基本信息
丁金滨  男  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: dingjinbin@ime.ac.cn
通信地址: 北京海淀唐家岭邓庄南路9号
邮政编码:
部门/实验室:光电中心

研究领域

   

招生信息

   
招生专业
080300-光学工程
080401-精密仪器及机械
招生方向
激光技术
精密仪器与机械

教育背景

   
学历
   
学位
   

工作经历

   
工作简历
   
社会兼职
   

教授课程

   

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 第四届北京市发明专利奖, 三等奖, 省级, 2016
(2) 第六届中科院北京分院科技成果转化奖, 特等奖, 院级, 2016
(3) 第十七届中国专利奖优秀奖, , 部委级, 2015
专利成果
( 1 ) 基于改进的贯流风机叶轮的单腔双电极放电腔, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN103151679A
( 2 ) 一种准分子激光器用贯流风机叶轮, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN102777416B
( 3 ) 光机分离式双腔准分子激光器整机框架系统, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN103259159A
( 4 ) 激光器放电腔的六自由度调节机构, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN103269009B
( 5 ) 一种准分子激光器高纯工作气体配送系统及方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610457955.9
( 6 ) 用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN103259160A
( 7 ) 一种放电腔内的气动结构, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN102779706B
( 8 ) 具有微流道结构的放电腔及气体激光器, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN102842840B
( 9 ) 用于准分子激光器的热交换器, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN103682956B
( 10 ) 双电极放电腔的导流装置及应用其的放电腔、准分子激光器, 2017, 第 2 作者, 专利号: JP6254178
( 11 ) 一种用于激光器的窗口结构及准分子激光器, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201810129363.3
( 12 ) 一种用于激光器的快门装置以及激光器, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201810132208.7

出版信息

   
发表论文
(1) Corrosion Behaviors of the Copper Alloy Electrodes in ArF Excimer Laser Operation Process, High Power Laser Science and Engineering, 2017, 第 2 作者
发表著作
   

科研活动

   
科研项目
( 1 ) ArF 光源产品整机设计、集成制造与试验, 参与, 国家级, 2013-01--2018-12
( 2 ) 激光放电腔研发, 参与, 国家级, 2013-01--2018-12
( 3 ) 产品可靠性寿命研究, 参与, 国家级, 2013-01--2018-12
( 4 ) 浸没式曝光光源研制与小批量产品生产能力建设, 参与, 国家级, 2016-01--2020-12
参与会议
   

合作情况

   
项目协作单位
   

指导学生