基本信息
冯飞  男  硕导  中国科学院上海微系统与信息技术研究所
电子邮件: fengfei507@mail.sim.ac.cn
通信地址: 长宁路865号
邮政编码: 200050

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085400-电子信息
招生方向
微纳传感器

教育背景

2012-05--2013-05   加州大学伯克利分校   访问学者
2001-03--2004-06   中国科学院上海微系统与信息技术研究所   博士
1998-09--2001-02   长春理工大学   硕士
1990-09--1994-07   湖北师范大学   学士

工作经历

   
工作简历
2012-05~2013-05,加州大学伯克利分校, 访问学者
2004-07~现在, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 助理研究员,副研究员(2006年1月起),研究员(2012年1月起)
2001-03~2004-06,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 博士
1998-09~2001-02,长春理工大学, 硕士
1990-09~1994-07,湖北师范大学, 学士

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 高效单面加工MEMS规模制造关键技术, 一等奖, 省级, 2020
专利成果
( 1 ) 微色谱柱, 2021, 第 1 作者, 专利号: 202120178580
( 2 ) 用于轻烃分离的微色谱柱及制备方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: 202110088082.X
( 3 ) 微色谱柱及制备方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: 202110087284.2
( 4 ) 基于电磁阀自动进样的气相色谱装置及检测方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: 202011549728.1
( 5 ) 基于电磁阀自动进样的气相色谱装置, 2020, 第 1 作者, 专利号: 202023154496.8
( 6 ) 基于六通隔膜阀自动进样的气相色谱装置, 2020, 第 1 作者, 专利号: 202023154438.5
( 7 ) 基于六通隔膜阀自动进样的气相色谱装置及检测方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: 202011549670.0
( 8 ) 富集器芯片结构, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201920133417.3
( 9 ) 基于硅纳米线阵列的微富集器芯片及制备方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201910545104.3
( 10 ) 基于硅纳米线阵列的微富集器芯片, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201920951256.9
( 11 ) 双固定相气相色谱柱, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201820970265.8
( 12 ) 基于MEMS的多固定相微型填充柱结构及其制备方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201910362630.6
( 13 ) 基于MEMS的多固定相微型填充柱结构, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201920617680.X
( 14 ) 富集器芯片结构及其制备方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201910075661.3
( 15 ) 硅基微气相色谱柱, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201721816759.2
( 16 ) 微色谱柱及微热导检测器的集成芯片, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201721816757.3
( 17 ) 混合晶圆级真空封装方法及结构, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201410270430.5
( 18 ) 双固定相气相色谱柱及其制备方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201810654078.3
( 19 ) 基于吸气剂薄膜的混合晶圆级真空封装方法及结构, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201410264566.5
( 20 ) 一种光导型紫外探测器及其制作方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201410035654.8
( 21 ) 一种红外探测器阵列及其制作方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201510368985.8
( 22 ) 基于SOI的微色谱柱及微热导检测器的集成芯片, 2017, 第 1 作者, 专利号: 2017218125749.7
( 23 ) 微色谱柱及微热导检测器的集成芯片及制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201711406527.4
( 24 ) 硅基微气相色谱柱及其制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201711403787.6
( 25 ) 基于SOI的微色谱柱及微热导检测器的集成芯片及制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201711405281.9
( 26 ) 基于双面键合工艺的微色谱柱, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201621343149.0
( 27 ) 薄膜型微热导检测器, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201621343162.6
( 28 ) 一种含有流线型椭圆微柱阵列的微色谱柱, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710042386.6
( 29 ) 微热导检测器, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201621342682.5
( 30 ) 基于带状吸气剂的混合晶圆级真空封装方法及结构, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201410264998.6
( 31 ) 一种光学读出红外探测器结构及其制作方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510341090.5
( 32 ) 一种含有流线型椭圆微柱阵列的微色谱柱及其制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710042386.6
( 33 ) 一种基于双面键合工艺的微色谱柱及制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201611124553.3
( 34 ) 微热导检测器及制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201611123850.6
( 35 ) 薄膜型微热导检测器及制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201611124545.9
( 36 ) 高分离效率的硅基微气相色谱柱及其制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610507286.7
( 37 ) 一种基于键合技术的光学读出红外探测器阵列的制作方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510341296.8
( 38 ) 一种紫外探测器及其制作方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: 201410035671.1

出版信息

   
发表论文
(1) Microfabricated semipacked gas chromatography columns embedded high density elliptic cylindrical posts, IEEE MEMS 2021, 2021, 通讯作者
(2) Micro gas chromatographic columns with metal-organic frameworks as stationary phase, IEEE MEMS 2021, 2021, 通讯作者
(3) The performance of micro-fabricated gas chromatographic columns with different number of serpentine turns, IEEE MEMS 2020, 2020, 通讯作者
(4) Micro thermal conductivity detector based on SOI substrate with low detection limit, Sens. Actuators, B, 2020, 通讯作者
(5) The exploration of silicon nanowires as a stationary phase support for micro gas chromatographic columns, IEEE MEMS 2019, 2019, 第 1 作者
(6) Improved peformance of micro-preconcentrator using mesoporous silica with high specific surface area as a surface template, IEEE MEMS 2019, 2019, 通讯作者
(7) Micro-fabricated gas chromatographic column embedded elliptic cylindrical pillars with mesoporous silica as stationary phase, IEEE Transducers 2019, 2019, 通讯作者
(8) Improved peformance of micro-preconcentrator using silicon nanowires as a surface template, IEEE Transducers 2019, 2019, 通讯作者
(9) High Performanced Micro Gas Chromatography Column Using Mesoporous Silica as Stationary Phase, Chinese Journal of Analytical Chemistry, 2019, 通讯作者
(10) Pore Size Effect of Mesoporous Silica Stationary Phase on the Separation Performance of Microfabricated Gas Chromatography Columns, Journal of Chromatography A, 2018, 通讯作者
(11) 一种新型半填充微气相色谱柱芯片研究, 传感器与微系统, 2018, 通讯作者
(12) 单片集成微型气相色谱芯片研究, 分析化学, 2018, 通讯作者
(13) 基于MEMS的微型气相色谱柱研究进展, 色谱, 2018, 通讯作者
(14) 基于MEMS的高深宽比气相微色谱柱研究, 色谱, 2018, 通讯作者
(15) A micro gas chromatographic column with embedded elliptical cylindrical posts, Journal of Chromatography A, 2018, 通讯作者
(16) Improved separation of micro gas chromatographic column using mesoporous silica as a stationary phase support, Talanta, 2018, 通讯作者
(17) Study of Monolithic Integrated Micro Gas Chromatography Chip, Chinese Journal of Analytical Chemistry, 2018, 通讯作者
(18) 微型热导检测器温控模块的研究, 传感器与微系统, 2017, 通讯作者
(19) Effect of pore size of stationary phase on the seperation performance of chip-based gas chromatography columns, IEEE Transducers 2017, 2017, 通讯作者
(20) High sensitive micro thermal conductivity detector with sandwich structure, IEEE Transducers 2017, 2017, 第 1 作者
(21) Tiny-sized ultra-sensitive infrared-thermopile fabricated with a single-sided bulk-silicon micromachining technique, IEEE MEMS 2017, 2017, 第 5 作者
(22) The exploration of mesoporous silica as a stationary phase support for semi-packed micro-fabricated gas chromatographic(GC) column, IEEE MEMS 2017, 2017, 通讯作者
(23) Research on micro-fabricated gas chromatographic columns with embedded elliptic cylindrical posts, IEEE MEMS 2017, 2017, 通讯作者
(24) MEMS based vacuum packaging method of optically readable infrared focal plane array, Microsystem technologies, 2016, 第 1 作者
(25) 光读出红外成像芯片真空封装研究, 传感器与微系统, 2015, 通讯作者
(26) Uncooled infrared detector based on silicon diode Wheatstone bridge, Microsystem technologies, 2015, 第 1 作者
(27) An uncooled optically readable infrared focal plane array, TRANSDUCERS 2015, 2015, 第 1 作者
(28) Noise analysis and structural optimal design of diode microbolometer uncooled IRFPAs, Journal of infrared and millimeter waves, 2015, 通讯作者
发表著作
( 1 ) 基于微纳机电系统的谱学分析传感器技术(《微纳机电系统与微纳传感器技术》第三章), 科学出版社, 2020-08, 第 1 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 气相色谱型便携式气体检测系统用MEMS核心元件研发, 主持, 省级, 2014-11--2017-10
( 2 ) 跨尺度纳米批量制造原理与方法, 参与, 国家级, 2014-01--2017-12
( 3 ) 微纳器件集成与系统示范应用, 主持, 国家级, 2018-05--2023-04
( 4 ) 中医诊断传感器及信息微系统技术, 参与, 省级, 2018-07--2021-06
( 5 ) 基于ZnO/Ga2O3核壳微米结构的高性能异质结雪崩型日盲探测器的研制, 参与, 省级, 2018-01--2020-12
( 6 ) 基于MEMS技术的深海原位气相色谱仪, 主持, 部委级, 2019-01--2023-12
( 7 ) 基于MEMS的微型气相色谱仪, 主持, 部委级, 2019-01--2020-12
( 8 ) 2019JCJQ-ZD-178-00-03-WXTS, 主持, 国家级, 2020-01--2023-11
( 9 ) 基于荧光传感的高灵敏微型气相色谱仪研制, 参与, 省级, 2019-10--2022-10
( 10 ) 触嗅一体多功能柔性智能仿生触手, 参与, 国家级, 2019-12--2024-12
参与会议
(1)基于MEMS的深海原位气相色谱仪   “海洋传感技术创新”论坛   冯飞   2020-10-13
(2)基于MEMS的微型气相色谱仪   第十四届全国气湿敏传感技术学术交流会   冯飞   2019-11-24
(3)MEMS加工技术及其在分析仪器—色谱微型化中的应用案例   第六届分析仪器学术年会   冯飞   2019-08-08
(4)色谱等谱学检测技术   第1期中医药现代化与多学科交叉融合研习班   冯飞   2019-06-20
(5)Study for Multifunctional Micro Gas Chromatography Separation Column   Bowen Tian   2018-06-24
(6)A Micro Gas Chromatography System with Robust and Suspended μTCDs   Bowen Tian   2018-06-24
(7)Review the research on uncooled infrared detector based on MEMS at SIMIT   Feng Fei   2018-05-22
(8)MEMS制造工艺   微机电系统(MEMS)高级培训课程   冯飞   2017-10-22
(9)基于MEMS的小型气相色谱仪   第21 届全国色谱学术报告会及仪器展览会   冯飞   2017-05-19
(10)MEMS制造工艺   微机电系统(MEMS)高级培训课程   冯飞   2016-10-28