基本信息
沈玲燕  女    中国科学院上海微系统与信息技术研究所
电子邮件: shenly@mail.sim.ac.cn
通信地址: 上海市长宁路865号
邮政编码: 200050

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
招生方向
功率电子器件,功率集成技术

教育背景

2012-09--2017-07   中国科学院上海微系统与信息技术研究所   博士学位
2008-09--2012-06   北京邮电大学   学士学位

工作经历

   
工作简历
2021-01~现在, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 副研究员
2017-10~2020-12,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 助理研究员
2012-09~2017-07,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 博士学位
2008-09~2012-06,北京邮电大学, 学士学位

专利与奖励

   
专利成果
( 1 ) 一种堆叠式增强型GaN HEMT器件及其制备方法, 2023, 第 1 作者, 专利号: CN115692411A

( 2 ) 基于AlGaN/p-GaN沟道的增强型纵向功率器件及制作方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110277445A

( 3 ) 基于AlGaN/p-GaN沟道的增强型纵向功率器件, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN207938616U

( 4 ) 沟槽型MOSFET功率器件及其制作方法, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN107564964A

( 5 ) SiC器件栅介质层及SiC器件结构的制备方法, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN107527803A

( 6 ) 基于界面钝化层的MOS电容器及其制备方法, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN107507829A

( 7 ) 一种MOS功率器件及其制备方法, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN107393814A

( 8 ) 一种基于SOI‑量子点异质结的红外探测器制备方法, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN107359221A

( 9 ) 一种利用金属/氧化物双层掩膜结构刻蚀SiC的方法, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN107275196A

( 10 ) SiC-LDMOS功率表器件及其制备方法, 2016, 第 7 作者, 专利号: CN106158933A

( 11 ) 基于氟化石墨烯钝化的AlGaN/GaN HEMT器件及制作方法, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105304689A

( 12 ) 一种基于薄膜半导体-石墨烯异质结的光电探测器制备方法, 2015, 第 6 作者, 专利号: CN105206689A

( 13 ) 一种水基ALD诱使的可逆N型石墨烯制备方法, 2015, 第 6 作者, 专利号: CN105129788A

( 14 ) 基于Metal/Insulator/AlGaN/GaN叠层MIS结构的负微分电阻器件及制备方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104599975A

( 15 ) 一种基于ALD的石墨烯基热电子晶体管及其制备方法, 2014, 第 7 作者, 专利号: CN103985741A

出版信息

   
发表论文
(1) Substrate Biasing Effect in a High-Voltage Monolithically-Integrated GaN-on-SOI Half Bridge With Partial Recessed-Gate HEMTs, IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 2023, 第 4 作者
(2) A Fin-p-GaN HEMT for High Threshold Voltage with Enhanced Stability, 81st Device Research Conference (DRC), 2023, 第 1 作者
(3) Graphene-induced positive shift of the flat band voltage in recessed gate AlGaN/GaN structures, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2021, 第 4 作者  通讯作者
(4) Investigation on Premature Breakdown Mechanisms in AlGaN/GaN HEMTs by TCAD simulations, IEEE International Conference on Solid-state and Integrated Circuit Technology, 2020, 第 1 作者
(5) Corrigendum to "Effects of polycrystalline AlN film on the dynamic performance of AlGaN/GaN high electron mobility transistors" Mat. Des. 148(2018) 1���7, MATERIALS & DESIGN, 2019, 第 4 作者
(6) p-GaN在不同掩膜和刻蚀气体中的ICP刻蚀, Inductively Coupled Plasma Etching of p-GaN Using Different Masks and Etching Gases, 半导体技术, 2018, 第 4 作者
(7) The GaN Trench Gate MOSFET with Floating Islands: High Breakdown Voltage and Improved BFOM, Superlattices and Microstructures, 2018, 第 1 作者
(8) Enhanced interfacial and electrical characteristics of 4H-SiC MOS capacitor with lanthanum silicate passivation interlayer, APPLIED SURFACE SCIENCE, 2017, 第 6 作者
(9) Performance Improvement and Current Collapse Suppression of Al2O3/AlGaN/GaN HEMTs Achieved by Fluorinated Graphene Passivation, IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2017, 第 1 作者
(10) Morphology improvement of SiC trench by inductively coupled plasma etching using Ni/Al2O3 bilayer mask, MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING, 2017, 第 5 作者
(11) Direct growth of sb2te3 on graphene by atomic layer deposition, RSC ADVANCES, 2015, 第 7 作者
(12) Al2O3-Gd2O3 double-films grown on graphene directly by H2O-assisted atomic layer deposition, RSC ADVANCES, 2014, 第 8 作者
(13) Properties of HfLaO MOS capacitor deposited on SOI with plasma enhanced atomic layer deposition, JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A, 2014, 第 8 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) D-mode GaN HEMT直驱电路设计开发, 负责人, 地方任务, 2023-12--2026-12
( 2 ) 基于GaN功率技术的电源转换电路设计及应用, 负责人, 地方任务, 2020-10--2023-09