140100-集成电路科学与工程

光学设计
仪器仪表工程

2010-09--2015-07   中国科学院光电技术研究所   博士
2006-09--2010-06   南京理工大学   学士

   

2018-01~现在, 中国科学院光电技术研究所, 副研究员
2014-03~2017-12,中国科学院光电技术研究所, 助理研究员
2010-09~2015-07,中国科学院光电技术研究所, 博士
2006-09~2010-06,南京理工大学, 学士

   

（ 1 ） 照明补偿方法, 2023, 第 7 作者, 专利号: CN115963705A

（ 2 ） 多功能匀光耦合装置及标定检测的方法, 2023, 第 3 作者, 专利号: CN115598768A

（ 3 ） 成像光学系统和成像检测系统, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN115407486A

（ 4 ） 照明场非均匀性探测系统及方法, 2022, 第 6 作者, 专利号: CN115265772A

（ 5 ） 照明场非均匀性检测系统的标定和校正方法及装置, 2022, 第 6 作者, 专利号: CN115265767A

（ 6 ） 一种用于微纳结构表面三维形貌上的光刻方法, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN114995053A

（ 7 ） 一种用于透明基底的双面光刻方法, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN114967367A

（ 8 ） 一种用于红外波段的大视场变焦镜头, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN114815195A

（ 9 ） 一种掩模与基底相对同轴旋转的曝光装置, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN111965954A

（ 10 ） 一种大梯度自由曲面测量方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN110030944A

（ 11 ） 一种超分辨率数字全息成像系统和成像方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN109709786A

（ 12 ） 一种多光场调制的三维形貌测量方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108120393A

（ 13 ） 一种用于纳米位移测量的修正方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108036729A

（ 14 ） 一种基于超分辨光刻的间隙检测装置, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN108036732A

（ 15 ） 一种激光双光束干涉光刻系统, 2018, 第 7 作者, 专利号: CN107643656A

（ 16 ） 振幅相位联合调制超分辨三维微纳结构形貌测量装置, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN106197257A

（ 17 ） 一种单焦点光子筛, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN105204102A

（ 18 ） 一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN104199135A

（ 19 ） 一种长焦深光子筛, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN104199136A

（ 20 ） 一种适用于投影光刻机的实时检焦调焦方法, 2014, 第 8 作者, 专利号: CN104133346A

（ 21 ） 一种叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN104049474A

（ 22 ） 基于数字扫描白光干涉的微纳结构形貌测量装置及方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103900493A

（ 23 ） 一种用于光刻机的嵌入式远程通信及控制方法, 2014, 第 8 作者, 专利号: CN103888471A

（ 24 ） 一种用于i线大面积平板投影光刻机的物镜, 2014, 第 6 作者, 专利号: CN103837966A

（ 25 ） 一种应用步进投影数字光刻机制作方孔型光子筛的方法, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103048718A

（ 26 ） 一种掩模光栅对准标记倾斜成像的消除方法, 2012, 第 5 作者, 专利号: CN102799080A

（ 27 ） 一种莫尔条纹倾角测量方法, 2012, 第 5 作者, 专利号: CN102789138A

（ 28 ） 一种基于莫尔条纹的反射式光刻对准装置, 2012, 第 5 作者, 专利号: CN102789137A

（ 29 ） 基于光子筛的蓝光光学头, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102737664A

（ 30 ） 一种无掩模数字投影光刻的图形拼接方法, 2012, 第 5 作者, 专利号: CN102722085A

（ 31 ） 一种基于相移莫尔条纹的数字无掩模光刻对准装置, 2012, 第 6 作者, 专利号: CN102566340A

（ 32 ） 一种动镜平面微调机构装置, 2012, 第 6 作者, 专利号: CN102508360A

   

（1） 基于改进Gerchberg-Saxton算法的全息双面光刻方法, 激光与光电子学进展, 2023, 第 2 作者
（2） Biaxial structured illumination microscopy with high measurement accuracy based on product processing, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2022, 第 3 作者
（3） Single-exposure modulation-based structured illumination microscopy using spatial area phase-shift, OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING, 2022, 第 5 作者
（4） Efficient Profilometry Using Tilted Grating Scanning Structured Illumination Microscopy, IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2020, 第 6 作者
（5） 光刻机 信息时代的制造之王, 百科知识, 2020, 第 3 作者
（6） Selecting a Proper Microsphere to Combine Optical Trapping with Microsphere-Assisted Microscopy, APPLIED SCIENCES-BASEL, 2020, 第 6 作者
（7） Large Gradient Micro-Structure Topography Measurement with Multi-Angle Stitching Digital Holographic Microscope, APPLIED SCIENCES-BASEL, 2020, 第 2 作者  通讯作者
（8） Design of a compact off-axis two-mirror freeform infrared imager with a wide field of view, JOURNAL OF MODERN OPTICS, 2019, 第 7 作者
（9） Fast structured illumination microscopy with reflectance disturbance resistibility and improved accuracy, OPTICS EXPRESS, 2019, 第 3 作者
（10） Dose-Modulated Maskless Lithography for the Efficient Fabrication of Compound Eyes With Enlarged Field-of-View, IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2019, 第 5 作者
（11） 3D Super-Resolution Reconstruction Using Microsphere-Assisted Structured Illumination Microscopy, IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2019, 第 6 作者
（12） 均匀球面波数字同轴全息生物显微方法, Biology microscopy using well-distributed sphere digital in-line holography, 光电工程, 2019, 第 6 作者
（13） Profilometry with Enhanced Accuracy Using Differential Structured Illumination Microscopy, IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2019, 第 5 作者
（14） Fast surface profilometry utilizing structured illumination microscopy based on the time-domain phase-shift technique, APPLIED OPTICS, 2019, 第 5 作者
（15） Optical sectioning microscopy for multilayer structure with micro-scale air gaps measurement, IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2019, 第 5 作者
（16） Effects of immersion depth on super-resolution properties of index-different microsphere-assisted nanoimaging, APPLIED PHYSICS EXPRESS, 2018, 第 3 作者
（17） Quadratic grating apodized photon sieves for simultaneous multiplane microscopy, OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING, 2017, 第 3 作者
（18） Focusing Properties of Single-Focus Photon Sieve, IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2017, 第 6 作者
（19） Fabrication of micro-optics elements with arbitrary surface profiles based on one-step maskless grayscale lithography, MICROMACHINES, 2017, 第 5 作者
（20） The Anomaly of Periodicity Doubling in Projection Photolithography of Periodic Features, IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2016, 第 5 作者
（21） Nano-Focusing and Leveling System Based on Improved Phase Analysis, IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2016, 第 2 作者
（22） Clad photon sieve for generating localized hollow beams, OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING, 2016, 第 6 作者
（23） An artificial compound eye of photon Sieves, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2015, 第 3 作者
（24） Spectrum-Integral Talbot Effect for UV Photolithography With Extended DOF, IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2015, 第 5 作者
（25） 利用光子筛产生局域空心光束, 光学学报, 2015, 第 4 作者
（26） 基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法, 光学学报, 2015, 第 4 作者
（27） A hybrid doubled achromat based on a photon sieve, OPTIK, 2014, 第 1 作者  通讯作者
（28） A hybrid doubled achromat based on a photon sieve, OPTIK - INTERNATIONAL JOURNAL FOR LIGHT AND ELECTRON OPTICS, 2014, 第 1 作者
（29） Influence of tilt moire fringe on alignment accuracy in proximity lithography, OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING, 2013, 第 6 作者
（30） Focusing property of high numerical aperture photon sieves based on vector diffraction, OPTICS COMMUNICATIONS, 2013, 第 4 作者
（31） 光刻对准中掩模光栅标记成像标定方法, 中国激光, 2013, 第 6 作者
（32） Four-quadrant gratings moire fringe alignment measurement in proximity lithography, OPTICS EXPRESS, 2013, 第 10 作者
（33） Influence of tilt moir�� fringe on alignment accuracy in proximity lithography, OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING, 2013, 第 6 作者
（34） 光子筛透镜组合的折衍混合消色差系统设计, 中国激光, 2012, 第 1 作者
（35） 基于等效叠栅的反射式光刻对准模型研究, Alignment Scheme Research Based on Equivalent Overlapped Gratings for Reflective Lithography Alignment, 中国激光, 2012, 第 7 作者
（36） 准相位型光子筛设计, Design of Quasi-Phase Photon Sieve, 光学学报, 2012, 第 4 作者
（37） 一种适用于数字微镜无掩模光刻的图形拼接方法, A Graphic Matching Method for Digital Micromirror Device Maskless Photolithography, 中国激光, 2012, 第 5 作者
（38） 大数值孔径光子筛偏振特性研究, 光学学报, 2012, 第 5 作者
（39） 光子筛成像技术研究进展, Research Progress of Photon Sieve Imaging Technology, 激光与光电子学进展, 2012, 第 1 作者

   

（ 1 ） 用于早期皮肤肿瘤无创诊断的纳米灵敏度光学相干断层成像技术研究, 负责人, 地方任务, 2022-01--2023-12
（ 2 ） 紫外照明和动态调控系统, 参与, 中国科学院计划, 2021-01--2023-12
（ 3 ） 多光场作用的超分辨数字全息三维测量方法研究, 负责人, 国家任务, 2018-01--2020-12
（ 4 ） 连续面型微结构立体光刻方法研究, 负责人, 地方任务, 2018-01--2019-12
（ 5 ） 多层微纳跨尺度结构加工设备研制, 参与, 地方任务, 2017-01--2019-12
（ 6 ） 超分辨光刻装备研制, 参与, 国家任务, 2013-01--2018-12