基本信息
冯飞  男  硕导  中国科学院上海微系统与信息技术研究所
电子邮件: fengfei507@mail.sim.ac.cn
通信地址: 长宁路865号
邮政编码: 200050

研究领域

   

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085208-电子与通信工程
招生方向
微纳传感器

教育背景

2012-05--2013-05   加州大学伯克利分校   访问学者
2001-03--2004-06   中国科学院上海微系统与信息技术研究所   博士
1998-09--2001-02   长春理工大学   硕士
1990-09--1994-07   湖北师范大学   学士
学历
   
学位
   

工作经历

   
工作简历
2012-05~2013-05,加州大学伯克利分校, 访问学者
2004-07~现在, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 助理研究员,副研究员(2006年1月起),研究员(2012年1月起)
2001-03~2004-06,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 博士
1998-09~2001-02,长春理工大学, 硕士
1990-09~1994-07,湖北师范大学, 学士
社会兼职
   

教授课程

   

专利与奖励

   
奖励信息
   
专利成果
( 1 ) 一种紫外探测器及其制作方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: 201410035671.1
( 2 ) 一种光导型紫外探测器及其制作方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201410035654.8
( 3 ) 基于带状吸气剂的混合晶圆级真空封装方法及结构, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201410264998.6
( 4 ) 基于吸气剂薄膜的混合晶圆级真空封装方法及结构, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201410264566.5
( 5 ) 混合晶圆级真空封装方法及结构, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201410270430.5
( 6 ) 一种基于键合技术的光学读出红外探测器阵列的制作方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510341296.8
( 7 ) 一种光学读出红外探测器结构及其制作方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510341090.5
( 8 ) 一种红外探测器阵列及其制作方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201510368985.8
( 9 ) 高分离效率的硅基微气相色谱柱及其制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610507286.7
( 10 ) 一种基于双面键合工艺的微色谱柱及制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201611124553.3
( 11 ) 微热导检测器及制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201611123850.6
( 12 ) 薄膜型微热导检测器及制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201611124545.9
( 13 ) 一种含有流线型椭圆微柱阵列的微色谱柱及其制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710042386.6
( 14 ) 一种含有流线型椭圆微柱阵列的微色谱柱, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710042386.6
( 15 ) 基于双面键合工艺的微色谱柱, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201621343149.0
( 16 ) 微热导检测器, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201621342682.5
( 17 ) 薄膜型微热导检测器, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201621343162.6
( 18 ) 基于SOI的微色谱柱及微热导检测器的集成芯片, 2017, 第 1 作者, 专利号: 2017218125749.7
( 19 ) 硅基微气相色谱柱, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201721816759.2
( 20 ) 微色谱柱及微热导检测器的集成芯片, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201721816757.3
( 21 ) 微色谱柱及微热导检测器的集成芯片及制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201711406527.4
( 22 ) 硅基微气相色谱柱及其制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201711403787.6
( 23 ) 基于SOI的微色谱柱及微热导检测器的集成芯片及制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201711405281.9
( 24 ) 双固定相气相色谱柱及其制备方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201810654078.3
( 25 ) 双固定相气相色谱柱, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201820970265.8

出版信息

   
发表论文
(1) Pore Size Effect of Mesoporous Silica Stationary Phase on the Separation Performance of Microfabricated Gas Chromatography Columns, Journal of Chromatography A, 2018, 第 11 作者
(2) 一种新型半填充微气相色谱柱芯片研究, 传感器与微系统, 2018, 第 11 作者
(3) 单片集成微型气相色谱芯片研究, 分析化学, 2018, 第 11 作者
(4) 基于MEMS的微型气相色谱柱研究进展, 色谱, 2018, 第 11 作者
(5) 基于MEMS的高深宽比气相微色谱柱研究, 色谱, 2018, 第 11 作者
(6) A micro gas chromatographic column with embedded elliptical cylindrical posts, Journal of Chromatography A, 2018, 第 11 作者
(7) Improved separation of micro gas chromatographic column using mesoporous silica as a stationary phase support, Talanta, 2018, 第 11 作者
(8) Study of Monolithic Integrated Micro Gas Chromatography Chip, Chinese Journal of Analytical Chemistry, 2018, 第 11 作者
(9) 微型热导检测器温控模块的研究, 传感器与微系统, 2017, 第 11 作者
(10) Effect of pore size of stationary phase on the seperation performance of chip-based gas chromatography columns, IEEE Transducers 2017, 2017, 第 11 作者
(11) High sensitive micro thermal conductivity detector with sandwich structure, IEEE Transducers 2017, 2017, 第 1 作者
(12) Tiny-sized ultra-sensitive infrared-thermopile fabricated with a single-sided bulk-silicon micromachining technique, IEEE MEMS 2017, 2017, 第 5 作者
(13) The exploration of mesoporous silica as a stationary phase support for semi-packed micro-fabricated gas chromatographic(GC) column, IEEE MEMS 2017, 2017, 第 11 作者
(14) Research on micro-fabricated gas chromatographic columns with embedded elliptic cylindrical posts, IEEE MEMS 2017, 2017, 第 11 作者
(15) MEMS based vacuum packaging method of optically readable infrared focal plane array, Microsystem technologies, 2016, 第 1 作者
(16) 光读出红外成像芯片真空封装研究, 传感器与微系统, 2015, 第 11 作者
(17) Uncooled infrared detector based on silicon diode Wheatstone bridge, Microsystem technologies, 2015, 第 1 作者
(18) An uncooled optically readable infrared focal plane array, TRANSDUCERS 2015, 2015, 第 1 作者
(19) Noise analysis and structural optimal design of diode microbolometer uncooled IRFPAs, Journal of infrared and millimeter waves, 2015, 第 11 作者
发表著作
   

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 气相色谱型便携式气体检测系统用MEMS核心元件研发, 主持, 省级, 2014-11--2017-10
( 2 ) 跨尺度纳米批量制造原理与方法, 参与, 国家级, 2014-01--2017-12
( 3 ) 微纳器件集成与系统示范应用, 主持, 国家级, 2018-05--2023-04
( 4 ) 中医诊断传感器及信息微系统技术, 参与, 省级, 2018-07--2020-06
( 5 ) 基于ZnO/Ga2O3核壳微米结构的高性能异质结雪崩型日盲探测器的研制, 参与, 省级, 2018-01--2020-12
参与会议
(1)Study for Multifunctional Micro Gas Chromatography Separation Column   Bowen Tian   2018-06-24
(2)A Micro Gas Chromatography System with Robust and Suspended μTCDs   Bowen Tian   2018-06-24
(3)Review the research on uncooled infrared detector based on MEMS at SIMIT   Feng Fei   2018-05-22
(4)MEMS制造工艺   微机电系统(MEMS)高级培训课程   冯飞   2017-10-22
(5)基于MEMS的小型气相色谱仪   第21 届全国色谱学术报告会及仪器展览会   冯飞   2017-05-19
(6)MEMS制造工艺   微机电系统(MEMS)高级培训课程   冯飞   2016-10-28

合作情况

   
项目协作单位
   

指导学生