EUV掩模缺陷成像分析；软X射线相干衍射成像；软X射线原位吸收谱技术平台研制；自由电子激光光束丢束诊断装置研制；

1、EUV掩模缺陷成像分析；

2、软X射线相干衍射成像；

3、软X射线吸收谱技术分析

4、自由电子激光丢束诊断；

070207-光学
080300-光学工程

软X射线相干衍射成像
EUV掩模缺陷检测和分析
自由电子激光丢束诊断

2009-09--2013-06   中国科学院上海应用物理研究所   博士研究生
2006-09--2009-07   四川大学   硕士研究生
2002-09--2006-07   洛阳师范学院   学士学位

博士研究生

博士

   

2018-10~现在, 中国科学院上海高等研究院, 助理研究员、副研究员
2013-06~2018-09,中国科学院上海应用物理研究所, 助理研究员

   

（ 1 ） 一种自动采集吸收谱实验数据的控制方法, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112763432A

（ 2 ） 一种紧凑式多功能真空实验系统, 发明专利, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111965110A

   

（1） Automatic Feedback System for X-ray Flux at BL08U1A Soft X-ray Spectromicroscopy Beamline of Shanghai Synchrotron Radiation Facility, APPLIED SCIENCES, 2023, 第 2 作者
（2） Coupling thermophilic composting and vermicomposting processes to remove Cr from biogas residues and produce high value-added biofertilizers, BIORESOURCE TECHNOLOGY, 2021, 第 3 作者
（3） Stress-coefficient of magnetoelastic anisotropy in flexible Fe, Co and Ni thin films, JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS, 2020, 第 8 作者
（4） Cu-Doped P2-Na0.7Mn0.9Cu0.1O2 Sodium-Ion Battery Cathode with Enhanced Electrochemical Performance: Insight from Water Sensitivity and Surface Mn(II) Formation Studies, ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES, 2020, 第 2 作者
（5） A portable data-collection system for soft x-ray absorption spectroscopy in the Shanghai Synchrotron Radiation Facility, REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2020, 第 7 作者
（6） Effect of lignin degradation product sinapyl alcohol on laccase catalysis during lignin degradation, INDUSTRIAL CROPS & PRODUCTS, 2019, 第 4 作者
（7） Soft x-ray spectroscopic endstation at beamline 08U1A of Shanghai Synchrotron Radiation Facility, REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2019, 第 1 作者
（8） Effect of lignin degradation product sinapyl alcohol on laccase catalysis during lignin degradation, INDUSTRIAL CROPS AND PRODUCTS, 2019, 第 4 作者
（9） 软X射线光子关联谱装置设计, Design of soft X-ray photon correlation spectroscopy device, 核技术, 2019, 第 5 作者
（10） Soft X-ray Spectro-Ptychography for Air Pollution Particulates, Microscopy and Microanalysis, 2018, 第 1 作者
（11） Spatially correlated coherent diffractive imaging method, APPLIED OPTICS, 2018, 第 3 作者
（12） Phase-retrieval-based synchrotron X-ray micro-tomography for 3D structural characterization and quantitative analysis of agalloch eaglewood, WOOD SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2018, 通讯作者
（13） Background noise removal in x-ray ptychography, APPLIED OPTICS, 2017, 第 3 作者
（14） Soft X-ray ptychography method at SSRF, Soft X-ray ptychography method at SSRF, 核技术(英文版), 2017, 第 3 作者
（15） Influence of symmetry and duty cycles on the pattern generation in achromatic Talbot lithography, JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2017, 第 6 作者
（16） Robust phase-retrieval-based X-ray tomography for morphological assessment of early hepatic echinococcosis infection in rats, PLOS ONE, 2017, 通讯作者
（17） Effects of temperature, mechanical motion and source positional jitter on the resolving power of beamline 02B at the SSRF, JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION, 2017, 通讯作者
（18） Soft X-ray ptychography method at SSRF, NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES, 2017, 第 3 作者
（19） Development of broadband X-ray interference lithography large area exposure system, REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2016, 第 5 作者
（20） Developments at SSRF in soft X-ray interference lithography, NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES, 2015, 第 5 作者
（21） Outgassing analysis of molecular glass photoresists under EUV irradiation, SCIENCE CHINA-CHEMISTRY, 2014, 第 9 作者
（22） Effects of missing low-frequency information on ptychographic and plane-wave coherent diffraction imaging, APPLIED OPTICS, 2013, 第 1 作者
（23） 中心挡板对扫描相干X射线衍射成像的影响, Influence of central beamstop on ptychographic coherent diffractive imaging, ACTA PHYSICA SINICA, 2013, 第 1 作者
（24） 中心挡板对扫描相干X射线衍射成像的影响, Influence of central beamstop on ptychographic coherent diffractive imaging, ACTA PHYSICA SINICA, 2013, 第 1 作者
（25） 同步辐射X射线光斑信息对扫描相干衍射成像的影响, 辐射研究与辐射工艺学报, 2013, 第 1 作者
（26） CT断层图像重建的新滤波函数, A new Type of Filter Function for CT Image Reconstruction, 核电子学与探测技术, 2012, 第 4 作者
（27） 基于X射线相干衍射成像的元素分布成像, Three-dimension elemental mapping based on coherent X-ray diffraction imaging, 核技术, 2012, 第 3 作者
（28） 基于上海光源扫描透射X射线显微术的相干衍射成像模拟, Simulation of Coherent Diffraction Imaging Based on Scanning Transimission X-Ray Microscopy of Shanghai Synchrotron Radiation Facility, 光学学报, 2011, 第 2 作者

   

（ 1 ） 纳米分辨的多功能软X射线扫描相干衍射成像技术研究, 负责人, 国家任务, 2022-01--2025-12
（ 2 ） 新型极性金属薄膜的共振X射线谱学研究, 负责人, 国家任务, 2021-01--2023-12
（ 3 ） 高通量 X 射线自由电子激光活细胞单脉冲成像技术体系, 负责人, 国家任务, 2022-12--2027-11
（ 4 ） 基于同步辐射光源的扫描菲涅耳相干衍射成像方法学研究, 负责人, 国家任务, 2016-01--2018-12
（ 5 ） 跨空间尺度原位同步辐射成像技术, 参与, 国家任务, 2022-01--2026-12
（ 6 ） 上海光源EUV掩模检测系统维修改造, 参与, 中国科学院计划, 2022-01--2024-12
（ 7 ） 新型磁敏感材料的制备与物性调控, 参与, 地方任务, 2018-08--2021-07
（ 8 ） 软X射线波带片性能测试, 负责人, 其他国际合作项目, 2019-07--2024-07

   

上海科技大学；

同济大学；

中国科学院宁波材料技术与工程研究所；

中国科学院微电子研究所；