080903-微电子学与固体电子学

红外探测，红外焦平面，分子束外延

2007-09--2012-07   中国科学院半导体研究所   工学博士
2003-09--2007-07   山东大学   理学学士

   

2022-10~现在, 中国科学院半导体研究所, 研究员
2012-07~现在, 中国科学院半导体研究所, 副研究员

   

（ 1 ） 双色异质结光电晶体管及其制备方法, 2023, 第 4 作者, 专利号: CN114335232B

（ 2 ） 一种短波双色红外探测器及其制备方法, 2023, 第 4 作者, 专利号: CN114122185B

（ 3 ） 利用半导体激光器实现全息光刻的装置, 发明专利, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN115373229A

（ 4 ） 周期渐变超晶格宽光谱红外探测器及其制备方法, 发明专利, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN114582996A

（ 5 ） 近-远红外宽光谱超晶格探测器, 发明专利, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN114464632A

（ 6 ） 近-远红外宽光谱超晶格探测器, 发明专利, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN114464632A

（ 7 ） 双色异质结光电晶体管及其制备方法, 发明专利, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN114335232A

（ 8 ） 一种短波双色红外探测器及其制备方法, 发明专利, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN114122185A

（ 9 ） 红外探测器及其制备方法, 发明专利, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN113972296A

（ 10 ） 一种红外探测器及其制备方法, 专利授权, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN113488558A

（ 11 ） 在GaSb衬底上生长InAs层的生长速度测定方法, 发明专利, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN113358677A

（ 12 ） 中波超晶格红外探测器, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN113327992A

（ 13 ） 双色探测器及其制备方法, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN113327991A

（ 14 ） 焦平面红外探测器芯片、探测器和制备方法, 发明专利, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN113130676A

（ 15 ） 利用钝化层负电化抑制侧壁漏电流的探测器的制备方法, 发明专利, 2021, 第 7 作者, 专利号: CN113113511A

（ 16 ） 互补势垒超晶格长波红外探测器, 发明专利, 2021, 第 6 作者, 专利号: CN113035992A

（ 17 ） GaSb焦平面红外探测器的制备方法及GaSb焦平面红外探测器, 发明专利, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN113013289A

（ 18 ） 基于锑化物的可见光-中红外探测器及其制备方法, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN108899379B

（ 19 ） 红外探测器光陷阱结构的制备方法, 专利授权, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN109802004A

（ 20 ） 可见光拓展的中波红外探测器单元器件及其制备方法, 发明专利, 2019, 第 6 作者, 专利号: CN109524499A

（ 21 ） 基于锑化物的可见光-中红外探测器及其制备方法, 专利授权, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108899379A

（ 22 ） 一种分子束外延生长长波红外超晶格界面的优化方法, 专利授权, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN108648987A

（ 23 ） 基于AlInAsSb体材料作倍增区的雪崩光电二极管及其制备方法, 发明专利, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN107170847A

（ 24 ） 一种雪崩光电二极管及其制作方法, 发明专利, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN104465853B

（ 25 ） 铟砷锑和铟镓砷锑双波段红外探测器及制备方法, 发明专利, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN106298993A

（ 26 ） InAs/GaSb超晶格光子晶体红外探测器及其制备方法, 发明专利, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN106024931A

（ 27 ） 一种双通道宽光谱探测器及其制备方法, 发明专利, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN105957918A

（ 28 ） 单势垒型InGaAsSb红外探测器, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105932092A

（ 29 ） 一种高电阻温度系数氧化钒薄膜的制备方法, 发明专利, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104611670A

（ 30 ） 一种雪崩光电二极管及其制作方法, 发明专利, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104465853A

（ 31 ） 一种半导体光电器件的表面钝化方法, 发明专利, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104409525A

（ 32 ） InAs/GaSb超晶格红外光电探测器及其制备方法, 发明专利, 2014, 第 5 作者, 专利号: CN103887360A

（ 33 ） 带间级联激光器及其制备方法, 发明专利, 2014, 第 4 作者, 专利号: CN103579904A

（ 34 ） InSb/GaSb量子点结构器件及生长方法, 发明专利, 2013, 第 4 作者, 专利号: CN103441181A

（ 35 ） 双波长锑化物应变量子阱半导体激光器及其制备方法, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103078252A

（ 36 ） “W”型锑化物二类量子阱的外延生长方法, 发明专利, 2011, 第 3 作者, 专利号: CN102157903A

（ 37 ） HPT结构的InAs/GaSb超晶格红外光电探测器, 发明专利, 2010, 第 2 作者, 专利号: CN101814545A

（ 38 ） 一种InAs/GaSb超晶格红外光电探测器及其制作方法, 发明专利, 2010, 第 1 作者, 专利号: CN101777601A

   

（1） InAs/GaSbⅡ类超晶格双色红外焦平面器件的干法刻蚀与湿法腐蚀制备对比研究, Comparative Study on Dry/Wet Etching Preparation of InAs/GaSb Type-Ⅱ Superlattice Dual-Color Infrared Focal Plane Devices, 红外, 2023, 第 5 作者
（2） High-performance extended short-wavelength infrared PBn photodetectors based on InAs/GaSb/AlSb superlattices, High-performance extended short-wavelength infrared PBn photodetectors based on InAs/GaSb/AlSb superlattices, CHINESE PHYSICS B, 2023, 通讯作者
（3） High responsivity short-wavelength dual-band photodetector based on AlInAsSb digital alloy, INFRARED PHYSICS & TECHNOLOGY, 2023, 通讯作者
（4） On the origin of carrier localization in AlInAsSb digital alloy, CHINESE PHYSICS. B, 2023, 通讯作者
（5） Trap-assisted tunneling current and quantum efficiency loss in InGaAsSb short wavelength infrared photo detectors, SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2022, 第 2 作者
（6） Dark current simulation and analysis for InAs/GaSb long wavelength infrared barrier detectors, INFRARED PHYSICS & TECHNOLOGY, 2022, 第 5 作者
（7） Oxidation related particles on GaSb (1 0 0) substrate surfaces, JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 2022, 第 7 作者
（8） Growth of high material quality InAs/GaSb type-II superlattice for long-wavelength infrared range by molecular beam epitaxy, 中国物理B, 2022, 通讯作者
（9） Wet etching and passivation of GaSb-based very long wavelength infrared detectors, Wet etching and passivation of GaSb-based very long wavelength infrared detectors, CHINESE PHYSICS B, 2022, 第 8 作者
（10） High quality strain-balanced InAs/InAsSb type-II superlattices grown by molecular beam epitaxy, JOURNALOFINFRAREDANDMILLIMETERWAVES, 2021, 通讯作者
（11） Growth and photo-electronic characteristics of short/mid wave dual-band infrared detectors based on GaSb bulk and InAs/GaSb superlattices, OPTICAL MATERIALS EXPRESS, 2021, 第 9 作者
（12） MBE growth of mid-wavelength infrared photodetectors based on high quality InAs/AlAs/InAsSb superlattice, JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 2021, 通讯作者
（13） Progress of long wavelength infrared focal plane arrays based on antimonide compounds superlattice, SCIENTIA SINICA-PHYSICA MECHANICA & ASTRONOMICA, 2021, 通讯作者
（14） High-Performance Anodic Vulcanization-Pretreated Gated P+-pi-M-N+ InAs/GaSb Superlattice Long-Wavelength Infrared Detector, NANOSCALE RESEARCH LETTERS, 2021, 第 6 作者
（15） 锑化物超晶格长波红外焦平面探测器研究进展, Progress of long wavelength infrared focal plane arrays based on antimonide compounds superlattice, 中国科学：物理学、力学、天文学, 2021, 第 3 作者
（16） Growth of high quality InSb thin films on GaAs substrates by molecular beam epitaxy method with AlInSb/GaSb as compound buffer layers, Growth of high quality InSb thin films on GaAs substrates by molecular beam epitaxy method with AlInSb/GaSb as compound buffer layers*, CHINESE PHYSICS B, 2021, 通讯作者
（17） Mid-/Short-Wave dual-band infrared detector based on InAs/GaSb superlattice/GaSb bulk materials, JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES, 2021, 第 5 作者
（18） Performance and electron radiation damage of InAs/GaSb long-wave infrared detectors based on P pi MN design, JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2021, 第11作者
（19） The investigations to eliminate the bias dependency of quantum efficiency of InGaAsSb nBn photodetectors for extended short wavelength infrared detection, INFRARED PHYSICS & TECHNOLOGY, 2020, 第 7 作者
（20） High-performance midwavelength infrared detectors based on InAsSb nBn design, High-performance midwavelength infrared detectors based on InAsSb nBn design, CHINESE PHYSICS B, 2020, 通讯作者
（21） Investigation of active-region doping on InAs/GaSb long wave infrared detectors, Investigation of active-region doping on InAs/GaSb long wave infrared detectors, CHINESE PHYSICS B, 2020, 通讯作者
（22） MBE growth of high quality InAsSb thin films on GaAs substrates with GaSb as buffer layers, JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 2020, 通讯作者
（23） 基于锑化物二类超晶格的多色红外探测器研究进展, Research Progress in Antimonide-Based Type-Ⅱ Superlattice Multi-Color Infrared Detectors, 人工晶体学报, 2020, 第 3 作者
（24） Sb浸润界面对InAs/InAsSb超晶格晶体结构和探测器性能的影响, Influence of Sb-soak Interface on the Crystallization and the Detector Performance of InAs/InAsSb Superlattices, 材料导报, 2020, 第 3 作者
（25） MBE Growth of High Quality InSb Thin Films on GaAs Substrates with AlInSb/GaSb as Compound Buffer Layers, CHINESE PHYSICS B, 2020, 
（26） MBE growth of high quality AlInSb/GaSb compound buffer layers on GaAs substrates, OPTICAL AND QUANTUM ELECTRONICS, 2020, 通讯作者
（27） High material quality growth of AlInAsSb thin films on GaSb substrate by molecular beam epitaxy, High material quality growth of AlInAsSb thin films on GaSb substrate by molecular beam epitaxy, 中国物理B:英文版, 2019, 通讯作者
（28） Sulfide treatment passivation of mid-/long-wave dual-color infrared detectors based on type-ii inas/gasb superlattices, OPTICAL AND QUANTUM ELECTRONICS, 2019, 第 4 作者
（29） Growth and characterization of type-II superlattice photodiodes with cutoff wavelength of 12 mu m on 4-in. wafer, OPTICAL AND QUANTUM ELECTRONICS, 2019, 第 9 作者
（30） High quantum efficiency long-/long-wave dual-color type-II InAs/GaSb infrared detector, CHINESE PHYSICS B, 2019, 通讯作者
（31） Wide spectrum responsivity detectors from visible to mid-infrared based on antimonide, INFRARED PHYSICS & TECHNOLOGY, 2019, 第 6 作者
（32） High performance nBn detectors based on InGaAsSb bulk materials for short wavelength infrared detection, AIP ADVANCES, 2019, 通讯作者
（33） The 640 x 512 LWIR type-II superlattice detectors operating at 110 K, INFRARED PHYSICS & TECHNOLOGY, 2018, 第 5 作者
（34） Visible-extended mid-infrared wide spectrum detector based on InAs/GaSb type-II superlattices (T2SL), INFRARED PHYSICS & TECHNOLOGY, 2018, 第 10 作者
（35） Small-pixel long wavelength infrared focal plane arrays based on InAs/GaSb Type-II superlattice, INFRARED PHYSICS & TECHNOLOGY, 2018, 第 3 作者
（36） Digitally grown AlInAsSb for high gain separate absorption, grading, charge, and multiplication avalanche photodiodes, JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 2018, 第11作者
（37） Extended-wavelength InGaAsSb infrared unipolar barrier detectors, AIP ADVANCES, 2018, 第 2 作者
（38） Visible-extended mid-infrared wide spectrum detector based on InAs/GaSb type-Ⅱ superlattices (T2SL), INFRARED PHYSICS AND TECHNOLOGY, 2018, 第 10 作者
（39） Significantly extended cutoff wavelength of very long-wave infrared detectors based on InAs/GaSb/InSb/GaSb superlattices, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2017, 第 8 作者
（40） Significantly extended cutoff wavelength of very long-wave infrared detectors based on InAs/GaSb/InSb/GaSb superlattices, APPL. PHYS. LETT., 2017, 第 8 作者
（41） Very long wavelength infrared focal plane arrays with 50% cutoff wavelength based on type-II InAs/GaSb superlattice, CHINESE PHYSICS B, 2017, 第 6 作者
（42） Etching mask optimization of InAs/GaSb superlattice mid-wavelength infared 640×512 focal plane array, CHINESE PHYSICS. B, 2017, 第 3 作者
（43） Etching mask optimization of InAs/GaSb superlattice mid-wavelength infared 640 x 512 focal plane array, CHINESE PHYSICS B, 2017, 第 3 作者
（44） Atomic Mechanism of Interfacial-Controlled Quantum Efficiency and Charge Migration in InAs/GaSb Superlattice, ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES, 2017, 第 6 作者
（45） GaSb衬底上分子束外延生长的低温GaSb薄膜的低缺陷表面, Low-defect surfaces of low-temperature GaSb thin films on GaSb substrates, 红外与毫米波学报, 2017, 第 5 作者
（46） GaSb衬底上分子束外延生长的低温GaSb薄膜的低缺陷表面, Low-defect surfaces of low-temperature GaSb thin films on GaSb substrates, 红外与毫米波学报, 2017, 第 5 作者
（47） 320 _ 256 Short-/Mid-Wavelength dual-color infrared focal plane arrays based on Type-II InAs/GaSb superlattice, INFRARED PHYSICS & TECHNOLOGY, 2017, 第 8 作者
（48） 320 x 256 high operating temperature mid-infrared focal plane arrays based on type-II InAs/GaSb superlattice, SUPERLATTICES AND MICROSTRUCTURES, 2017, 第 2 作者
（49） 锑化物纳米结构的中红外激光器与探测器的新进展, Recent Advances of Mid-Infrared Lasers and Detectors in Antimonide-Based Nanostructures, 中国基础科学, 2017, 第 3 作者
（50） Helicity-dependent photocurrent induced by the in-plane transverse electric current in an InAs quantum well., SCIENTIFIC REPORTS, 2016, 
（51） Photoexcitation-induced carrier dynamics in an undoped InAs/GaSb quantum well, JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2016, 第 3 作者
（52） 大功率高效率2μm锑化镓基量子阱激光器, High-power, high-efficient GaSb-based quantum well laser diodes emitting at 2μm, 红外与毫米波学报, 2016, 第 6 作者
（53） InAs homoepitaxy and InAs/AlSb/GaSb resonant interband tunneling diodes on InAs substrate, JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 2016, 第 2 作者
（54） Very high quantum efficiency in InAs/GaSb superlattice for very long wavelength detection with cutoff of 21 µm, APPLIEDPHYSICSLETTERS, 2016, 第 7 作者
（55） High Lattice Match Growth of InAsSb Based Materials by Molecular Beam Epitaxy, High Lattice Match Growth of InAsSb Based Materials by Molecular Beam Epitaxy, 中国物理快报：英文版, 2016, 第 5 作者
（56） Low Crosstalk Three-Color Infrared Detector by Controlling the Minority Carriers Type of InAs/GaSb Superlattices for Middle-Long and Very-Long Wavelength, Low Crosstalk Three-Color Infrared Detector by Controlling the Minority Carriers Type of InAs/GaSb Superlattices for Middle-Long and Very-Long Wavelength, 中国物理快报：英文版, 2016, 第 7 作者
（57） Wet Chemical Etching of Antimonide-Based Infrared Materials, Wet Chemical Etching of Antimonide-Based Infrared Materials, 中国物理快报：英文版, 2015, 第 3 作者
（58） Wet Chemical Etching of Antimonide-Based Infrared Materials, CHINESE PHYSICS LETTERS, 2015, 第 3 作者
（59） 中波InAs/GaSb超晶格红外焦平面探测器, In As / Ga Sb Superlattices Mid-Wavelength Infrared Focal Plane Array Detectors, 航空兵器, 2015, 第 2 作者
（60） High power laser diodes of 2 μm AlGaAsSb/InGaSb type I quantum-wells, JOURNAL OF SEMICONDUCTORS, 2015, 第 1 作者
（61） Very long-wavelength (similar to 20 mu m) InAs/GaSb superlattice infrared detector with double InSb-like interfaces, INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY AND APPLICATION 2014: INFRARED TECHNOLOGY AND APPLICATIONS, 2014, 第 5 作者
（62） Room-Temperature Operation of 2.4 μm InGaAsSb/AlGaAsSb Quantum-Well Laser Diodes with Low-Threshold Current Density, CHINESE PHYSICS LETTERS, 2014, 第 7 作者
（63） High quality above 3-mu m mid-infrared InGaAsSb/AlGaInAsSb multiple-quantum well grown by molecular beam epitaxy, CHINESE PHYSICS B, 2014, 第 4 作者
（64） Investigation of high hole mobility In0.41Ga0.59Sb/Al0.91Ga0.09Sb quantum well structures grown by molecular beam epitaxy, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2014, 第 4 作者
（65） Sulfurizing Method for Passivation Used in InAs/GaSb Type-II Superlattice Photodetectors, INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY AND APPLICATION 2014: INFRARED TECHNOLOGY AND APPLICATIONS, 2014, 第 3 作者
（66） High quality above 3-μm mid-infrared InGaAsSb/AlGaInAsSb multiple-quantum well grown by molecular beam epitaxy, CHINESE PHYSICS. B, 2014, 第 4 作者
（67） Room-Temperature Operation of 2.4 mu m InGaAsSb/AlGaAsSb Quantum-Well Laser Diodes with Low-Threshold Current Density, CHINESE PHYSICS LETTERS, 2014, 第 7 作者
（68） Single InAs quantum dot coupled to different "environments" in one wafer for quantum, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2013, 第 7 作者
（69） Single InAs quantum dot coupled to different "environments" in one wafer for quantum photonics, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2013, 第 7 作者
（70） Short to long-wave IR detectors based on InAs/GaSb superlattices in multi-color application, PROCEEDINGS OF THE SPIE, 2013, 第 2 作者
（71） 长波段InAs／GaSb超品格材料的分子束外延研究, MBE Growth of InAs/GaSb Superlattices for Long-Wavelength Infrared Detection, 航空兵器, 2013, 第 1 作者
（72） Molecular beam epitaxy growth of high electron mobility InAs/AlSb deep quantum well structure, JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2013, 第 2 作者
（73） Growth and fabrication of a mid-wavelength infrared focal plane array based on type-II InAs/GaSbsuperlattices, JOURNAL OF SEMICONDUCTORS, 2013, 通讯作者
（74） 掺Te的GaSb薄膜分子束外延生长及缺陷特性, Defect of Te-doped GaSb layers grown by molecular beam epitaxy, 红外与毫米波学报, 2012, 第 4 作者
（75） Complete fabrication study of InAs/GaSb superlattices for long-wavelength infrared detection, JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2012, 通讯作者
（76） 2～5μm InAs／GaSb超晶格红外探测器, 2-5 μm InAs/GaSb superlattices infrared photodetector, 红外与激光工程, 2011, 第 3 作者
（77） Preparation and photoluminescence study of patterned substrate quantum wires, ACTA PHYSICA SINICA, 2011, 第 10 作者
（78） 2-5m InAs/GaSb superlattices infrared photodetector, HONGWAI YU JIGUANG GONGCHENG/INFRARED AND LASER ENGINEERING, 2011, 第 3 作者
（79） Preparation and photoluminescence study of patterned substrate quantum wires, ACTA PHYSICA SINICA, 2011, 第 10 作者
（80） Growth and characterization of gasb-based type-ii inas/gasb superlattice photodiodes for mid-infrared detection, CHINESE PHYSICS LETTERS, 2010, 通讯作者
（81） GaAs Based InAs/GaSb Superlattice Short Wavelength Infrared Detectors Grown by Molecular Beam Epitaxy, CHINESE PHYSICS LETTERS, 2009, 第 5 作者

   

（ 1 ） 锑化物超晶格的载流子寿命及其在红外探测器件中的应用研究, 负责人, 国家任务, 2014-01--2016-12
（ 2 ） 中波段高工作温度锑化物超晶格红外探测器研究, 负责人, 境内委托项目, 2014-10--2016-09
（ 3 ） 纳米异质结材料与器件微结构表征及性能评估, 负责人, 国家任务, 2018-05--2023-04
（ 4 ） 锑化物红外探测, 负责人, 中国科学院计划, 2017-05--2020-05
（ 5 ） XXX甚长波红外近探测技术, 负责人, 境内委托项目, 2017-01--2019-06
（ 6 ） XXX甚长波红外探测芯片, 负责人, 国家任务, 2019-06--2023-06
（ 7 ） XXXX双色探测器研制, 参与, 国家任务, 2022-12--2025-12

已指导学生

林芳祁  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学