等离子体，原子尺度制造，超精密加工及检测，超精密抛光

   

080201-机械制造及其自动化

原子及近原子尺度制造

2018-09--2023-01   天津大学   博士
2016-09--2018-06   天津大学   硕士
2012-09--2016-06   东南大学   本科

   

2026-02~现在, 中科院宁波材料技术与工程研究所, 副研究员
2023-02~2026-02,天津大学, 博士后

   

（1） 原子级制造未来产业战略研究嘉奖信, 部委级, 2025
（2） 原子级制造、智能传感器及仪器仪表领域创新发展战略研究嘉奖信, 部委级, 2025
（3） 2023年国家资助博士后计划B类, 专项, 2023
（4） The 5th AET Symposium on ACSM and Digital Manufacturing国际会议最佳论文奖, 其他, 2023
（5） 天津大学优秀博士论文基金天津大学优秀博士论文, 研究所（学校）, 2023
（6） 2023年度精密测试技术与仪器全国重点实验室年度成果, 省级, 2023
（7） 第十一届全国仪器科学与技术学科博士生论坛优秀论文奖, 国家级, 2021
（8） 天津大学优博基金, 研究所（学校）, 2021

（ 1 ） 一种基于激光增强等离子体的硅基材料高效超光滑表面加工方法, 发明专利, 2025, 第 1 作者, 专利号: CN202510823697.0

（ 2 ） 一种晶体材料的加工方法及加工而成的晶体, 发明专利, 2025, 第 1 作者, 专利号: CN202510823694.7

（ 3 ） 一种基于表层区域熔炼调控杂质分布进而提升金属表面加工质量的方法, 发明授权, 2024, 第 2 作者, 专利号: CN114178788B

（ 4 ） 一种光学晶体的溶液辅助超精密加工方法及装置, 发明专利, 2024, 第 3 作者, 专利号: 202410652666.9

（ 5 ） 一种基于反射系数测量的自动阻抗匹配系统及方法及应用, 发明专利, 2023, 第 3 作者, 专利号: 202310104818.7

（ 6 ） 一种基于等离子体改性提升软质金属表面加工质量的方法, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN113862593A

（ 7 ） 一种等离子体改性及刻蚀一体化晶体超光滑表面加工方法, 专利授权, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN111549379B

（ 8 ） 激光晶体等离子体改性刻蚀辅助抛光加工方法, 发明专利, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN108166066A

（ 9 ） 激光晶体等离子体辅助刻蚀加工方法, 发明专利, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN106541506B

（ 10 ） 激光晶体等离子体辅助刻蚀加工PaE方法, 发明专利, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN106541506A

   

（1） Nearly Damage-Free Laser Crystal Processing by Integrating Inductively Coupled Plasma Modification with Low-Pressure Polishing, Nanomanufacturing and Metrology, 2026, 
（2） Polishing of fused silica by laser-enhanced plasma at the atomic and close-to-atomic scale, CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY, 2025, 
（3） 原子精度制造新原理和新方法, New Mechanisms and Methods for Atomic Precision Manufacturing, 中国科学基金, 2024, 第 18 作者
（4） Nanometric cutting of plasma modified polycrystalline tin, CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY, 2024, 
（5） 制造发展的三个范式：制造发展规律的研究, The Three Paradigms of Manufacturing Advancement:Law of Manufacturing Development, 中国科学基金, 2024, 第 4 作者
（6） Atomic and close-to-atomic scale polishing of Lu2O3 by plasma-assisted etching, INTERNATIONAL JOURNAL OF MECHANICAL SCIENCES, 2023, 
（7） Sub-nanometer finishing of polycrystalline tin by inductively coupled plasma-assisted cutting, Sub-nanometer finishing of polycrystalline tin by inductively coupled plasma-assisted cutting, FRONTIERS OF MECHANICAL ENGINEERING, 2023, 
（8） Plasma-assisted cutting for impurity reconstruction of an as-cast cerium–lanthanum alloy, CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY, 2023, 
（9） Damage-free finishing of Lu2O3 by combining plasma-assisted etching and low-pressure polishing, CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY, 2022, 
（10） Ultra-smooth finishing of single-crystal lutetium oxide by plasma-assisted etching, Precision Engineering, 2021, 第 1 作者
（11） Study on ultra-smooth finishing of lutetium oxide single crystal using plasma-assisted polishing, Smart Innovation, Systems and Technologies, 2021, 第 1 作者
（12） Nanometric polishing of lutetium oxide by plasma-assisted etching, Adv. Manuf., 2020, 

   

（ 1 ） 复合能场原子尺度调平仪, 负责人, 中国科学院计划, 2026-04--2029-04
（ 2 ） 软质多晶金属电感耦合等离子体辅助超精密加工关键技术的研究, 负责人, 国家任务, 2024-01--2026-12

（1）Atomic and close-to-atomic scale polishing of fused silica by laser-enhanced plasma   第21届中国国际制造会议   2025-10-23
（2）Polishing of fused silica by laser-enhanced plasma at the atomic and close-to-atomic scale   2025-08-19
（3）A new method for plasma-assisted cutting of soft polycrystalline metals   第三届制造范式III国际论坛   2025-05-17
（4）Nanometric cutting of plasma modified polycrystalline tin   2024-08-19
（5）Damage-free finishing of Lu2O3 by combining plasma-assisted etching and low-pressure polishing   2022-08-22