080202-机械电子工程

高端装备精密光机结构设计、机电一体化技术研究

   

（ 1 ） 一种六自由度调整转台的控制方法, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN110968118B

（ 2 ） 一种多自由度位移平台控制解耦方法及装置, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111077774A

（ 3 ） 一种用于光刻机主支撑架框架板的安装装置, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111015577A

（ 4 ） 一种复杂机电系统的辨识控制方法和系统, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN110989357A

（ 5 ） 一种控制系统及设计方法, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN110879532A

（ 6 ） 一种六自由度运动平台的控制系统, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN110501958A

（ 7 ） 一种磁悬浮支撑装置, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110376707A

（ 8 ） 一种用于支撑光学元件的装置, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN107907958B

（ 9 ） 一种独立支撑单元以及光学元件支撑装置, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN106556911B

（ 10 ） 一种物像面定位系统以及定位方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN106569397B

（ 11 ） 一种干涉测量系统成像畸变标定装置, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN105627914B

（ 12 ） 一种反射镜支撑调整装置, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN105445895B

（ 13 ） 检测平台姿态变化的方法, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN105444722B

（ 14 ） 可实现光学元件主动面形控制的支撑装置, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN105403154B

（ 15 ） 一种用于光学元件检测的可调支撑装置, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN107702677A

（ 16 ） 微缩投影系统波像差检测过程中的视场点定位方法, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN105589305B

（ 17 ） 五自由度调整装置, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN105572830B

（ 18 ） 用于光学元件支撑的调整机构, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN105445887B

（ 19 ） 一种用于高精度光学元件的多点柔性支撑装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN105467544B

（ 20 ） 用于极紫外光刻装置中的锆膜置换机构, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN105573065B

（ 21 ） 并联机器人工作空间的求解方法, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN106777702A

（ 22 ） 一种微缩投影系统波像差检测系统及波像差检测方法, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN106338379A

（ 23 ） 一种基于柔性片体和球面轴承的可升降倾斜调整装置, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN105600704A

（ 24 ） 一种柔性六自由度并联精密调整装置运动控制方法, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN105508823A

（ 25 ） 光刻系统中照明均匀性测量方法, 2016, 第 5 作者, 专利号: CN105446086A

（ 26 ） 一种用于光学均匀性测试的柔性支撑装置, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN105572043A

（ 27 ） 一种用于真空环境下的光学元件水冷装置, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105552695A

（ 28 ） 一种用于真空环境下的光学元件热应力评估系统, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105466354A

（ 29 ） 一种具有面形调整功能的光学元件支撑装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN105467545A

（ 30 ） 一种用于高精度光学元件面形检测的柔性支撑装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN105423989A

（ 31 ） 一种可以实现主动面形调整的多点柔性支撑装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN105425389A

（ 32 ） 一种曝光系统中曝光剂量的监控方法、曝光方法及其曝光系统, 2016, 第 5 作者, 专利号: CN105404100A

（ 33 ） 一种用于镜体检测的吸附夹具, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN105372777A

（ 34 ） 元器件真空兼容性评估实验平台, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104635090A

（ 35 ） 一种基于柔性片体的六自由度并联精密调整装置, 2015, 第 5 作者, 专利号: CN104793646A

（ 36 ） 一种基于光学元件面形的计算机辅助装调模型的建立方法, 2014, 第 5 作者, 专利号: CN103984808A

（ 37 ） 高复现性光学元件面形检测支撑装置, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN103968796A

（ 38 ） 一种基于光学系统失调量解算的光机结构稳定性评估方法, 2014, 第 5 作者, 专利号: CN103969034A

（ 39 ） 一种用于高精度面形检测的光学元件支撑装置, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102506752A

（ 40 ） 一种用于EUV光刻系统的复眼反射镜制作方法, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102385082A

（ 41 ） 一种高精度光学元件的装配装置及无应力装配方法, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102368113A

   

（1） Adjustable flexure mount to compensate for deformation of an optic surface, APPLIED OPTICS, 2019, 通讯作者
（2） Method for designing error-resistant phase-shifting algorithm, OPTICS COMMUNICATIONS, 2019, 第 3 作者
（3） Ultra-high accuracy point diffraction interferometer: development, accuracy evaluation and application, 8TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGY: OPTICAL TEST, MEASUREMENT TECHNOLOGY, AND EQUIPMENT, 2016, 第 5 作者
（4） 微缩投影系统的垂轴放大率测量, Measurement of transversal magnification for reduced projection system, 光学精密工程, 2016, 第 6 作者
（5） 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量, 中国激光, 2015, 第 1 作者
（6） 微缩投影系统的计算机辅助装调, Computer-aided alignment for reduced projection systems, 光学精密工程, 2014, 第 4 作者
（7） 高精度光学元件支撑装置面形复现性分析与测量, Analysis and Metrology of Reproducibility of High-Precision Optic Mount, 中国激光, 2013, 第 1 作者
（8） 干涉测量框架结构设计及稳定性分析, 中国激光, 2012, 第 2 作者
（9） 高复现性面形检测支撑装置研制, 中国激光, 2012, 第 1 作者
（10） 极紫外光刻系统物镜光学元件的支撑与分析, Objective optical mounts and analysis for EUVL, 中国光学与应用光学, 2010, 第 1 作者

   

（ 1 ） 六镜极紫外光刻投影物镜研发与验证, 负责人, 国家任务, 2018-01--2021-12
（ 2 ） 反射镜模块机电一体化技术研究, 负责人, 其他国际合作项目, 2022-01--2025-06