080300-光学工程
085400-电子信息

先进光刻

2006-09--2012-07   中国科学院研究生院（中科院电子所）   博士研究生
2001-09--2004-07   中国科学院研究生院（中科院电子所）   硕士研究生
1995-09--1999-07   北京师范大学   本科

   

2013-01~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2006-09~2012-07,中国科学院研究生院（中科院电子所）, 博士研究生
2004-07~2013-01,中国科学院电子学研究所, 助理研究员
2001-09~2004-07,中国科学院研究生院（中科院电子所）, 硕士研究生
1995-09~1999-07,北京师范大学, 本科

   

（ 1 ） 基于OpenVPX架构的测控系统同步控制系统, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN201911211916.0

（ 2 ） 用于EUV真空环境中的光电转换电子学装置及光刻机, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN201911212670.9

（ 3 ） 对准信号数字化同步解调方法及装置, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN201911212041.6

（ 4 ） 用于光刻机调焦调平系统的光电探测器及其使用方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN201911212045.4

（ 5 ） 对焦传感器的校准方法, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN201911212027.6

（ 6 ） 晶圆轮廓图的构造方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN201911211570.4

（ 7 ） 一种新型光栅尺位移测量装置, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN201911133007.X

（ 8 ） 一种光学硅片检测系统中的对焦控制装置及方法, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN201910313182.0

   

（1） Automatic control of LED light source for wafer height leveling in electron beam imaging systems-submit, Proc. SPIE 10819, Optical Metrology and Inspection for Industrial Applications V, 108190O, 2018, 第 2 作者

   

（ 1 ） EUV光刻机离轴对焦技术研究与部件开发, 负责人, 国家任务, 2018-01--2020-12
（ 2 ） 14nm 浸没光刻套刻对准关键技术研究, 参与, 国家任务, 2018-01--2020-12