085400-电子信息

先进光学制造与信息工程
精密超精密加工

2012-09--2017-04   哈尔滨工业大学   工学博士

   

2021-08~现在, 中国科学院光电技术研究所, 副研究员
2017-08~2021-08,中国科学院光电技术研究所, 助理研究员
2012-09~2017-04,哈尔滨工业大学, 工学博士

   

（ 1 ） 一种适用于大口径光学元件的机器人等离子体加工装置, 2023, 第 3 作者, 专利号: CN116511667A

（ 2 ） 一种采用曲面电极改善大口径等离子体刻蚀均匀性的方法, 2023, 第 3 作者, 专利号: CN115579275A

（ 3 ） 一种基于油墨打印制作光学元件掩蔽层的方法, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN115128709A

（ 4 ） 一种用于光学元件刻蚀加工的掩蔽层制作方法, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN114942567A

（ 5 ） 一种制作连续浮雕菲涅尔透镜的方法, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN114815007A

（ 6 ） 一种制备超轻质菲涅尔透镜的方法, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN114594536A

（ 7 ） 一种适用于大口径光学元件的磁流变子孔径抛光装置, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN110722428B

（ 8 ） 适用于大口径光学元件的抛光液供给回收抛光工具头装置, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN110732933B

（ 9 ） 一种基于进气分布控制的等离子体密度分布调控方法, 2021, 第 8 作者, 专利号: CN113113283A

（ 10 ） 大口径整体式光学元件多机器人精密加工系统及方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN110732932B

（ 11 ） 基于跟踪仪的机器人用磁流变抛光工具头定标装置与方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112484640A

   

（1） A Review of Emerging Technologies in Ultra-Smooth Surface Processing for Optical Components, Micromachines, 2024, 通讯作者
（2） The Tailored Material Removal Distribution on Polyimide Membrane Can Be Obtained by Introducing Additional Electrodes, POLYMERS, 2023, 第 3 作者
（3） Morphology evolution of Vickers indentation in fused silica glass etched by atmospheric pressure plasma jet, CERAMICS INTERNATIONAL, 2022, 通讯作者
（4） A Prediction Method of the Removal Function for Inductively Coupled Atmospheric Pressure Plasma Processing Based on Jet Morphology Monitoring and Diagnosis, PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING, 2022, 第 4 作者
（5） Monitoring and diagnosis of the inductively coupled atmospheric pressure plasma jet for deterministic optical processing, OPTIK, 2020, 第 5 作者
（6） 大气感应耦合等离子体炬管的设计与仿真实验, Design and simulation experiment of an atmospheric inductively coupled plasma torch, 哈尔滨工业大学学报, 2020, 第 5 作者

   

（ 1 ） 光学零件等离子体射流加工去除函数多参数建模及其调控机制研究, 负责人, 国家任务, 2019-01--2022-12