基本信息
汤益丹 女 中国科学院微电子研究所
电子邮件: tangyidan@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码:
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研究领域
宽禁带半导体器件及电路研发
招生信息
招收有兴趣在宽禁带半导体器件及电路等领域开展设计、工艺、可靠性等研究的研究生
招生专业
080903-微电子学与固体电子学085400-电子信息080902-电路与系统
招生方向
宽禁带半导体器件及电路研发半导体缺陷工程
教育背景
2016-09--2020-01 中国科学院大学 工学博士2007-09--2010-06 北京工业大学 工学硕士2003-09--2007-06 湖南师范大学 学士
学历
博士研究生
学位
工学博士
工作经历
工作简历
2023-01~现在, 中国科学院微电子研究所, 青年研究员2020-07~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员2013-10~2020-07,中国科学院微电子研究所, 助理研究员2010-07~2013-10,中国科学院微电子研究所, 研究实习员
专利与奖励
奖励信息
(1) 高电流密度SiC电力电子器件关键技术及应用, 二等奖, 省级, 2019(2) SiC电力电子器件关键技术及应用, 省级, 2018
专利成果
( 1 ) SEMICONDUCTOR DEVICE AND PREPARATION METHOD THERE OF, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: US 11,508,809( 2 ) 半导体器件及其制备方法, 专利授权, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN109216436B( 3 ) SiC氧化中SiC-SiO2界面碳杂质类型与位置分布的测定方法, 专利授权, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN109540969B( 4 ) 一种SiC功率MOSFET器件, 发明专利, 2020, 第 6 作者, 专利号: CN112103345A( 5 ) Method for manufacturing grooved MOSFET device based on two-step microwave plasma oxidation, 发明专利, 2020, 第 2 作者, 专利号: US10763105(B2)( 6 ) Microwave plasma generating device for plasma oxidation of SiC, 发明专利, 2020, 第 2 作者, 专利号: US10734199(B2)( 7 ) 一种沟槽型MOSFET结构及其制作方法, 发明专利, 2020, 第 6 作者, 专利号: CN111403486A( 8 ) Silicon carbide MOSFET device and method for manufacturing the same, 发明专利, 2020, 第 1 作者, 专利号: US10680067(B2)( 9 ) 微波等离子体装置及等离子体激发方法, 发明专利, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN110049614A( 10 ) 一种双沟槽SS-SiC MOSFET结构, 发明专利, 2019, 第 6 作者, 专利号: CN109768091A( 11 ) 一种4H-SiC MOSFET功率器件及其制造方法, 发明专利, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN109616523A( 12 ) 一种碳化硅双沟槽MOSFET器件有源区的制备方法, 发明专利, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN109545855A( 13 ) SiC氧化中SiC-SiO 2 界面碳杂质类型与位置分布的测定方法, 发明专利, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN109540969A( 14 ) 基于交流电压下微波等离子体氧化的凹槽MOSFET器件制造方法, 专利授权, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN109545687A( 15 ) 基于交流电压下微波等离子体的碳化硅氧化方法, 专利授权, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN109494147A( 16 ) 一种环形温度传感器, 专利授权, 2019, 第 7 作者, 专利号: CN109341880A( 17 ) 紫外探测器及其制备方法, 发明专利, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN109301007A( 18 ) 紫外探测器及其制备方法, 发明专利, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN109301007A( 19 ) SiC氧化中SiC-SiO 2 界面碳残留浓度的测定方法及其应用, 发明专利, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN109283298A( 20 ) 具有微孔微纳结构双耦合谐振腔的微波等离子体发生装置, 专利授权, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN108770174A( 21 ) 基于两步微波等离子体氧化的凹槽MOSFET器件的制造方法, 专利授权, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN108766887A( 22 ) 用于微波等离子体发生装置的微孔微纳结构双耦合谐振腔, 专利授权, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN108770175A( 23 ) 基于微波等离子体氧化的凹槽MOSFET器件的制造方法, 发明专利, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN108735607A( 24 ) 基于微波等离子体氧化的凹槽MOSFET器件的制造方法, 发明专利, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN108735607A( 25 ) 用于SiC等离子体氧化的微波等离子体发生装置, 专利授权, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN108735570A( 26 ) 基于两步微波等离子体氧化的碳化硅氧化方法, 专利授权, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN108666206A( 27 ) RC-IGBT器件及其制备方法, 专利授权, 2018, 第 7 作者, 专利号: CN108649068A( 28 ) 基于微波等离子体的碳化硅氧化方法, 发明专利, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN108584963A( 29 ) 具有CSL输运层的SiC沟槽结势垒肖特基二极管及其制作方法, 专利授权, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108346688A( 30 ) 超级结肖特基二极管与其制作方法, 发明专利, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108336129A( 31 ) SiC衬底的图形化方法, 发明专利, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108063088A( 32 ) 一种碳化硅功率器件终端结构及其制作方法, 发明专利, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN107731905A( 33 ) 一种碳化硅器件及其制作方法, 发明专利, 2018, 第 7 作者, 专利号: CN107658215A( 34 ) 一种碳化硅功率器件终端及其制作方法, 发明专利, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN107658213A( 35 ) 一种碳化硅器件终端及其制作方法, 发明专利, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN107507859A( 36 ) 一种沟槽结势垒肖特基二极管及其制作方法, 专利授权, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN107331616A( 37 ) 碳化硅功率器件终端及其制作方法, 发明专利, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN107293599A( 38 ) 一种基于台面多区复合JTE终端结构的器件及其制作方法, 发明专利, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN107275382A( 39 ) 碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管, 发明专利, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN104409501B( 40 ) 碳化硅金属氧化物半导体场效应管及其制作方法, 专利授权, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN106206323A( 41 ) 一种碳化硅结势垒肖特基二极管及其制作方法, 发明专利, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN106158985A( 42 ) 一种碳化硅双极结型晶体管, 专利授权, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN105957886A( 43 ) 一种氧化硅的各向异性湿法腐蚀工艺中控制倾角的方法, 发明专利, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN105225943A( 44 ) 一种沟道自对准的碳化硅MOSFET结构及其制造方法, 发明专利, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN105185831A( 45 ) 碳化硅MOSFET器件及其制作方法, 发明专利, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN105161539A( 46 ) 一种碳化硅MOSFET沟道自对准工艺实现方法, 发明专利, 2015, 第 5 作者, 专利号: CN105070663A( 47 ) 一种场限环结终端结构的优化设计方法, 发明专利, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104409477A( 48 ) 碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管, 实用新型, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN104409501A( 49 ) 一种插入层复合结构及其制作方法, 发明专利, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104393031A( 50 ) 一种宽禁带功率器件场板的制造方法, 发明专利, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN103606515A( 51 ) 一种在SiC衬底背面制备欧姆接触的方法, 发明专利, 2014, 第 4 作者, 专利号: CN103578960A( 52 ) 一种SiC肖特基二极管及其制作方法, 发明专利, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN103579375A( 53 ) 带有选择性截止层的碳化硅高温离子注入掩模的制造方法, 发明专利, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN103578942A( 54 ) 一种精确控制碳化硅高温离子注入掩模陡直性的方法, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103560078A( 55 ) 防止钝化层过刻蚀的方法, 发明专利, 2013, 第 4 作者, 专利号: CN103021840A( 56 ) 一种SiC肖特基二极管及其制作方法, 发明专利, 2013, 第 4 作者, 专利号: CN103000697A( 57 ) 一种SiC结势垒肖特基二极管及其制作方法, 发明专利, 2013, 第 4 作者, 专利号: CN103000698A( 58 ) 一种测量高Al组分AlGaN材料刻蚀诱生界面态参数的方法, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN102944588A( 59 ) 一种具有增益的紫外探测器结构及其制备方法, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN102931272A( 60 ) 一种实现P型SiC材料低温欧姆合金退火的方法, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN102931054A( 61 ) 用于P-SiC欧姆接触的界面过渡层复合结构及其制备方法, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN102931224A( 62 ) 一种TiO 2 光催化消解装置及其制备方法, 发明专利, 2012, 第 7 作者, 专利号: CN102824902A( 63 ) 一种TiO 2 光催化消解装置及其制备方法, 发明专利, 2012, 第 7 作者, 专利号: CN102824902A( 64 ) 一种在SiC材料上生长SiO 2 钝化层的方法, 发明专利, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN102810465A( 65 ) 一种在SiC材料上生长SiO 2 钝化层的方法, 发明专利, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN102810465A( 66 ) 一种三层复合离子注入阻挡层及其制备、去除方法, 发明专利, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN102496559A( 67 ) 多能离子注入实现阶梯状掺杂浓度分布的方法, 发明专利, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102446721A( 68 ) SiC结势垒肖特基二极管及其制作方法, 发明专利, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN102437201A( 69 ) SiC肖特基二极管及其制作方法, 发明专利, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN102376779A
出版信息
发表论文
(1) Deep-Learning-Enhanced Single-Spin Readout in Silicon Carbide at Room Temperature, PHYSICAL REVIEW APPLIED, 2022, 第 9 作者(2) A 1200 V SiC Trench MOSFET with a Laterally Widened P-Shield Region to Enhance the Short-Circuit Ruggedness, ELECTRONICS, 2022, 第 7 作者(3) Analysis of Defects and Electrical Characteristics of Variable-Temperature Proton-Irradiated 4H-SiC JBS Diodes, ELECTRONICS, 2022, 通讯作者(4) Bias Temperature Instability of 4H-SiC p- and n-Channel MOSFETs Induced by Negative Stress at 200 degrees C, IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 2022, 第 5 作者(5) Schottky Barrier Characteristic Analysis on 4H-SiC Schottky Barrier Diodes With Heavy Ion-Induced Degradation, IEEE TRANSACTIONS ON NUCLEAR SCIENCE, 2022, 第 6 作者(6) Analysis of Transient Surge Current Mechanism in SiC MPS Diode With the Transition Region, IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 2021, 通讯作者(7) A Novel 4H-SiC Trench MOSFET Integrated With Mesa-Sidewall SBD, IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 2021, 第 9 作者(8) Improved electrical properties of NO-nitrided SiC/SiO2 interface after electron irradiation, Improved electrical properties of NO-nitrided SiC/SiO(2)interface after electron irradiation*, CHINESE PHYSICS B, 2020, 第 5 作者(9) High-mobility SiC MOSFET with low density of interface traps using high pressure microwave plasma oxidation, High-mobility SiC MOSFET with low density of interface traps using high pressure microwave plasma oxidation, CHINESE PHYSICS B, 2020, 第 5 作者(10) Electro-thermal Analysis of 1.2kV-100A SiC JBS Diodes Under Surge Current Stress, 2019 16TH CHINA INTERNATIONAL FORUM ON SOLID STATE LIGHTING & 2019 INTERNATIONAL FORUM ON WIDE BANDGAP SEMICONDUCTORS CHINA (SSLCHINA: IFWS), 2019, 通讯作者(11) Defects and electrical properties in Al-implanted 4H-SiC after activation annealing, CHINESE PHYSICS B, 2019, 通讯作者(12) Degradation in electrothermal characteristics of 4H-SiC junction barrier Schottky diodes under high temperature power cycling stress, MICROELECTRONICS RELIABILITY, 2019, 通讯作者(13) Analysis of the inhomogeneous barrier and phase composition of W/4H-SiC Schottky contacts formed at different annealing temperatures, Analysis of the inhomogeneous barrier and phase composition of W/4H-SiC Schottky contacts formed at different annealing temperatures, 中国物理B:英文版, 2018, 第 3 作者(14) 1200 V/100 A高温大电流4H-SiC JBS器件的研制, Development of 1 200 V/100 A High Temperature High Current 4H-SiC JBS Diodes, 半导体技术, 2018, 第 1 作者(15) Analysis of the inhomogeneous barrier and phase composition of W/4H-SiC Schottky contacts formed at different annealing temperatures, CHINESE PHYSICS B, 2018, 第 3 作者(16) 不同退火温度下Mo/4H-SiC肖特基接触界面特性分析, Analysis of Interface Properities of Mo/4H-SiC Schottky Contacts at Different Annealing Temperatures, 半导体技术, 2018, 第 4 作者(17) 4H-SiC沟槽结势垒二极管研制, Development of 4H-SiC trench junction barrier Schottky diodes, 电工电能新技术, 2018, 第 1 作者(18) High temperature 1 MHz capacitance-voltage method for evaluation of border traps in 4H-SiC MOS system, JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2018, 第 4 作者(19) 不同退火温度下Mo/4H-SiC肖特基接触势垒不均匀及XRD分析, Analysis of the Inhomogeneous Barrier and XRD of Mo/4H-SiC Schottky Contacts Formed at Different Annealing Temperatures, 微纳电子技术, 2018, 第 4 作者
科研活动
科研项目
( 1 ) 宽禁带SiC器件及电路研制及特性研究, 负责人, 国家任务, 2021-10--2026-12( 2 ) 中高压 SiC 超级结电荷平衡理论研究及器件研制, 负责人, 国家任务, 2021-12--2025-11( 3 ) 高功率密度SiC器件及模块热电特性及可靠性研究, 负责人, 地方任务, 2022-01--2024-12( 4 ) 轨道交通用SiC 器件/模块可靠性评估研究, 负责人, 地方任务, 2019-11--2023-06( 5 ) SiC SBD关键制造技术开发, 负责人, 国家任务, 2013-01--2019-12