基本信息
杨富华  男  博导  中国科学院半导体研究所
电子邮件: fhyang@semi.ac.cn
通信地址: 北京912信箱
邮政编码: 100083
部门/实验室:集成技术中心

研究领域

   

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
080901-物理电子学
085208-电子与通信工程
招生方向
MEMS
纳米结构光电子物理与器件
纳米结构光电子物理和器件

教育背景

1993-10--1998-07   法国Paul Sabatier大学   硕士和博士学位
1979-09--1983-07   南开大学   大学/学士
学历
   
学位
   

工作经历

   
工作简历
1993-10~1998-07,法国Paul Sabatier大学, 硕士和博士学位
1983-09~2016-08,中国科学半导体研究所, 助理研究员、副研究员、研究员
1979-09~1983-07,南开大学, 大学/学士
社会兼职
   

教授课程

半导体量子电子器件物理
半导体器件物理
科学前沿进展名家系列讲座III

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 政府特殊津贴专家, , 国家级, 2011
专利成果
( 1 ) 一种水平全限制相变量子点相变机理的检测方法, 2015, 第 4 作者, 专利号: ZL. 201310038944.3
( 2 ) 一种挡光式微机电可变光衰减器的制作方法, 2015, 第 5 作者, 专利号: ZL. 201310511425.4
( 3 ) 基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器的制作方法, 2015, 第 5 作者, 专利号: ZL.201310234239.0
( 4 ) 具有减反射膜的太阳能电池元件及其制备方法, 2016, 第 5 作者, 专利号: ZL. 201410031339.8
( 5 ) 太赫兹波探测器, 2017, 第 3 作者, 专利号: ZL.201510029446.1
( 6 ) 基于埋层的垂直结构存储器的制备方法, 2017, 第 3 作者, 专利号: ZL.201410039896.4
( 7 ) SOI叉指结构衬底Ⅲ-Ⅴ族材料沟道薄膜晶体管及制备方法, 2017, 第 4 作者, 专利号: ZL.201510433864.7
( 8 ) 基于腐蚀的水平全限制相变存储器的自对准制备方法, 2017, 第 5 作者, 专利号: ZL.201510416091.1

出版信息

   
发表论文
(1) High-efficiency photon capturing in ultrathin silicon solar cells with double-sided skewed nanopyramid arrays, Journal of Optics,J. Opt., 2017, 第 11 作者
(2) Analysis of Substrate Effect in Field Effect Transistor Terahertz Detectors, IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics, 2016, 第 11 作者
(3) A low feed-through 3D vacuum packaging technique with silicon vias for RF MEMS resonators, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2016, 第 5 作者
(4) A zero-level vacuum encapsulation technique with less parasitic effect for VHF MEMS resonators, Sensors & Actuators: A. Physical, 2016, 第 6 作者
(5) A high accuracy cantilever array sensor for early liver cancer diagnosis, Biomedical Microdevices, 2016, 第 8 作者
(6) Observation of Degenerate One-Dimensional Subbands in-Single n-Channel Junctionless Nanowire Transistors, IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2015, 第 11 作者
(7) Electron transport behaviors through donor-induced quantum dot array in heavily n-doped junctionless nanowire transistors, JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2015, 第 11 作者
(8) A novel MEMS electromagnetic actuator with large displacement, Sensors and Actuators A, 2015, 第 4 作者
(9) Frequency Stability of RF-MEMS Disk Resonators, IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 2015, 第 4 作者
(10) A novel MEMS actuator with large lateral stroke driven by Lorentz force, J. Micromech. Microeng, 2015, 第 4 作者
发表著作
   

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 惯导器件的研发, 主持, 院级, 2016-01--2020-12
( 2 ) 基于光子束调制的跨尺度微纳结构加工与器件应用研究, 参与, 国家级, 2016-07--2021-06
参与会议
   

合作情况

   
项目协作单位
   

指导学生