基本信息
武志鹏  男  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件： wuzhipeng@ime.ac.cn
通信地址： 北京朝阳区北土城西路3号
邮政编码：

招生信息

   
招生专业
080902-电路与系统
140100-集成电路科学与工程
招生方向
先进光刻技术
图像处理与机器学习
超精密运动控制

教育背景

2007-09--2012-11   哈尔滨工业大学   博士
2005-09--2007-07   哈尔滨工业大学   硕士
2000-09--2004-07   燕山大学   本科

工作经历

   
工作简历
2020-07~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2013-03~2020-07,中国科学院微电子研究所, 助理研究员
2007-09~2012-11,哈尔滨工业大学, 博士
2005-09~2007-07,哈尔滨工业大学, 硕士
2000-09~2004-07,燕山大学, 本科

专利与奖励

   
专利成果
（ 1 ） 晶圆轮廓图的构造方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN111089539B

（ 2 ） 对焦传感器的校准方法, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN110940280B

（ 3 ） 一种用于同步控制的带有遗忘因子的迭代学习控制方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN111580466B

（ 4 ） 一种垂向调整装置, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104390605A

（ 5 ） 一种调焦调平传感器测量装置, 2014, 第 5 作者, 专利号: CN104181777A

出版信息

   
发表论文
（1） 基于迭代学习的掩模台与工件台同步控制, Synchronizing control of reticle and wafer stages using iterative learning control, 华中科技大学学报. 自然科学版, 2013, 第 1 作者
（2） 双工件台光刻机换台过程的轨迹规划及控制, Trajectory planning and control method for wafer stage exchange process of dual-stage lithography, 哈尔滨工业大学学报, 2013, 第 1 作者

科研活动

   
科研项目
（ 1 ） EUV光刻机离轴对焦技术研究与部件开发, 参与, 国家任务, 2018-01--2020-12
（ 2 ） 光刻精密对焦技术研究, 参与, 国家任务, 2017-01--2023-03
（ 3 ） 14nm浸没光刻套刻对准关键技术研究, 参与, 国家任务, 2018-10--2021-03