080300-光学工程

大口径衍射器件制造及应用
精密位移测量技术

2012-09--2017-06   中国科学院大学   博士
2008-09--2012-06   兰州大学   学士

   

2021-09~现在, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 副研究员
2017-07~2021-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 助理研究员
2012-09~2017-06,中国科学院大学, 博士
2008-09~2012-06,兰州大学, 学士

   

（1） 吉林省科技进步一等奖, 一等奖, 省级, 2022

（ 1 ） 轴承跳动测量装置, 2022, 第 3 作者, 专利号: 202210850761.0

（ 2 ） 一种刀具颤振状态的在线检测装置, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN113932909A

（ 3 ） 锥面衍射式光栅位移测量装置及测量方法, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN113819846A

（ 4 ） 光栅位移测量装置, 2021, 第 7 作者, 专利号: CN112097652B

（ 5 ） 拼接光栅位移测量系统及测量方法, 2021, 第 6 作者, 专利号: CN112097644B

（ 6 ） 外差光栅位移测量光学系统, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN112097649B

（ 7 ） 光栅衍射效率测试装置, 2021, 第 8 作者, 专利号: CN113514230A

（ 8 ） 六维测量装置及方法, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN113465514A

（ 9 ） 外差光栅位移测量装置, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN112097647B

（ 10 ） 零差一维光栅位移测量装置, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN112484646A

（ 11 ） 外差二维光栅位移测量系统及测量方法, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN112097651A

（ 12 ） 外差光栅位移测量方法, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN112097650A

（ 13 ） 光栅位移测量方法, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN112097648A

（ 14 ） 一种二维平面全息光栅曝光装置, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN109870754A

（ 15 ） 一种位移与角度同步测量系统, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109632011A

（ 16 ） 一种位移与角度同步测量方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109632010A

（ 17 ） 一种平面全息光栅扫描曝光装置, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108415110A

（ 18 ） 应用于光刻系统工作台的位移测量光学系统, 2018, 第 7 作者, 专利号: CN108286943A

（ 19 ） 一种用于扫描干涉场曝光系统的光束姿态调整方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN107942426A

（ 20 ） 一种用于大面积光栅制造的涂布装置及方法, 2018, 第 6 作者, 专利号: CN107899891A

（ 21 ） 一种测量装置, 2018, 第 6 作者, 专利号: CN107687814A

（ 22 ） 长行程、高精度测量的光栅位移测量系统, 2018, 第 6 作者, 专利号: CN107655411A

（ 23 ） 基于衍射光栅的长行程、高精度位移测量系统, 2018, 第 6 作者, 专利号: CN107607045A

（ 24 ） 用于扫描干涉场曝光系统的精密光栅位移测量系统及方法, 2018, 第 5 作者, 专利号: CN107588728A

（ 25 ） 基于衍射光栅的长行程、高精度位移测量方法, 2017, 第 6 作者, 专利号: CN107462166A

（ 26 ） 长行程、高精度测量的光栅位移测量方法, 2017, 第 6 作者, 专利号: CN107462167A

   

（1） 二维光栅位移测量技术综述, Overview of 2D grating displacement measurement technology, 中国光学, 2020, 第 5 作者
（2） 五维自由度衍射光栅精密测量系统, Grating-based precision measurement system for five-dimensional measurement, 中国光学, 2020, 第 2 作者
（3） 五维自由度衍射光栅精密测量系统（英文）, 中国光学, 2020, 第 2 作者
（4） 应用于亚波长角向偏振金属光栅设计的快速收敛粒子群算法优化, Fast Convergent Particle Swarm Optimization Algorithm for Subwavelength Azimuthally Polarized Metal Grating Design, 光学学报, 2019, 第 4 作者
（5） Seya-Namioka单色仪中光栅曲率半径误差的影响及补偿, Effect and compensate of grating curvature radius error in Seya-Namioka monochromator, 中国光学, 2018, 第 4 作者
（6） Beam drift error and control technology for scanning beam interference lithography, APPLIED OPTICS, 2017, 
（7） Weighted iterative algorithm for beam alignment in scanning beam interference lithography, APPLIED OPTICS, 2017, 
（8） 扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计, 中国激光, 2017, 第 1 作者
（9） 扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制, 光学学报, 2017, 第 1 作者
（10） 基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统, 中国光学, 2017, 第 6 作者
（11） 罗兰光栅在光谱仪中对接收能量的影响分析, 光学技术, 2016, 第 4 作者
（12） 扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析, 中国激光, 2016, 第 1 作者
（13） 光栅-平面镜型可调式空间外差光谱仪, Tunable spatial heterodyne spectroscopy with grating-mirror structure, 光学精密工程, 2015, 第 5 作者

   

（ 1 ） 基于锥面衍射的高刻线密度光栅位移测量部件研究, 负责人, 地方任务, 2021-11--2023-10
（ 2 ） 亚波长高折射率差偏振光栅研制及产品化开发, 负责人, 地方任务, 2020-01--2021-12
（ 3 ） 多模态功能超分辨荧光显微关键技术研发, 负责人, 研究所自主部署, 2020-11--2022-10
（ 4 ） 紫外增强型数字微镜器件及控制系统开发, 负责人, 国家任务, 2022-11--2025-10
（ 5 ） 高损伤薄膜光学器件及大口径光栅制备及工艺研究, 参与, 国家任务, 2022-11--2025-10