULTI-STAGE-NOISE-SHAPING (MASH) SIGMA-DELTA MODULATOR GYROSCOPE, 2020 33RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2020), 2020, 第 5 作者
(25) p+Si/Au热电堆式气体流量传感器一维模型及其应用, Theoretical and Application of a 1-D Model of p+Si/Au Thermopile-Based Gas Flow Sensor, 传感技术学报, 2020, 第 3 作者
(26) An optimized through-via bottom-up method for simultaneous-filling TSVS of different aspect-ratios and its potential application on high-frequency passive interposer, MICROELECTRONICS JOURNAL, 2020, 通讯作者
(27) Optimization of nano-copper as H2S gas sensing material by quantitatively evaluating thermodynamic enthalpy with resonant microcantilever, 2020 33RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2020), 2020, 通讯作者
(28) An in-situ TEM microreactor for real-time nanomorphology & physicochemical parameters interrelated characterization, Nano Today, 2020, 通讯作者
(29) MONOTHIC INTEGRATION OF PRESSURE PLUS Z-AXIS ACCELERATION COMPOSITE TPMS SENSORS WITH 1.0MMx1.0MM CHIP-SIZE AND 0.09$/DIE FABRICATION-COST, 2020 33RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2020), 2020, 通讯作者
(30) MICRO-OVEN-CONTROLLED MEMS OSCILLATOR INTEGRATED WITH MICRO-EVAPORATOR FOR FREQUENCY TRIMMING, 2020 33RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2020), 2020, 第 7 作者
(31) Oven-Controlled MEMS Oscillator with Integrated Micro-Evaporation Trimming, SENSORS, 2020, 第 7 作者
(32) H2S gas sensor based on integrated resonant dual-microcantilevers with high sensitivity and identification capability, H2S gas sensor based on integrated resonant dual-microcantilevers with high sensitivity and identification capability, CHINESE CHEMICAL LETTERS, 2020, 第 5 作者
(33) SENSITIVITY IMPROVEMENT OF PSI/AU THERMOPILE-BASED GAS FLOW SENSOR BY OPTIMIZING HEAT-SINK AND THERMAL-INSULATION CONFIGURATION, 2020 33RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2020), 2020, 第 3 作者
(34) LONG-TERM STABILITY IMPROVEMENT OF MICRO-HOTPLATE METHANE SENSOR PRODUCT, 2020 33RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2020), 2020, 通讯作者
(35) THE PERFORMANCE OF MICRO-FABRICATED GAS CHROMATOGRAPHIC COLUMNS WITH DIFFERENT NUMBER OF SERPENTINE TURNS, 2020 33RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2020), 2020, 第 8 作者
(36) SILICON-CHIP BASED ELECTROMAGNETIC VIBRATION ENERGY HARVESTERS RAPIDLY FABRICATED BY WAFER-LEVEL MOLTEN METAL MICRO-CASTING TECHNIQUE, 2020 33RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2020), 2020, 通讯作者
(37) A SEAL-FREE VALVELESS DIGITAL PCR CHIP SUPPORTED WITH A HIGH-PRESSURE WATER CIRCULATION SYSTEM, 2020 33RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2020), 2020, 通讯作者
(38) In situ construction of metal-organic framework (MOF) UiO-66 film on Parylene-patterned resonant microcantilever for trace organophosphorus molecules detection, ANALYST, 2019, 通讯作者
(39) 高量程加速度计横向各向异性响应的自由落杆冲击评估法, Evaluation of the Transverse Anisotropy Response of High-g Accelerometers by a Free-Drop-Bar Impact Method, 微纳电子技术, 2019, 第 3 作者
(40) 以介孔二氧化硅为固定相的高性能微色谱柱, High Performance Micro Gas Chromatography Column Using Mesoporous Silica as Stationary Phase, 分析化学, 2019, 第 6 作者
(41) Integrated resonant dual-microcantilevers combined sensor with accurate identification and highly-sensitive detection to H2S gas, 2019 20TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS & EUROSENSORS XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII), 2019, 通讯作者
(42) 分子版治未病--基于中医药理学与新一代技术装备的精准中医学发展前瞻, Molecular Edition for Preventive Treatment of Disease--Prospects for the Development of Precision Traditional Chinese Medicine Based on TCM Pharmacology (TCM Property Theory) and Next Generation Technical Equipment, 中药药理与临床, 2019, 第 20 作者
(43) Self-powered wireless sensor network using event-triggered energy harvesters for monitoring and identifying intrusion activities, IET POWER ELECTRONICS, 2019, 第 5 作者
(44) Design, Fabrication, and Testing of a Monolithically Integrated Tri-Axis High-Shock Accelerometer in Single (111)-Silicon Wafer, MICROMACHINES, 2019, 通讯作者
(45) 新型半填充微气相色谱柱芯片研究, Research on novel semi-packed micro gas chromatographic column chip, 传感器与微系统, 2019, 第 6 作者
(46) A Front-Side Microfabricated Tiny-Size Thermopile Infrared Detector With High Sensitivity and Fast Response, IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 2019, 通讯作者
(47) 基于微机电系统的高深宽比气相微色谱柱, High-aspect-ratio gas chromatography column based on micro-electro-mechanical system technology, 色谱, 2018, 第 7 作者
(48) Multicolor T-Ray Imaging Using Multispectral Metamaterials, ADVANCED SCIENCE, 2018, 第 7 作者
(49) 单硅片单面硅微机械加工的热温差式流量传感器, The Single-Wafer Single-Side Silicon Bulk-Micromachined Thermal Flow Sensor, 传感技术学报, 2018, 第 3 作者
(50) MEMS FLUXGATE MAGNETOMETER WHOSE SOLENOID COIL ARE WINDED BY A NOVEL WAFER-LEVEL LIQUID ALLOY FILLING METHOD, 2018 IEEE 2ND ELECTRON DEVICES TECHNOLOGY AND MANUFACTURING CONFERENCE (EDTM 2018), 2018, 第 5 作者
(51) A Modified MEMS-Casting Based TSV Filling Method with Universal Nozzle Piece That Uses Surface Trenches as Nozzles, 2018 19TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON ELECTRONIC PACKAGING TECHNOLOGY (ICEPT), 2018, 第 4 作者
(52) Metal organic framework of mof-5 with hierarchical nanopores as micro-gravimetric sensing material for aniline detection, SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2018, 通讯作者
(53) 一种新型半填充微气相色谱柱芯片研究, 传感器与微系统, 2018, 第 7 作者
(54) ZnO-NANOWIRES COATED WITH GAMMA-ORDERED MESOPOROUS ALUMINA (GAMMA-OMA) CATALYST FOR DETECTION OF FREON, 2018 IEEE MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 2018, 通讯作者
(55) 基于DSP的集成谐振式微悬臂梁便携式气体检测仪, DSP-Based Portable Gas Detector with Integrated Resonant Microcantilever, 仪表技术与传感器, 2018, 第 7 作者
(56) 单片集成微型气相色谱芯片研究, Study of Monolithic Integrated Micro Gas Chromatography Chip, 分析化学, 2018, 第 7 作者
(57) 基于MEMS的高深宽比气相微色谱柱研究, 色谱, 2018, 第 7 作者
(58) Revealing humidity-enhanced NH3 sensing effect by using resonant microcantilever, SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2018, 通讯作者
(59) Corrigendum to "Detection of volatile-organic-compounds (VOCs) in solution using cantilever-based gas sensors" Talanta 182 (2018) 148-155, Talanta, 2018, 通讯作者
(60) 基于微机电系统的微型气相色谱柱研究进展, Research progress of micro-electro-mechanical systems micro gas chromatography columns, 色谱, 2018, 第 7 作者
(61) A Silk Cranial Fixation System for Neurosurgery, ADVANCED HEALTHCARE MATERIALS, 2018, 第 9 作者
(62) MEMS based vacuum packaging method of optically readable infrared focal plane array, MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2017, 第 7 作者
(63) A high-efficiency self-powered wireless sensor node for monitoring concerning vibratory events, SMART MATERIALS AND STRUCTURES, 2017, 第 6 作者
(64) The Use of Functionalized Silk Fibroin Films as a Platform for Optical Diffraction-Based Sensing Applications, ADVANCED MATERIALS, 2017, 第 6 作者
(65) Characterization of Single-Crystalline Graphene ESD Interconnects, 2017 IEEE 12TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON ASIC (ASICON), 2017, 第 9 作者
(66) A Metal Micro-Casting Method for Through-Silicon Via(TSV) Fabrication, 2017 IEEE ELECTRON DEVICES TECHNOLOGY AND MANUFACTURING CONFERENCE (EDTM), 2017, 第 4 作者
(67) 微型热导检测器温控模块研究, Research of temperature controlling module of micro thermal conductivity detector, 传感器与微系统, 2017, 第 6 作者
(68) A FRONT-SIDE NON-SOI FABRICATED TRI-AXIS CAPACITIVE ACCELEROMETER WITH ELECTROMECHANICAL SIGMA-DELTA MODULATORS INTERFACE, 2017 19TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), 2017, 第 5 作者
(69) Study of a through-silicon/substrate via filling method based on the combinative effect of capillary action and liquid bridge rupture, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2016, 第 4 作者
(70) MICRO-OVEN-CONTROLLED N++ 11001 LENGTH-EXTENSIONAL-MODE OSCILLATOR FOR NEAR ZERO TEMPERATURE DRIFT, 2016 IEEE 29TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 2016, 第 5 作者
(71) Network-on-Chip for Turbo Decoders, IEEE TRANSACTIONS ON VERY LARGE SCALE INTEGRATION (VLSI) SYSTEMS, 2016, 第 4 作者
(72) 硅基MEMS振荡器的静电反馈技术研究, Research on electrostatic tuning technology of MEMS oscillator, 电子设计工程, 2016, 第 4 作者
(73) Micromachined high-performance RF passives in CMOS substrate, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2016, 通讯作者
(74) 基于重掺杂的谐振式传感器频率温度系数补偿研究, Study on temperature coefficient compensation of frequency of resonant sensor based on degenerate doping, 传感器与微系统, 2016, 第 5 作者
(75) Plasma Tuning Effect on Silanol-Density of Silicon Substrate for Optimal Vapor-Phase Growth of Self-Assembled Monolayers, JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY, 2016, 通讯作者
(76) A micelle fusion-aggregation assembly approach to mesoporous carbon materials with rich active sites for ultrasensitive ammonia sensing, JOURNAL OF THE AMERICAN CHEMICAL SOCIETY, 2016, 第 6 作者
(77) 硅纳米线热电优值集成测试结构研究, 第八届中国微纳电子技术交流与学术研讨会, 2015, 第 5 作者
(78) A wireless bio-sensing microfluidic chip based on resonating 'mu-divers', LAB ON A CHIP, 2015, 通讯作者
(79) 二极管型红外焦平面阵列的噪声分析及结构优化设计, Noise analysis and structural optimal design of diode microbolometer uncooled IRFPAs, 红外与毫米波学报, 2015, 第 4 作者
(80) 基于LabVIEW的谐振式微悬臂梁传感器智能激励与检测系统, LabVIEW-based Intelligent Exciting and Detecting System for Resonant Cantilever Sensors, 仪表技术与传感器, 2015, 第 5 作者
(81) 基于分子间作用力的敏感效应与痕量检测生化传感器, Sensing effects and trace-level bio/chemical sensors based on molecular interaction induced nano-mechanical force, 中国科学. 技术科学, 2015, 第 1 作者
(82) Noise analysis and structural optimal design of diode microbolometer uncooled IRFPAs, JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES, 2015, 第 4 作者
(83) Advanced Nanoporous Materials for Micro-Gravimetric Sensing to Trace-Level Bio/Chemical Molecules, SENSORS, 2014, 通讯作者
(84) A resonant micro-cantilever frequency tracking system based on dynamic phase difference, 2014 IEEE INTERNATIONAL INSTRUMENTATION AND MEASUREMENT TECHNOLOGY CONFERENCE (I2MTC) PROCEEDINGS, 2014, 第 5 作者
(85) Carboxyl functionalized gold nanoparticles in situ grown on reduced graphene oxide for micro-gravimetric ammonia sensing, SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2014, 通讯作者
(86) 表面微机械加工的高长宽比矩形薄膜压力传感器, Study of Surface Micro-machined Absolute Pressure Sensor with Long and Narrow Rectangular Film, 仪表技术与传感器, 2014, 第 3 作者
(87) Integrated pt2ni alloy@pt core-shell nanoarchitectures with high electrocatalytic activity for oxygen reduction reaction, JOURNAL OF MATERIALS CHEMISTRY A, 2014, 第 5 作者
(88) Heterogeneous Integration of Nano Enabling Devices for 3D ICs, 2013 IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON LOW POWER ELECTRONICS AND DESIGN (ISLPED), 2013, 第 15 作者
(89) Magnetic-Particle-Composite-Medium-Filled Stacked-Spiral Inductors for Radio-Frequency CMOS Applications, Magnetic-Particle-Composite-Medium-Filled Stacked-Spiral Inductors for Radio-Frequency CMOS Applications, CHINESE PHYSICS LETTERS, 2013, 第 9 作者
(90) Low complexity state metric compression technique in turbo decoder, IEICE ELECTRONICS EXPRESS, 2013, 第 4 作者
(91) Field-effect piezoresistors for vibration detection of nanobeams by using monolithically integrated MOS capacitors, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2013, 第 3 作者
(92) 基于FPGA的谐振悬臂梁传感器智能接口电路, Intelligent Interface Circuit for Resonant Cantilever Sensors Based on FPGA, 仪表技术与传感器, 2013, 第 6 作者
(93) In situ growth of noble metal nanoparticles on graphene oxide sheets and direct construction of functionalized porous-layered structure on gravimetric microsensors for chemical detection, CHEMICAL COMMUNICATIONS, 2012, 通讯作者
(94) Integrated microcantilevers for high-resolution sensing and probing (vol 23, 022001, 2012), MEASUREMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2012, 通讯作者
(95) 微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术, The Minimally-Invasive-Surgery-Liked Silicon Micromachining(MISSM) Technology, 传感技术学报, 2012, 第 3 作者
(96) Amine-functionalized sba-15 with uniform morphology and well-defined mesostructure for highly sensitive chemosensors to detect formaldehyde vapor, LANGMUIR, 2012, 第 5 作者
(97) Fully front-side bulk-micromachined single-chip micro flow sensors for bare-chip SMT (surface mounting technology) packaging, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2012, 通讯作者
(98) 全方位抗过载的压阻式三轴加速度计, Triaxial piezoresistive accelerometer with omnibearing anti-overload, 传感器与微系统, 2012, 第 5 作者
(99) Tunnel effect causing nonlinear current in few-layer graphene, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2012, 第 4 作者
(100) TPMS (tire-pressure monitoring system) sensors: Monolithic integration of surface-micromachined piezoresistive pressure sensor and self-testable accelerometer, MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 通讯作者
(101) 平面内谐振式微悬臂梁生化传感器的设计与制造, Design and Fabrication of in-Plane Resonance-Mode Microcantilever Bio/Chemical Sensors, 传感技术学报, 2012, 第 2 作者
(102) Micro-/Nanocombined Gas Sensors With Functionalized Mesoporous Thin Film Self-Assembled in Batches Onto Resonant Cantilevers, IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS, 2012, 第 5 作者
(103) Integrated microcantilevers for high-resolution sensing and probing, MEASUREMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2012, 通讯作者
(104) The real-time detection of trace-level hg2+ in water by qcm loaded with thiol-functionalized sba-15, SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2012, 第 7 作者
(105) A chelating-bond breaking and re-linking technique for rapid re-immobilization of immune micro-sensors, BIOMEDICAL MICRODEVICES, 2012, 通讯作者
(106) A shielded cantilever-tip microwave probe for micro/nano surface imaging of conductive properties, IEEE MEMS 2011:the 24th IEEE Conference on Micro Electro mechanicsal Systems, 2011, 
(107) NON-CONTACT REPULSIVE-FORCE EXCITATION FOR HIGHLY ENDURABLE WIDE FREQUENCY-RANGE ENERGY-HARVESTING, Transducers’11:The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2011, 
(108) A monolithically integrated 3-axis thermal-convective accelerometer with a pneumatically curved thermopile-cantilever for Z-axis sensing, 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11.2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2011, 第 2 作者
(109) A chelating-bond breaking and re-linking technique for rapid re-generation of immune biosensors, Biomedical Microdevices, 2011, 
(110) ELECTRO-WETTING ENHANCED BONDING STRENGTH, Transducers’11:The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2011, 
(111) A MONOLITHICALLY INTEGRATED 3-AXIS THERMAL-CONVECTIVE ACCELEROMETER WITH A PNEUMATICALLY CURVED THERMOPILE-CANTILEVER FOR Z-AXIS SENSING, Transducers’11:The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2011, 
(112) Prefer-oriented Cu2O Micro-crystals: SAM Templated Growth and DMMP-vapor Detection, JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS, 2011, 通讯作者
(113) MONOLITHIC PRESSURE+ACCELERATION SENSOR WITH SELF-TEST FUNCTION FOR RELIABLE & LOW-COST TIRE-PRESSURE-MONITORING-SYSTEM (TPMS) APPLICATIONS, Transducers’11:The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2011, 
(114) HIGH-Q IN-PLANE RESONANCE-MODE CANTILEVER BIO/CHEMICAL SENSOR FOR REAL-TIME DETECTION IN LIQUIDS, Transducers’11:The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2011, 
(115) Functionalized mesoporous thin-film directly self-assembled on resonant-cantilevers for batch-producible chemical sensors, IEEE MEMS 2011:the 24th IEEE Conference on Micro Electro mechanicsal Systems, 2011, 
(116) 自组装单层膜模板控制生长氧化亚铜晶体及其对DMMP气体的检测(英文), Prefer-oriented Cu_2O Micro-crystals:SAM Templated Growth and DMMP-vapor Detection, 无机材料学报, 2011, 第 4 作者
(117) Bi-stable frequency up-conversion piezoelectric energy-harvester driven by non-contact magnetic repulsion, SMART MATERIALS AND STRUCTURES, 2011, 通讯作者
(118) HYDROGEN-BOND-BASED LATERAL INTER-MOLECULAR EFFECT ON SURFACE-STRESS GENERATION FOR CANTILEVER SENSORS, IEEE MEMS 2011:the 24th IEEE Conference on Micro Electro mechanicsal Systems, 2011, 
(119) AXIALLY STRETCHED NANO-THICK PIEZORESISTIVE SILICON CLAMPED-BEAMS TO SENSE SPECIFIC-REACTION-INDUCED DOUBLE-SIDE SURFACE-STRESS WITH MUCH HIGHER SENSITIVITY THAN CANTILEVERS, Transducers’11:The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2011, 
(120) A SINGLE-WAFER-BASED SINGLE-SIDED BULK-MICROMACHINING TECHNIQUE FOR HIGH-YIELD AND LOW-COST VOLUME PRODUCTION OF PRESSURE SENSORS, Transducers’11:The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2011, 
(121) SELF-SENSING PR-OXI-LEVER (PIEZO-RISISTIVE SiO2 CANTILEVER) SENSORS FOR BIO/CHEMICAL DETECTION IN LIQUID, IEEE MEMS 2010:the 23nd IEEE Conference on Micro Electro mechanicsal Systems, 2010, 
(122) Quad-cantilever microsensors with a low-cost single-sided micro-machining technique for trace chemical vapor detection, MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2010, 通讯作者
(123) Nano-thick resonant cantilevers with a novel specific reaction-induced frequency-increase effect for ultra-sensitive chemical detection, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2010, 通讯作者
(124) Self-assembly and transfer of photoresist suspended over trenches for microbeam fabrication in MEMS, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2010, 第 3 作者
(125) RESONANT CANTILEVERS WITH ULTRA-DENSELY INWALL-FUNCTIONALIZED MESOPOROUS-SILICA SENSING-LAYER FOR DETECTION OF ppt-LEVEL TNT, IEEE MEMS 2010:the 23nd IEEE Conference on Micro Electro mechanicsal Systems, 2010, 
(126) Three-solenoid windings transformer baluns on CMOS-grade silicon substrate, MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2010, 第 4 作者
(127) 侧壁压阻式力传感器的研制与标定, Design and Calibration of Sidewall Piezoresistive Force Sensor, 纳米技术与精密工程, 2010, 第 5 作者
(128) Self-assembling siloxane bilayer directly on SiO(2) surface of micro-cantilevers for long-term highly repeatable sensing to trace explosives, NANOTECHNOLOGY, 2010, 通讯作者
(129) 基于体硅工艺的集成式定位平台, Integrating positioning X-Y stage based on bulk micromachining, 光学精密工程, 2009, 第 3 作者
(130) Resonant-cantilever bio/chemical sensors with an integrated heater for both resonance exciting optimization and sensing repeatability enhancement, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2009, 通讯作者
(131) 硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制, 第11届全国敏感元件与传感器学术会议论文集, 2009, 第 2 作者
(132) 具有力感知功能的四臂式MEMS微夹持器研制, Design of four-arm MEMS microgripper integrated with force sensor, 光学精密工程, 2009, 第 4 作者
(133) 两维碰撞加速度传感器及其实用化, Two-axis Acceleration Sensor for Crash Testing and Its Application, 仪表技术与传感器, 2009, 第 4 作者
(134) Single-side micromachined low-cost quad-cantilever sensors with a high-sensitive monolayer self-assembled for trace TNTdetection., Transducers’09:The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2009, 
(135) A NOVEL METHOD OF SELF-ASSEMBLING SILOXANE BI-LAYER DIRECTLY ON SiO2 SURFACE OF MICRO-CANTILEVER FOR LONG-TERM REPEATABLE SENSING TO TRACE EXPLOSIVES, Transducers’09:The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2009, 
(136) Fabrication of Submicron Beams with Galvanic Etch Stop for Si in TMAH, SENSORS, 2009, 第 5 作者
(137) 服务于微电子产业的MEMS新技术, 第11届全国敏感元件与传感器学术会议论文集, 2009, 第 3 作者
(138) 片上集成MEMS射频滤波器, On-chip Integrated MEMS-based RF Filters, 仪表技术与传感器, 2009, 第 3 作者
(139) Cantilever sensors equipped with nano sensing effects for ultra-sensitive detection of Bio/Chemical molecules, Transducers’09:The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2009, 第 1 作者
(140) 阻尼介质温度对MEMS高量程加速度传感器动态输出特性的影响, Effect of Damping-medium-temperature on Dynamic Shock Response Performance of MEMS High-G Accelerometer, 仪表技术与传感器, 2009, 第 2 作者
(141) Microcantilever Probe Cards With Silicon and Nickel Composite Micromachining Technique for Wafer-Level Burn-In Testing, IEEE TRANSACTIONS ON ADVANCED PACKAGING, 2009, 第 2 作者
(142) Design and Fabrication of a Four-Arm-Structure MEMS Gripper, IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS, 2009, 第 4 作者
(143) REPEATEDLY USABLE BIO-MOLECULE CANTILEVER SENSORS WITH A COORDINATION-BOND BREAKING AND RE-LINKING TECHNIQUE, Transducers’09:The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2009, 
(144) 利用波形比较法进行高量程加速度传感器横向响应的测试研究, STUDY ON THE TRANSVERSE RESPONSE OF HIGH-g ACCELEROMETER BY A COMPARISON METHOD OF WAVEFORM, 机械强度, 2009, 第 3 作者
(145) GIANT PIEZORESISTANCE OF NANO-THICK SILICON INDUCED BY INTERFACE ELECTRON TRAPING EFFECT, IEEE MEMS 2009:the 22nd IEEE Conference on Micro Electro mechanicsal Systems, 2009, 
(146) 高量程压阻加速度传感器横向响应的测试及分析, Measurement and Analysis of Transverse Response of High-g Piezoresistive Accelerometer, 仪表技术与传感器, 2009, 第 2 作者
(147) Simultaneous mass-detection of two sorts of analyte with a single resonant micro-cantilever, Transducers’09:The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2009, 
(148) 高量程压阻加速度传感器横向响应的测试及分析, 第11届全国敏感元件与传感器学术会议论文集, 2009, 第 2 作者
(149) NANO-THICKNESS INTEGRATED RESONANT CANTILEVERS WITH SURFACE-STIFFENING SCHEME FOR ULTRA-SENSITIVE DETECTION OF TRACE CHEMICALS, IEEE MEMS 2009:the 22nd IEEE Conference on Micro Electro mechanicsal Systems, 2009, 
(150) 两维碰撞加速度传感器及其实用化, 第11届全国敏感元件与传感器学术会议论文集, 2009, 第 4 作者
(151) Hyper-branched sensing polymers self-assembled on resonant micro-cantilever sensors for ultra-low concentration DMMP vapor detection., Transducers’09:The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2009, 
(152) Silicon cantilever arrays with by-pass metal through-silicon-via (TSV) tips for micromachined IC testing probe cards, MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2009, 通讯作者
(153) 片上集成MEMS射频滤波器, 第11届全国敏感元件与传感器学术会议论文集, 2009, 第 3 作者
(154) 超薄硅纳米谐振梁的制作及谐振特性的测量, Fabrication and Detection of Ultrathin Silicon Nano-Beam Resonator, 纳米技术与精密工程, 2008, 第 2 作者
(155) Wafer-level sandwiched packaging for high-yield fabrication of high-performance MEMS inertial sensors, MEMS 2008: 21ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2008, 第 3 作者
(156) 带有位移检测功能的纳米级定位平台, Nano-Positioning X- YStage with the Function of Displacement Detection, 纳米技术与精密工程, 2008, 第 3 作者
(157) A heater-integrated scanning probe microscopy probe array with different tip radii for study of micro-nanosize effects on silicon-tip/polymer-film friction, REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2008, 通讯作者
(158) 基于体硅工艺的定位平台制作工艺分析, Fabrication process analysis for nano-positioning stage based on silicon bulk micromachining, 光学精密工程, 2008, 第 3 作者
(159) 基于PI衬底的柔性MEMS电容式触觉力传感器设计制作, Design and Fabrication of the Polyimide-Based Flexible MEMS Capacitive Tactile Force Sensor, 传感技术学报, 2008, 第 3 作者
(160) 集成高性能嵌入式螺管电感和互感技术, On-chip Microfabricated High-performance Embedded Solenoid-inductors and Transformers, 机械工程学报, 2008, 第 3 作者
(161) 用于纳米操作的硅基集成式微型xy定位平台, A Silicon Integrated Micro Positioning xy-Stage for Nano-Manipulation, 半导体学报, 2008, 第 3 作者
(162) THREE-LAYER QUANTITATIVE EXTRACTION OF MOLECULE SELF-ASSEMBLY INDUCED SURFACE-STRESS BY CANTILEVER NANOMECHANICAL DETECTION, IEEE MEMS 2008:21th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2008, 
(163) Rotational driven RF variable capacitors with post-CMOS processes, IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2008, 第 2 作者
(164) Single-Wafer-Processed Self-Testable High-g Accelerometers With Both Sensing and Actuating Elements Integrated on Trench-Sidewall, IEEE SENSORS JOURNAL, 2008, 通讯作者
(165) WAFER-LEVEL SANDWICHED PACKAGING FOR HIGH-YIELD FABRICATION OF HIGH-PERFORMANCE MEMS INERTIAL SENSORS, IEEE MEMS 2008:21th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2008, 
(166) MEMS悬臂梁式芯片测试探卡, MEMS Cantilever Type Probe Card for IC Testing, 传感技术学报, 2008, 第 2 作者
(167) 压阻掺杂浓度对高gn加速度计动态性能影响, Effect of impurity concentration of piezoresistor on dynamic shock response performance of high gn accelerometer, 传感器与微系统, 2008, 第 2 作者
(168) 三梁-质量块敏感结构高性能压阻式碰撞加速度计, Three-Beam-Seismic-Mass Structure Piezoresistive Accelerometer for High Performance Crash Test, 传感技术学报, 2007, 第 3 作者
(169) ng/ml-levelalpha-fetoprotein immuno-detection with torsion-mode cantilever sensors for early-stage heptocellular carcinoma diagnosis, TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 2007, 第 4 作者
(170) Micro IR spectrometer based on blaze grating, 2007 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2007, 第 4 作者
(171) CONCAVE-SUSPENDED HIGH-Q SOLENOID INDUCTORS WITH A POST-CMOS MEMS PROCESS IN STANDARD SILICON WAFERS, IEEE MEMS 2007:20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2007, 
(172) MICRO/NANO-FRICTION AND THERMAL-MECHANICAL PROPERTIES OF POLYMER THIN-FILM INVESTIGATED WITH AN INTEGRATED SPM PROBE ARRAY, Transducers’07:The 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2007, 
(173) Ng/ml-LEVEL ALPHA-FETOPROTEIN IMMUNO-DETECTION WITH TORSION-MODE CANTILEVER SENSORS FOR EARLY-STAGE HEPTOCELLULAR CARCINOMA DIAGNOSIS,, Transducers’07---The 14th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, 2007, 
(174) 单片集成的高性能压阻式三轴高g加速度计的设计、制造和测试, Design, Fabrication, and Characterization of a High-Performance Monolithic Triaxial Piezoresistive High-g Accelerometer, 半导体学报, 2007, 第 2 作者
(175) 基于原子力显微镜的微纳结构力学测试系统, MECHANICAL MEASUREMENT SYSTEM FOR MICRO-NANO STRUCTURE BASED ON ATOMIC FORCE MICROSCOPY, 机械强度, 2007, 第 2 作者
(176) 基于锁相环接口电路的高性能扭转谐振模态微悬臂梁传感器研究, High Performance Torsional Resonant Microcantilever Beam Based on Phase-Locked Loop Interface Circuit, 传感技术学报, 2007, 第 2 作者
(177) MEMS Vertical Probe Cards with Both Line-arrayed and Area-arrayed Ultra-dense Metal Tips for Wafer-level IC Testin, IEDM 2008:54thIEEE International Electron Device Meeting, 2007, 
(178) Variable Capacitors and Tunable LC-Tanks Formed by CMOS-Compatible Metal MEMS for RF ICs, IEDM 2007:53rd IEEE International Electron Device Meeting, 2007, 第 2 作者
(179) A cost-effective flexible MEMS technique for temperature sensing, MICROELECTRONICS JOURNAL, 2007, 第 3 作者
(180) High-performance CMOS-compatible solenoidal transformers with a concave-suspended configuration, IEEE TRANSACTIONS ON MICROWAVE THEORY AND TECHNIQUES, 2007, 第 2 作者
(181) 微机械悬臂梁中的机械噪声机制分析, Noise Mechanisms in Micromechanical Cantilever, 传感技术学报, 2007, 第 2 作者
(182) Four-cantilever trace explosive sensors with dual SAMS functionalized for specific-sensing improvement and nonspecificadsorption depression, TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 2007, 通讯作者
(183) 基于阴极新结构的高性能自呼吸式MEMS微型氢/空气燃料电池, High Performance Air-Breathing MEMS H2/Air Micro Fuel Cell Based on New Cathode Structure, 应用化学, 2007, 第 5 作者
(184) 用于化学气体检测的压阻检测式二氧化硅微悬臂梁传感器, Piezoresistive Silicon Dioxide Micorcantilever Sensor for Chemical Gas Detection, 传感技术学报, 2007, 第 2 作者
(185) Micro/nano-friction and thermal - Mechanical properties of polymer thin-film investigated with an integrated spm probe array, TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 2007, 第 3 作者
(186) 开关点电可调节的MEMS冲击加速度锁定开关, MEMS Shocking-Acceleration Switch with Threshold Modulating and On-State Latching Function, 半导体学报, 2007, 第 2 作者
(187) 集成悬臂梁/探针阵列在PMMA薄膜上微纳摩擦的尺寸和温度效应, Tip size- effect and temperature- effect on PMMA film friction by using an integrated MEMS probe array, 功能材料与器件学报, 2007, 第 3 作者
(188) 先进体硅机械加工技术——从微米到纳米, 第一届长三角地区传感技术学术交流会论文集, 2006, 第 1 作者
(189) 悬臂梁式MEMS探卡的设计和制造, Design and Fabrication of Cantilever MEMS Probe Card, 仪表技术与传感器, 2006, 第 3 作者
(190) 新型纳机电热探针阵列器件数据存储技术研究, Data storage technology for a novel nanomechanical electro-thermal probe array, 仪器仪表学报, 2006, 第 4 作者
(191) A single-wafer-processed XY-Stage fabricated with trench-sidewall doping and refilled-trench isolating technology, 2006 1ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, VOLS 1-3, 2006, 第 2 作者
(192) MEMS微型质子交换膜燃料电池的阴极极板模型研究与优化设计, 传感技术学报, 2006, 第 2 作者
(193) 微悬臂梁法向弹性系数的标定方法与分析, Normal Spring Constant Calibration Methods and Analysis of Microcantilever, 测试技术学报, 2006, 第 2 作者
(194) MEMS高量程加速度传感器压膜阻尼效果分析, Analysis on the Squeeze-film Damping Effects of a Novel High Accelerometer, 电子元件与材料, 2006, 第 2 作者
(195) 用微机电系统技术制微型PEMFC及其性能研究, Stady on the performance of μPEMFC with MEMS technology, 电源技术, 2006, 第 6 作者
(196) 高阶谐振模态的超高质量分辨硅微悬臂梁压阻传感器, Micromachined High Mode Resonant Piezoresistive Cantilever Sensor with Ultrahigh Mass-Sensing Resolution, 半导体学报, 2006, 第 2 作者
(197) 传感技术联合国家重点实验室的MEMS及传感器工作, 第一届长三角地区传感技术学术交流会论文集, 2006, 第 3 作者
(198) 曲面保护高量程加速度传感器阻尼特性研究, 光电工程, 2006, 第 2 作者
(199) 基于MEMS工艺制作的硅纳米线及其电学性质, Silicon Nanowires Fabricated by MEMS Technology and Their Electronic Performance, 半导体学报, 2006, 第 5 作者
(200) 一种新结构硅微机械压阻加速度计, A New Structure Silicon Piezoresistive Micromachined Accelerometer, 传感技术学报, 2005, 第 2 作者
(201) 大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性, 半导体学报, 2005, 第 7 作者
(202) 新型侧壁绝缘体硅微机械工艺, 仪表技术与传感器, 2005, 第 2 作者
(203) 硅KOH腐蚀〈100〉晶向凸角补偿技术及应用, 传感器技术, 2005, 第 2 作者
(204) 基于柔性MEMS皮肤技术温度传感器阵列的研究, A temperature sensor array based on flexible MEMS skin technology, 光学精密工程, 2005, 第 3 作者
(205) 压阻式微机械陀螺接口电路的数学原理, Math principles for piezoresistive MEMS gyroscopes interface circuits, 传感器技术, 2005, 第 2 作者
(206) 高量程MEMS加速度计封装工艺研究, 传感器技术, 2005, 第 5 作者
(207) 原子力显微镜中微悬臂梁/探针横向力的标定, 测试技术学报, 2005, 第 2 作者
(208) NEMS谐振器的研究与分析, 电子器件, 2005, 第 4 作者
(209) 集成硅纳米线制造技术及其电学性质研究, Silicon Nanowires Fabricated by MEMS Technology, 中国机械工程, 2005, 第 4 作者
(210) Art and Science——微纳传感器和微纳机电系统技术, 中国力学学会学术大会'2005论文摘要集(下), 2005, 第 1 作者
(211) 微梁直拉直压结构压阻微机械陀螺及制作方法, 科技开发动态, 2005, 第 1 作者
(212) 基于NEMS技术的硅基纳机电探针阵列器件研究, Nanomechanical Eelectro-Thermal Probe Array Based on NEMS Technology, 传感技术学报, 2005, 第 4 作者
(213) 用于超高密度存储的硅基纳机电探针阵列器件研制, Fabrication of Nanomechanical Electro-thermal Probe Array for Ultrahigh Density Storage, 真空科学与技术学报, 2005, 第 3 作者
(214) 从微到纳尺度缩小进程中的传感器技术应对方略探讨, 第九届全国敏感元件与传感器学术会议论文集, 2005, 第 1 作者
(215) 带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器, 半导体学报, 2005, 第 2 作者
(216) 灌封胶封装对高量程MEMS加速度计动态性能的影响, 半导体学报, 2005, 第 4 作者
(217) 微型氢气/空气自呼吸式质子交换膜燃料电池, 高等学校化学学报, 2004, 第 6 作者
(218) 基于MEMS技术微型质子交换膜燃料电池, 第二十六届全国化学与物理电源学术年会论文集, 2004, 第 6 作者
(219) 等离子体沉积碳氟聚合物薄膜的纳米摩擦性能研究, 摩擦学学报, 2004, 第 5 作者
(220) 一种基于滑膜阻尼效应的新型微机械陀螺, 中国机械工程, 2004, 第 6 作者
(221) 纳机电探针阵列与压阻式传感器集成技术研究, 传感器技术, 2004, 第 3 作者
(222) 高量程MEMS加速度计灌封后的动态响应, 功能材料与器件学报, 2004, 第 4 作者
(223) 硅基纳机电探针及其敏感和执行特性, 半导体学报, 2004, 第 2 作者
(224) 传感技术国家联合重点实验室十六年工作启示, 第八届敏感元件与传感器学术会议论文集, 2003, 第 3 作者
(225) 电磁驱动电容检测硅微机械陀螺设计, 第八届敏感元件与传感器学术会议论文集, 2003, 第 3 作者
(226) 曲面过载保护的新型高g值冲击硅微机械加速度传感器的设计, 机械强度, 2003, 第 2 作者
(227) 电磁驱动电容检测微机械陀螺的设计, 中国微米/纳米第六届学术年会论文集, 2003, 第 3 作者
(228) 电磁驱动电容检测力平衡式微机械陀螺的接口电路, 第八届敏感元件与传感器学术会议论文集, 2003, 第 3 作者
(229) 一种微梁直拉直压高灵敏度高带宽微机械压阻式加速度传感器, 第八届敏感元件与传感器学术会议论文集, 2003, 第 2 作者
(230) 曲面贴合过载保护的硅微加速度传感器及制造方法, 2002, 第 1 作者
(231) 测定硅各向异性腐蚀速率分布的新方法, 半导体学报, 2000, 第 6 作者
(232) 静电力作用下微机械结构的位移特性分析, 复旦学报:自然科学版, 1999, 第 2 作者
(233) 硅多层微机械结构无掩模腐蚀新技术及在力敏结构制作中的应用, 半导体技术, 1998, 第 1 作者
(234) 无掩模腐蚀下的凸角削角及补偿研究, 传感技术学报, 1998, 第 1 作者
(235) 形成硅多层微机械结构的“掩模—无掩模”腐蚀新技术, 半导体学报, 1997, 第 4 作者
(236) 单面多层结构硅微压传感器的研制, 传感技术学报, 1997, 第 1 作者
(237) 采用快速微分输出贩氯气传感器, 半导体技术, 1997, 第 1 作者
(238) KOH溶液无掩膜腐蚀加工硅对称梁技术研究, 半导体学报, 1996, 第 3 作者
(239) 实现线性输出的单面推挽式硅电容压力传感器, 复旦学报:自然科学版, 1996, 第 2 作者
(240) 无掩模腐蚀工艺对硅电容力敏结构的改进, 传感技术学报, 1996, 第 2 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 基于智能化能量获取的自供能自主报警无线传感节点技术, 负责人, 国家任务, 2019-01--2023-12
( 2 ) 基于微纳谐振敏感效应的界面分子作用热力学/动力学参数提取与材料特性评估装置, 负责人, 国家任务, 2016-01--2020-12
( 3 ) 功能纳米结构与理化性质关联跨尺度表征测量及应用验证, 负责人, 国家任务, 2016-07--2021-07
( 4 ) 微纳一体化集成超灵敏生化传感器研究, 负责人, 国家任务, 2021-12--2024-11